CN207331046U - 应用于蒸镀镀金工艺的坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚；包括坩埚本体，坩埚本体的底部可拆卸连接有石墨垫片，石墨垫片呈环形；石墨垫片的内径为20mm，外径为37mm。本实用新型的优点是：1、在增加了石墨垫片后，隔绝了Au坩埚与冷却水直接接触，石墨片具有耐高温、导热性的特点，这样可使Au坩埚表面均匀加热，不会出现坩埚中央凹槽的情况；2、有垫石墨片的炉次与不垫石墨片的炉次对比，镀金速率更稳定；3、有垫石墨片的炉次与炉次对比，功率差异较大，但有垫石墨片的炉次的功率稳定性更佳，且功率在15%左右，功率更低；4、电压的功率降低，有助于电子枪灯丝的保护，同时将低电子枪灯丝的损耗，同时降低电能的消耗，节约了生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种LED蒸镀设备镀金工艺技术领域，更具体地说，它涉及一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚。
背景技术
蒸镀是LED加工过程中的一个重要环节，即在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属光罩的开孔沉积在基板上。在传统的LED蒸镀镀金工艺中，镀金的坩埚直接放在水冷底座的上方，这样的方式，具有以下缺点：
1、坩埚直接与底座接触，底座内有冷却水装置，受水冷影响，电子枪加热过程需要更高的能量；
2、蒸镀过程，坩埚外壁温度低，坩埚内的黄金在溶化过程，电子枪打坩埚中心位置，黄金在靠近坩埚壁的温度比中心位置的温度低，不容易溶化，坩埚内的黄金在蒸镀过程中心位置容易耗尽，容易出现凹坑的情况；
3、黄金在蒸镀过程受凹坑的影响，工艺过程镀金的速率不稳定，电子枪功率波动大。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚，能够较少地受冷却水的影响。
为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：
一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚；包括坩埚本体，所述坩埚本体的底部可拆卸连接有石墨垫片，所述石墨垫片呈环形；所述石墨垫片的内径为20mm，外径为37mm。
优选地，所述坩埚本体的底部设置有嵌槽，所述石墨垫片的顶部设置有与嵌槽适配的顶块；所述坩埚本体上设置有用于将所述顶块锁定于嵌槽内的锁定组件。
优选地，所述锁定组件包括套环、锁杆和弹簧；所述套环螺纹连接于坩埚本体的底部；所述嵌槽的侧壁与坩埚本体的外侧壁之间贯穿设置有通槽，所述锁杆活动设置于所述通槽内；所述通槽的内壁上具有第一限位座，所述锁杆的杆体上设置有第二限位座，所述弹簧套设于锁杆位于第一限位座与第二限位座之间的杆体上；所述锁杆的另一端伸出通槽；所述套环的内侧设置有倾斜面，所述倾斜面朝向坩埚本体的外侧倾斜；所述顶块的侧壁上设置有锁孔。
优选地，所述锁杆伸出通槽的一端呈半球形设置。
与现有技术相比，本实用新型的优点是：
1、在增加了石墨垫片后，隔绝了Au坩埚与冷却水直接接触，石墨片具有耐高温、导热性的特点，这样可使Au坩埚表面均匀加热，不会出现坩埚中央凹槽的情况；
2、有垫石墨片的炉次与不垫石墨片的炉次对比，镀金速率（简称：镀率）更稳定；
3、有垫石墨片的炉次与炉次对比，功率差异较大，但有垫石墨片的炉次的功率稳定性更佳，且功率在15%左右，功率更低；
4、电压的功率降低，有助于电子枪灯丝的保护，同时将低电子枪灯丝的损耗，同时降低电能的消耗，节约了生产成本。
附图说明
图1为实施例中坩埚的结构示意图；
图2为图1中A部的放大图；
图3、图4为实施中的实验数据图。
附图标记：1、坩埚本体；2、石墨垫片；21、顶块；211、锁孔；3、套环；31、倾斜面；4、锁杆；41、第二限位座；5、弹簧；6、通槽；61、第一限位座。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不仅限于此。
参照图1，本实施例提供一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚，其包括坩埚本体1，坩埚本体1的底部可拆卸连接有石墨垫片2，该石墨垫片2呈环形，在具体实施时，该石墨垫片2的内径为20mm，外径为37mm。
下面，介绍石墨垫片2与坩埚本体1的具体连接结构：
参照图2，该坩埚本体1的底部设置有嵌槽，石墨垫片2的顶部设置有与嵌槽适配的顶块21；坩埚本体1上设置有用于将顶块21锁定于嵌槽内的锁定组件。本实施例中，该锁定组件包括套环3、锁杆4和弹簧5；套环3螺纹连接于坩埚本体1的底部；嵌槽的侧壁与坩埚本体1的外侧壁之间贯穿设置有通槽6，锁杆4活动设置于通槽6内；通槽6的内壁上具有第一限位座61，锁杆4的杆体上设置有第二限位座41，弹簧5套设于锁杆4位于第一限位座61与第二限位座41之间的杆体上；锁杆4的另一端伸出通槽6，并呈半球形设置；套环3的内侧设置有倾斜面31，倾斜面31朝向坩埚本体1的外侧倾斜。
因此，石墨垫片2的安装过程是：先将弹簧5套在锁杆4上，然后将两者同时插入到通槽6内；再将套环3旋入到坩埚本体1的底部，并保证倾侧面不会将锁杆4的另一端顶出通槽6；然后再将石墨垫片2上的顶块21嵌入到该嵌槽内并保持；最后旋转套环3，使其向下运动，在这个过程中，倾斜面31逐渐地将锁杆4向通槽6的另一端推动，直到进入到锁孔211内。
参照图3、图4，本实施例还给出了相应的实验数据图,其中，图3为有垫石墨片的炉次（0919/0925）与无石墨垫片的炉次（0904）对比，镀率更稳定。图4为有垫石墨片的炉次（0919/0925）与无石墨垫片的炉次（0828/0904）对比，功率差异较大，但有垫石墨片的炉次的功率稳定性更佳，且功率在15%左右，功率更低。
Claims (3)
1.一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚；其特征是，包括坩埚本体(1)，所述坩埚本体(1)的底部可拆卸连接有石墨垫片(2)，所述石墨垫片(2)呈环形；所述石墨垫片(2)的内径为20mm，外径为37mm；所述坩埚本体(1)的底部设置有嵌槽，所述石墨垫片(2)的顶部设置有与嵌槽适配的顶块(21)；所述坩埚本体(1)上设置有用于将所述顶块(21)锁定于嵌槽内的锁定组件。
2.根据权利要求1所述的应用于蒸镀镀金工艺的坩埚，其特征是，所述锁定组件包括套环(3)、锁杆(4)和弹簧(5)；所述套环(3)螺纹连接于坩埚本体(1)的底部；所述嵌槽的侧壁与坩埚本体(1)的外侧壁之间贯穿设置有通槽(6)，所述锁杆(4)活动设置于所述通槽(6)内；所述通槽(6)的内壁上具有第一限位座(61)，所述锁杆(4)的杆体上设置有第二限位座(41)，所述弹簧(5)套设于锁杆(4)位于第一限位座(61)与第二限位座(41)之间的杆体上；所述锁杆(4)的另一端伸出通槽(6)；所述套环(3)的内侧设置有倾斜面(31)，所述倾斜面(31)朝向坩埚本体(1)的外侧倾斜；所述顶块(21)的侧壁上设置有锁孔(211)。
3.根据权利要求2所述的应用于蒸镀镀金工艺的坩埚，其特征是，所述锁杆(4)伸出通槽(6)的一端呈半球形设置。
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