CN207321034U - 一种真空旋转装置 - Google Patents
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Abstract
一种真空旋转装置，它由联结轴、连接管套、同步轮、外衬套、轴承和磁铁组成。所述装置是由一个联结轴配合轴承装配连接管套内，托盘安装在联结轴上，同步轮、磁铁和外衬套装配在连接管套外部；当马达带动同步轮时，外衬套会一起旋转，外衬套带动联结轴跟着联动，从而达到动力来源于外部，内部也跟着转动的联动效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空下晶元旋转设备，涉及晶元旋转设备中一种真空旋转装置。
背景技术
旋转装置是一种动力传输装置，在运动部件领域有着广泛应用。在设备中，旋转装置对动力转移，带动内部部件转动起到至关作用，达到非接触式动力传输的效果。为此，特设计使产品在真空下，动力输出在大气下的真空旋转装置，使用寿命得到延长。
发明内容
为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：一种真空旋转的装置，它由轴承A、联结轴、轴承B、连接管套、同步轮A、轴承C、外衬套、轴承D、轴承套和磁铁组成；所述轴承A装配在联结轴前端，轴承B装配在联结轴末端，轴承A和轴承B与联结轴的组合体安装到连接管套内；所述的同步轮A和轴承C装配在连接管套方形固定架下方；所述的磁铁粘贴在外衬套内部凹槽内，外衬套安装在连接管套的外部，外衬套配合轴承C装配于同步轮A，所述的轴承D安装在连接管套外部的底部，轴承套套住轴承D与外衬套相连接。
所述的旋转装置的联结轴和外衬套是不接触的，中间有连接管套隔绝开；
所述旋转装置的联结轴两端安装轴承后装配于连接管套内部；
所述旋转装置的磁铁粘贴在外衬套的内壁凹槽内；
所述旋转装置的同步轮、外衬套、轴承套配合轴承安装在连接管套外部；
所述旋转装置是由连接管套固定于真空腔体上；
所述旋转装置的托盘安装在联结轴顶端。
本实用新型的优点是：稳定可靠，安装简单；旋转装置的真空密闭方法简单方便，便于维护；可把外部动力传输到密闭的腔体内部，使用灵活。
附图说明
图1为本实用新型的密封圈、联结轴、连接管套、同步带、同步轮B、马达、轴承A、轴承B、同步轮A、轴承C、外衬套、轴承D、轴承套、托盘、磁铁、腔体装配示意图；
图2为本实用新型的密封圈、联结轴、连接管套、同步带、同步轮B、马达、轴承A、轴承B、同步轮A、轴承C、外衬套、轴承D、轴承套、托盘、磁铁、腔体装配爆炸示意图；
图3为本实用新型的磁铁、外衬套爆炸示意图；
图4为本实用新型的连接管套示意图；
图5为本实用新型的联结轴示意图；
1.腔体；2.轴承套；3.轴承D；4.外衬套；5.轴承C；6.同步轮A；7.马达；8.同步轮B；9.同步带；10.连接管套；11.轴承B；12.联结轴；13.托盘；14.轴承A；15.密封圈；16.磁铁。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明，本实用新型较佳实施例为：参见附图1、附图2、附图3、附图4和附图5。本实例所述的真空旋转装置，它由轴承A14、联结轴12、轴承B11、连接管套10、同步轮A6、轴承C5、外衬套4、轴承D3、轴承套2和磁铁16组成。所述轴承A14装配联结轴12前端，轴承B11装配在联结轴12末端，联结轴12的组合体安装到连接管套10内部，同步轮A6和轴承C5装配在连接管套10方形固定架下方，磁铁16粘贴在外衬套4内部凹槽内，外衬套4安装在连接管套10的外部，外衬套4和同步轮A6相连接，轴承D3安装在连接管套外部的底部，轴承套2套住轴承D3与外衬套4相连接，因为连接管套10隔绝，联结轴12和外衬套4是不接触的。
当运马达7带动同步轮B8转动时，通过同步带9传输动力给同步轮A6，从而带动外衬套4转动，由于外衬套4内部磁铁16的作用，磁场吸引住连接管套10内部的联结轴12，由于磁场的作用联结轴12跟着外衬套4转动，连接管套10和密封圈15配合安装到腔体1上面，由于连接管套10其他地方是密闭的，所以达到把联结轴12隔绝在真空内，外衬套4隔绝在真空外，达到把外部动力传输到真空内的效果。
把托盘13安装到联结轴12顶端，托盘13随着联结轴12转动，当晶元放置托盘13上面时，马达7在真空外转动，最终托盘13上面的晶元也跟随转动。
以上所述实例只为本实用新型之较佳实例，并非以此限制本实用新型的实施范围。故凡依本实用新型的形状、原理所做的变化，均应涵盖在本实用新型保护范围内。
Claims (4)
1.一种真空旋转装置，它由轴承A、联结轴、轴承B、连接管套、同步轮A、轴承C、外衬套、轴承D、轴承套和磁铁组成；所述轴承A装配在联结轴前端，轴承B装配在联结轴末端，轴承A和轴承B与联结轴的组合体安装到连接管套内；所述的同步轮A和轴承C装配在连接管套方形固定架下方；所述的磁铁粘贴在外衬套内部凹槽内，外衬套安装在连接管套的外部，外衬套配合轴承C装配于同步轮A，所述的轴承D安装在连接管套外部的底部，轴承套套住轴承D与外衬套相连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空旋转装置，其特征在于：联结轴为花键形式，其材料为磁力可相吸材质，便于磁场吸引。
3.根据权利要求1所述的一种真空旋转装置，其特征在于：外衬套材质为导磁材料。
4.根据权利要求1所述的一种真空旋转装置，其特征在于：磁铁固定在外衬套内壁，数量与联结轴花键数量一致。
Priority Applications (1)
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| CN201720670207.9U CN207321034U (zh) | 2017-06-10 | 2017-06-10 | 一种真空旋转装置 |
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| CN201720670207.9U CN207321034U (zh) | 2017-06-10 | 2017-06-10 | 一种真空旋转装置 |
Publications (1)
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| CN207321034U true CN207321034U (zh) | 2018-05-04 |
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Family Applications (1)
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| CN201720670207.9U Active CN207321034U (zh) | 2017-06-10 | 2017-06-10 | 一种真空旋转装置 |
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| CN (1) | CN207321034U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111734799A (zh) * | 2020-07-20 | 2020-10-02 | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 | 可去除径向力的旋转装置、加热器旋转系统及半导体设备 |
| CN112117080A (zh) * | 2020-11-18 | 2020-12-22 | 陛通半导体设备(苏州)有限公司 | 永磁装置和磁控溅射设备 |
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- 2017-06-10 CN CN201720670207.9U patent/CN207321034U/zh active Active
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| CN111734799B (zh) * | 2020-07-20 | 2020-12-08 | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 | 可去除径向力的旋转装置、加热器旋转系统及半导体设备 |
| CN112117080A (zh) * | 2020-11-18 | 2020-12-22 | 陛通半导体设备(苏州)有限公司 | 永磁装置和磁控溅射设备 |
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