CN207294164U - 一种氟化氢纯化设备 - Google Patents

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盛国臣
宋志伟
张灿
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Abstract

一种氟化氢纯化设备,包括反应器、第一蒸馏器、混合器、第二蒸馏器:所述反应器包括反应体,所述反应体容积小于10L,反应体上部设有搅拌器、侧边设有加热器,搅伴器的搅伴轴伸入反应体中,氟化氢粗品加注管、二氟化银液体加注管、氟化钠加注管分别通过反应体上端进入反应体中,二氟化银液体加注管上依次设有流量泵、第一电子阀门,氟化钠加注管与设在反应体外部的计量仓连通,氟化氢粗品加注管上设有第二电子门阀门;所述混合器内设有隔板,所述隔板下部设有过流孔,混合器内设有氟化氢与水的溶液,隔板二侧的混合器表面分设第一接入口、第二接入口;所述第一蒸馏器通过第一输送泵与反应体下端的出料口连接,第一蒸馏器上端与混合器的第一接入口连通,第二蒸馏器下端与混合器的第二接入口连接。本实用新型实现工业化提纯氟化氢粗品,提纯效率高。

Description

一种氟化氢纯化设备
技术领域
本实用新型属于氟化工技术领域,涉及利用氟硅酸制备无水氟化氢过程中的尾气处理装置。
背景技术
氟化氢粗品含有多种杂质,例如含有以各种形式存在的磷化合物,二氧化硅、碳酸钙和砷等杂质。而这些杂质的存在不仅会使得氟化氢的性能受到影响,甚至还会造成危害。
其中,如果氟化氢中含有砷杂质,会使得在利用氟化氢制备氟氯化碳的过程中对催化剂产生毒害,同时如果将该氟化氢用于制备半导体,则其中含有的砷则会扩散到半导体元件中,从而影响到元件的工作。因此,通常会把制得的氟化氢进行进一步的提纯,尽可能的去除其中含有的杂质。
201410297681.2发明专利提出了一种氟化氢的纯化方法,但些方法在实际运用过程缺少相应的设备进行支撑,无法实现工业化生产。
发明内容
本实用新型提供的一种氟化氢纯化设备,实现工业化提纯氟化氢粗品,却提纯效率高。
为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案是:一种氟化氢纯化设备包反应器、第一蒸馏器、混合器、第二蒸馏器:
所述反应器包括反应体,所述反应体容积小于10L ,反应体上部设有搅拌器、侧边设有加热器,搅伴器的搅伴轴伸入反应体中,氟化氢粗品加注管、二氟化银液体加注管、氟化钠加注管分别通过反应体上端进入反应体中,二氟化银液体加注管上依次设有流量泵、第一电子阀门,氟化钠加注管与设在反应体外部的计量仓连通,氟化氢粗品加注管上设有第二电子门阀门;
所述混合器内设有隔板,所述隔板下部设有过流孔,混合器内设有氟化氢与水的溶液,隔板二侧的混合器表面分设第一接入口、第二接入口;
所述第一蒸馏器通过第一输送泵与反应体下端的出料口连接,第一蒸馏器上端与混合器的第一接入口连通,第二蒸馏器下端与混合器的第二接入口连接。
进一步讲,所述反应器通过加热装置与第一蒸馏器连接。
进一步讲,所述第一蒸馏器通过第二输送泵与混合器的第一接入口连接。
本实用新型提供的装置结构简单、易操作、成本低,在提纯过程中二次污染几乎为零,仅需要处理好密封的问题即可,具有良好的经济效益和环境效益。
附图说明
图1 是本实用新型的结构示意图。
图2是反应器结构示意图。
图3是混合器结构示意图。
如图中,反应器1、第一蒸馏器2、混合器3、第二蒸馏器4、加热装置5、第二输送泵6、反应体11、加热器12、氟化氢粗品加注管13、二氟化银液体加注管14、氟化钠加注管15、流量泵16、第一电子阀门17、计量仓18、第二电子门阀门19、隔板31、过流孔32。
具体实施方式
下面结合实施例及附图来进一步说明本实用新型,但本实用新型要求保护的范围并不局限于实施例表述的范围。
如图1所示,采用的技术方案是:一种氟化氢纯化设备包反应器1、第一蒸馏器2、混合器3、第二蒸馏器4:
所述反应器1包括反应体11,所述反应体11容积小于10L(反应体11容积过大会影响提纯的效果),反应体11上部设有搅拌器、侧边设有加热器12,搅伴器的搅伴轴伸入反应体中,氟化氢粗品加注管13、二氟化银液体加注管14、氟化钠加注管15分别通过反应体11上端进入反应体11中,二氟化银液体加注管14上依次设有流量泵16、第一电子阀门17,氟化钠加注管15与设在反应体11外部的计量仓18连通,氟化氢粗品加注管13上设有第二电子门阀门19,工作时,氟化氢粗品、二氟化银液体、氟化钠以重量计的比值为1:2.1-2.3:0.7-0.9,氟化氢粗品通过氟化氢粗品加注管13加入反应器1中、二氟化银液体通过二氟化银液体加注管14加入反应器1中,流量泵16对进入反应体11的二氟化银液体进行计量、计量仓18对进入反应体11的氟化钠进行计量提纯时,先将氟化氢粗品与二氟化银液体按重量比添加到反应体11中,之后加热器12对反应体11进行加热,使反应体11维持在40-50摄氏度,反应时间控制在25-40min得到第一反应物,之后加入氟化钠进入反应体11中与第一混合物反应,同时启动搅拌器工作20-25min,反应温度控制在40-50摄氏度,得到第二反应物,之后将第二反应物输入第一蒸馏器2进行蒸馏得到氟化氢气体;
所述混合器3内设有隔板31,隔板31下部设有过流孔32,混合器3内设有氟化氢与水的溶液(酸性溶液),隔板二侧的混合器3表面分设第一接入口、第二接入口;
所述第一蒸馏器2通过第一输送泵与反应体下端的出料口连接,第一蒸馏器上端与混合器第一接入口连通,第二蒸馏器下端与混合器第二接入口连接。
提纯时,氟化氢气体通过第一接入口输入混合器3,之后通过隔板的过流孔32从第二接入口流入第二蒸馏器4,之后得到纯氟化氢气体。
优选的,反应器1通过加热装置5与第一蒸馏器2连接,可以减少输送过程中热量损失。
优选的,所述第一蒸馏器2通过第二输送泵6与混合器3第一接入口连接,通过第二输送泵6提高进入混合器3氟化氢气体初速度。

Claims (3)

1.一种氟化氢纯化设备,其特征在于:所述氟化氢纯化设备包括反应器、第一蒸馏器、混合器、第二蒸馏器:
所述反应器包括反应体,所述反应体容积小于10L ,反应体上部设有搅拌器、侧边设有加热器,搅伴器的搅伴轴伸入反应体中,氟化氢粗品加注管、二氟化银液体加注管、氟化钠加注管分别通过反应体上端进入反应体中,二氟化银液体加注管上依次设有流量泵、第一电子阀门,氟化钠加注管与设在反应体外部的计量仓连通,氟化氢粗品加注管上设有第二电子门阀门;
所述混合器内设有隔板,所述隔板下部设有过流孔,混合器内设有氟化氢与水的溶液,隔板二侧的混合器表面分设第一接入口、第二接入口;
所述第一蒸馏器通过第一输送泵与反应体下端的出料口连接,第一蒸馏器上端与混合器的第一接入口连通,第二蒸馏器下端与混合器的第二接入口连接。
2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于:所述反应器通过加热装置与第一蒸馏器连接。
3.根据权利要求1所述的设备,其特征在于:所述第一蒸馏器通过第二输送泵与混合器的第一接入口连接。
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