CN207259549U - 退火烘干系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种退火烘干系统，其包括：设置于工作台的支撑架；安装于支撑架的电加热组件，电加热组件的顶部设置有键合线通过槽；安装于电加热组件外部的防护罩，其设置有让键合线通过并进入键合线通过槽的开口。本实用新型的有益效果是：其结构简洁、干燥效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及键合线加工设备领域，尤其是涉及一种退火烘干系统。
背景技术
众所周知的是，键合线是半导体领域不可或缺的核心材料，但在键合线的加工过程中，需要对键合线进行退火干燥，如何让键合线进行退火干燥是本实用新型所要解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的就是为了解决上述问题，提供一种退火烘干系统，其结构简洁、干燥效率高。
为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种退火烘干系统，其包括：设置于工作台的支撑架；安装于支撑架的电加热组件，电加热组件的顶部设置有键合线通过槽；安装于电加热组件外部的防护罩，其设置有让键合线通过并进入键合线通过槽的开口。
进一步，支撑架可拆卸地安装于工作台。
进一步，键合线通过槽包括：
竖向槽形通道；
设置于竖向槽形通道底部的圆形通道。
进一步，竖向槽形通道的入口部分设置有截面呈喇叭状导入结构。
进一步，防护罩设置有若干散热孔状结构。
进一步，支撑架呈Ω形。
进一步，支撑架的两个水平折边通过螺钉固定于工作台。
进一步，防护罩可拆卸地安装于工作台。
进一步，防护罩呈Ω形，开口设置于Ω形防护罩的顶部并沿着防护罩长度方向延伸。
进一步，防护罩的两个水平折边通过螺钉而固定于工作台。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
(1)整个烘干系统结构简洁、干燥效率高；
(2)支撑架和防护罩可拆卸安装结构便于维护和安装作业；
(3)键合线通过槽被电加热组件包围，键合线通过该槽过程中逐渐实现干燥作业。
附图说明
图1为退火烘干系统俯视图；
图2为退火烘干系统侧视图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。
本实用新型的实施方式提供了一种退火烘干系统，参见图1和图2，其包括：设置于工作台的支撑架1，该工作台的键合线干燥位布置该退火干燥系统，以便于对需要退火干燥作业的键合线进行干燥，支撑架将整个电加热组件悬浮支承于工作台，避免电加热组件对工作台产生干扰和影响。例如，支撑架1呈Ω形，而支撑架可拆卸地安装于工作台，图1示出了支撑架的两个水平折边通过螺钉T固定于工作台，此结构便于拆装及维护作业。
参见图2，安装于支撑架的电加热组件2，电加热组件的顶部设置有键合线通过槽3。该电加热组件可以为电加热块，电加热丝或者电加热棒安装于该电加热块中，键合线通过槽3设置于电加热块的顶部，该键合线通过槽3沿着电加热块的长度方向布置，也就是图1自左向右分布，作为一种选择，参见图1，键合线通过槽包括：竖向槽形通道3a、设置于竖向槽形通道底部的圆形通道3b。键合线从竖向槽形通过进入到圆形通道中而进行烘干作业。值得一提的是，可以在竖向槽形通道的入口部分设置截面呈喇叭状导入结构，这样在键合线进入竖向槽形通道的过程中进入更加方便和快捷，这里是在竖向槽形通道壁倒直角，也可以倒圆角。
为提高安全性，电加热组件外部安装有防护罩4，其设置有让键合线通过并进入键合线通过槽的开口4a，例如，防护罩呈Ω形，开口4a设置于Ω形防护罩的顶部并沿着防护罩长度方向延伸，由板状结构弯折呈Ω形的防护罩可设置有若干散热孔状结构4b，以便于散热的同时满足轻量化要求。该防护罩4可拆卸地安装于工作台，例如，防护罩的两个水平折边通过螺钉T而固定于工作台。
另外，支撑架1的竖向侧壁和防护罩的竖向侧壁之间的间隙设置有弹簧件(图中未示)，当防护罩的竖向侧壁收到外力时可以通过弹簧件缓冲，增强支撑架与防护罩之间的整体效果。
支撑架被防护罩围护在内部空间内，如此则可以完全起到遮蔽防护作用。
本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本实用新型的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本实用新型的精神和范围。
Claims (10)
1.一种退火烘干系统，其特征在于，其包括：
设置于工作台的支撑架；
安装于支撑架的电加热组件，所述电加热组件的顶部设置有键合线通过槽；
安装于电加热组件外部的防护罩，其设置有让键合线通过并进入键合线通过槽的开口。
2.根据权利要求1所述的退火烘干系统，其特征在于，所述支撑架可拆卸地安装于所述工作台。
3.根据权利要求1所述的退火烘干系统，其特征在于，所述键合线通过槽包括：
竖向槽形通道；
设置于竖向槽形通道底部的圆形通道。
4.根据权利要求3所述的退火烘干系统，其特征在于，所述竖向槽形通道的入口部分设置有截面呈喇叭状导入结构。
5.根据权利要求1所述的退火烘干系统，其特征在于，所述防护罩设置有若干散热孔状结构。
6.根据权利要求1所述的退火烘干系统，其特征在于，所述支撑架呈Ω形。
7.根据权利要求6所述的退火烘干系统，其特征在于，所述支撑架的两个水平折边通过螺钉固定于工作台。
8.根据权利要求1所述的退火烘干系统，其特征在于，所述防护罩可拆卸地安装于工作台。
9.根据权利要求8所述的退火烘干系统，其特征在于，所述防护罩呈Ω形，开口设置于Ω形防护罩的顶部并沿着防护罩长度方向延伸。
10.根据权利要求8所述的退火烘干系统，其特征在于，所述防护罩的两个水平折边通过螺钉而固定于工作台。
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| CN201720985336.7U CN207259549U (zh) | 2017-08-08 | 2017-08-08 | 退火烘干系统 |
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Publications (1)
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN113666186A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-11-19 | 战江东 | 键合线绕线一体机 |
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2017
- 2017-08-08 CN CN201720985336.7U patent/CN207259549U/zh not_active Expired - Fee Related
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