CN207233715U - 一种硅片双载板自动上下料机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅片双载板自动上下料机构，包括上料部分和下料部分，所述上料部分和下料部分分别置于机构的中部传输线两侧，所述中部传输线上平行设置有两块硅片载板，所述上料部分将未镀膜硅片放置到两块硅片载板上，所述下料部分将已镀膜硅片从两块硅片载板上取出，中部传输线将满载已镀膜硅片的硅片载板运输至上下料工位，并将满载未镀膜硅片的硅片载板运出。本实用新型将自动上料机械手和自动下料机械手集成到一个模组内，可以缓存多块载板并能够同时进行一块载板的上料和下料；采用双载板承载硅片，提高硅片的上下料速度，提高生产效率。

Description

一种硅片双载板自动上下料机构

技术领域

本实用新型涉及硅片上下料传输设备领域，尤其涉及一种硅片双载板自动上下料机构。

背景技术

硅片背钝化镀膜设备中硅片的上下料，目前的方法多为人工放置，有以下弊端：硅片为方形，厚度较薄仅为0.18mm，人工抓取很容易造成裂料或破角，废品率很高；硅片背钝化镀膜设备硅片上下料位置比较紧凑，并且相邻硅片之间的位置有较高要求，人工上料不易，费时费力，效率较低；即便有少数厂家采用自动化设备进行硅片的上下料，由于所使用单载板最多6列，即每次单个机械手最多只能运送6件硅片，导致生产效率较低，人力成本较高。

实用新型内容

针对现有技术存在的缺陷，本实用新型的目的是提供一种硅片双载板自动上下料机构。大大提高硅片的上下料速度，提高生产效率。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种硅片双载板自动上下料机构，包括上料部分和下料部分，所述上料部分和下料部分分别置于机构的中部传输线两侧，所述中部传输线上平行设置有两块硅片载板，所述上料部分将未镀膜硅片放置到两块硅片载板上，所述下料部分将已镀膜硅片从两块硅片载板上取出，中部传输线将满载已镀膜硅片的硅片载板运输至上下料工位，并将满载未镀膜硅片的硅片载板运出。

所述上料部分包括自动上料机械手，自动上料传输线，上料移载电缸；所述自动上料机械手安装在上料移载电缸上，在上料移载电缸的驱动下前后移动，两条自动上料传输线安装在自动上料机械手的下方，在机构的中部的传输线上平行设置上下料前载板和上下料后载板，自动上料机械手从自动上料传输线抓取未镀膜硅片后，通过上料移载电缸驱动，将未镀膜硅片放置到上下料前载板和上下料后载板上。

所述下料部分包括自动下料机械手，自动下料传输线，下料移载电缸；所述自动下料机械手安装在下料移载电缸上，在下料移载电缸的驱动下前后移动，两条自动下料传输线安装在自动下料机械手的下方，在机构的中部的传输线上平行设置上下料前载板和上下料后载板，自动下料机械手从上下料前载板和上下料后载板上抓取已镀膜硅片后，通过下料移载电缸驱动，将已镀膜硅片放置到自动下料传输线上。

与现有技术相比，本实用新型具有如下的优点：

本实用新型硅片双载板自动上下料机构，将自动上料机械手和自动下料机械手集成到一个模组内，可以缓存多块载板并能够同时进行一块载板的上料和下料；本机构采用的是双载板承载硅片，每次单个机械手可运送至少8件硅片，大大提高了硅片的上下料速度，提高了生产效率。

附图说明

图1是实施例中硅片双载板自动上下料机构整体布局图；

图2是实施例中硅片双载板自动上下料机构俯视图；

图3是实施例中硅片双载板自动上下料机构正视图；

图4是实施例中硅片双载板自动上下料机构上下料移载机械手布局图；

图5是实施例中硅片双载板自动上下料机构上下料移载机械手正视图。

重要零件说明

1-自动上料机械手、2-自动上料传输线、3-上下料前载板、4-未镀膜硅片、5-已上料载板、6-待下料载板、7-上下料后载板、8-已镀膜硅片、9-自动下料机械手、10-自动下料传输线、11-上料移载电缸、12-下料移载电缸。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施例做进一步的说明。

如图1至图5所示，一种硅片双载板自动上下料机构，包括自动上料机械手1，自动上料传输线2，自动下料机械手9，自动下料传输线10，上料移载电缸11，下料移载电缸12；所述自动上料机械手1安装在上料移载电缸11上，在上料移载电缸11的驱动下前后移动，两条自动上料传输线2安装在自动上料机械手1的下方，在机构的中部的传输线上设置上下料前载板3和上下料后载板7，自动上料机械手1从自动上料传输线2抓取未镀膜硅片4后，通过上料移载电缸11驱动，将未镀膜硅片4放置到上下料前载板3和上下料后载板7上；所述自动下料机械手9安装在下料移载电缸12上，在下料移载电缸12的驱动下前后移动，两条自动下料传输线10安装在自动下料机械手9的下方，自动下料机械手9从上下料前载板3 和上下料后载板7上抓取已镀膜硅片8后，通过下料移载电缸12驱动，将已镀膜硅片8放置到自动下料传输线10上。机构外侧还设有机架用于固定。

本实用新型硅片双载板自动上下料机构的主要工作，就是通过自动下料机械手9，把已镀膜硅片8从上下料前载板3和上下料后载板7上取出，放到自动下料输送线10上运至机构外的花篮内，然后通过自动上料机械手1将自动上料输送线2运来的未镀膜硅片4移载到刚取完片的上下料前载板3和上下料后载板7中，最后，已上料载板5将未镀膜硅片4送至镀膜主设备中进行处理。同时，两块待下料载板6进入上下料前载板3和上下料后载板7的位置，定位后重复硅片的上下料动作。

需要注意的是，在上料机械手1与下料机械手9分别对未镀膜硅片4和已镀膜硅片8的吸取过程中，只要上料移载电缸11与下料移载电缸12不发生干涉，上料工作和下料工作就可以同时进行。

以上详细描述了本实用新型的各较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

Claims (4)

1.一种硅片双载板自动上下料机构，包括上料部分和下料部分，其特征在于：所述上料部分和下料部分分别置于机构的中部传输线两侧，所述中部传输线上平行设置有两块硅片载板，所述上料部分将未镀膜硅片(4)放置到两块硅片载板上，所述下料部分将已镀膜硅片(8)从两块硅片载板上取出，中部传输线将满载已镀膜硅片(8)的硅片载板运输至上下料工位，并将满载未镀膜硅片(4)的硅片载板运出。

2.根据权利要求1所述的硅片双载板自动上下料机构，其特征在于：所述上料部分包括自动上料机械手(1)，自动上料传输线(2)，上料移载电缸(11)；所述自动上料机械手(1)安装在上料移载电缸(11)上，在上料移载电缸(11)的驱动下前后移动，两条自动上料传输线(2)安装在自动上料机械手(1)的下方，在机构的中部的传输线上平行设置上下料前载板(3)和上下料后载板(7)，自动上料机械手(1)从自动上料传输线(2)抓取未镀膜硅片(4)后，通过上料移载电缸(11)驱动，将未镀膜硅片(4)放置到上下料前载板(3)和上下料后载板(7)上。

3.根据权利要求1所述的硅片双载板自动上下料机构，其特征在于：所述下料部分包括自动下料机械手(9)，自动下料传输线(10)，下料移载电缸(12)；所述自动下料机械手(9)安装在下料移载电缸(12)上，在下料移载电缸(12)的驱动下前后移动，两条自动下料传输线(10)安装在自动下料机械手(9)的下方，在机构的中部的传输线上平行设置上下料前载板(3)和上下料后载板(7)，自动下料机械手(9)从上下料前载板(3)和上下料后载板(7)上抓取已镀膜硅片(8)后，通过下料移载电缸(12)驱动，将已镀膜硅片(8)放置到自动下料传输线(10)上。

4.根据权利要求1或2或3所述的硅片双载板自动上下料机构，其特征在于：机构外侧还设有机架用于固定。