CN207230150U - 一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，包括瓶身，所述瓶身上设置有进气管道和出气管道，所述进气管道下端设置有气流分散装置，所述进气管道上设置有进气阀门，所述出气管道上设置有出气阀门，所述进气管道上端设置有进气VCR接头，出气管道上端设置有出气VCR接头，所述进气管道一侧设置有装填口。通过装填口对固态金属有机源进行装填，并且通过进气管道和出气管道对金属有机源进行使用，通过气流分散装置将进气管道进入的气流方向由垂直向下改为了水平方向，并设置V型锥底，提高使用效率，并且通过不同结构的气流分散装置将气流方向改变，提高金属有机源的使用率。
Description
技术领域
本实用新型涉及金属有机源领域，尤其涉及一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶。
背景技术
目前在制造金属有机源时，需要将固态金属有机源装填到钢瓶中，便于对其进行运输使用，而目前在对固态金属有机源进行装填，通常使用的就是普通的钢瓶，在使用时容易发生固态金属有机源残留的问题，造成固态金属有机源浪费，而目前对于上述问题并没有通过对钢瓶的改造进行解决。因此，解决装填固态金属有机源的钢瓶容易出现使用不完全的问题就显得尤为重要了。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，通过装填口对固态金属有机源进行装填，并且通过进气管道和出气管道对金属有机源进行使用，通过气流分散装置将进气管道进入的气流方向由垂直向下改为了水平方向，并设置V型锥底，提高使用效率，解决了装填固态金属有机源的钢瓶容易出现使用不完全的问题。
本实用新型提供一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，包括瓶身，所述瓶身上设置有进气管道和出气管道，所述进气管道下端设置有气流分散装置，所述进气管道上设置有进气阀门，所述出气管道上设置有出气阀门，所述进气管道上端设置有进气VCR接头，出气管道上端设置有出气VCR接头，所述进气管道一侧设置有装填口。
进一步改进在于：所述进气VCR接头、出气VCR接头分别与客户MOCVD系统接头连接。
进一步改进在于：所述进气管道设置在瓶身上部中心，从钢瓶顶部中心进气，气流方向为由上而下，载气气流经过气流分散装置，气流方向由垂直向下改为了水平方向。
进一步改进在于：所述出气管道的下端伸至瓶身内的下部中心，所述瓶身底部为V型锥底。
进一步改进在于：所述气流分散装置为挡板型，包括支架和挡板，挡板通过支架安装在进气管道下端。
进一步改进在于：所述气流分散装置为环管喷口型，包括环管，所述环管上端开设有通孔。
进一步改进在于：所述气流分散装置为圆柱狭缝型，包括挡风盒，所述挡风盒两侧开设有狭缝。
进一步改进在于：所述气流分散装置为圆锥喷口型，包括圆锥瓶，所述圆锥瓶侧面设置有出气孔。
进一步改进在于：所述气流分散装置为挡块喷口型，包括三角形挡块，所述三角形挡块上端设置有分风块。
设备提供载气沿着进气阀门和进气管道进入钢瓶，并且与装填的金属有机源接触，载气将携带固态有机源升华蒸汽沿出气阀门和出气管道进入MOCVD设备反应腔室，瓶身内装填的固态有机源持续升华补偿空腔气态部分消耗。
所述载气为高纯氢气或者高纯氮气。
本实用新型的有益效果是：通过装填口对固态金属有机源进行装填，并且通过进气管道和出气管道对金属有机源进行使用，通过气流分散装置将进气管道进入的气流方向由垂直向下改为了水平方向，并设置V型锥底，提高使用效率，并且通过不同结构的气流分散装置将气流方向改变，提高金属有机源的使用率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的气流分散装置的挡板型结构示意图。
图3是本实用新型的气流分散装置的环管喷口型结构示意图。
图4是本实用新型的气流分散装置的圆柱狭缝型结构示意图。
图5是本实用新型的气流分散装置的圆锥喷口型结构示意图。
图6是本实用新型的气流分散装置的挡块喷口型结构示意图。
其中：1-瓶身，2-进气管道，3-出气管道，4-气流分散装置，5-进气阀门，6-出气阀门，7-进气VCR接头，8-出气VCR接头，9-装填口，10-支架，11-挡板，12-环管，13-通孔，14-挡风盒，15-狭缝，16-圆锥瓶，17-出气孔，18-三角形挡块，19-分风块。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
实施例一
如图1-2所示，本实施例提供了一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，包括瓶身1，所述瓶身1上设置有进气管道2和出气管道3，所述进气管道2下端设置有气流分散装置4，所述进气管道2上设置有进气阀门5，所述出气管道3上设置有出气阀门6，所述进气管道2上端设置有进气VCR接头7，出气管道3上端设置有出气VCR接头8，所述进气管道2一侧设置有装填口9。所述进气VCR接头7、出气VCR接头8分别与客户MOCVD系统接头连接。所述进气管道2设置在瓶身1上部中心，从钢瓶顶部中心进气，气流方向为由上而下，载气气流经过气流分散装置4，气流方向由垂直向下改为了水平方向。所述出气管道2的下端伸至瓶身1内的下部中心，所述瓶身1底部为V型锥底。
所述气流分散装置4为挡板型，包括支架10和挡板11，挡板11通过支架10安装在进气管道2下端。
实施例二
如图3所示，所述气流分散装置4为环管喷口型，包括环管12，所述环管12上端开设有通孔13，其他内容与实施例一一致。
实施例三
如图4所示，所述气流分散装置4为圆柱狭缝型，包括挡风盒14，所述挡风盒14两侧开设有狭缝15，其他内容与实施例一一致。
实施例四
如图5所示，所述气流分散装置4为圆锥喷口型，包括圆锥瓶16，所述圆锥瓶16侧面设置有出气孔17，其他内容与实施例一一致。
实施例五
如图6所示，所述气流分散装置4为挡块喷口型，包括三角形挡块18，所述三角形挡块18上端设置有分风块19，其他内容与实施例一一致。
Claims (9)
1.一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，包括瓶身（1），所述瓶身（1）上设置有进气管道（2）和出气管道（3），其特征在于：所述进气管道（2）下端设置有气流分散装置（4），所述进气管道（2）上设置有进气阀门（5），所述出气管道（3）上设置有出气阀门（6），所述进气管道（2）上端设置有进气VCR接头（7），出气管道（3）上端设置有出气VCR接头（8），所述进气管道（2）一侧设置有装填口（9）。
2.如权利要求1所述的一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，其特征在于：所述进气VCR接头（7）、出气VCR接头（8）分别与客户MOCVD系统接头连接。
3.如权利要求1所述的一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，其特征在于：所述进气管道（2）设置在瓶身（1）上部中心，从钢瓶顶部中心进气，气流方向为由上而下，载气气流经过气流分散装置（4），气流方向由垂直向下改为了水平方向。
4.如权利要求1所述的一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，其特征在于：所述出气管道（2）的下端伸至瓶身（1）内的下部中心，所述瓶身（1）底部为V型锥底。
5.如权利要求1所述的一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，其特征在于：所述气流分散装置（4）为挡板型，包括支架（10）和挡板（11），挡板（11）通过支架（10）安装在进气管道（2）下端。
6.如权利要求1所述的一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，其特征在于：所述气流分散装置（4）为环管喷口型，包括环管（12），所述环管（12）上端开设有通孔（13）。
7.如权利要求1所述的一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，其特征在于：所述气流分散装置（4）为圆柱狭缝型，包括挡风盒（14），所述挡风盒（14）两侧开设有狭缝（15）。
8.如权利要求1所述的一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，其特征在于：所述气流分散装置（4）为圆锥喷口型，包括圆锥瓶（16），所述圆锥瓶（16）侧面设置有出气孔（17）。
9.如权利要求1所述的一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶，其特征在于：所述气流分散装置（4）为挡块喷口型，包括三角形挡块（18），所述三角形挡块（18）上端设置有分风块（19）。
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|---|---|---|---|---|
| CN107477351A (zh) * | 2017-08-10 | 2017-12-15 | 安徽亚格盛电子新材料有限公司 | 一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶 |
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