CN207227584U

CN207227584U - 一种电镀装置

Info

Publication number: CN207227584U
Application number: CN201721238701.4U
Authority: CN
Inventors: 冯亚蜂
Original assignee: Zhejiang Subcore Microelectronic Ltd By Share Ltd
Current assignee: Zhejiang Subcore Microelectronic Ltd By Share Ltd
Priority date: 2017-09-26
Filing date: 2017-09-26
Publication date: 2018-04-13
Anticipated expiration: 2027-09-26

Abstract

本实用新型提供了一种电镀装置。它解决了现有电镀设备的结构过于简单，无法确保电镀槽内的液体一致性，电镀效果差等技术问题。本电镀装置，包括底座，底座上固定有电镀桶，底座上还设置有导流机构，导流机构包括呈环形的上导流管、呈环形的下导流管和升降框，升降框设置在电镀桶内，升降框与一能带动其上下移动的移动结构相连，上导流管通过连杆一固定在电镀桶上部，上导流管和连接管一的上端相连通，连接管一的下端固定在升降框上，连接管一上还设有水泵一和电磁阀一，下导流管通过连杆二固定在电镀桶下部，下导流管和连接管二的下端相连通，连接管二的上端固定在升降框上，连接管二上还设有水泵二和电磁阀二。本实用新型具有电镀效果好的优点。

Description

一种电镀装置

技术领域

本实用新型属于集成电路封装技术领域，涉及一种电镀装置。

背景技术

半导体电镀就是利用金属和化学的方法，在引线框架的表面镀上一层镀层，以防止外界环境的影响(如潮湿和热)；并且使元器件在PCB板上容易焊接及提高导电性。

经检索，如中国专利文献公开了一种芯片金属凸点电极电镀设备【申请号：200820165385.7；公开号：CN 201276602】。这种芯片金属凸点电极的电镀设备，其特征在于，电镀设备由若干个电镀槽依次串连在一起，所述的电镀槽包括水洗槽和单元槽，所述的单元槽内又分为若干个子单元槽，所述的子单元槽依次串连并相互隔离，相邻的子单元槽之间的槽壁一侧挂钛篮，另一侧挂硅片夹具，硅片夹具内放置一硅片，所述的第一单元槽同最后一单元槽之间连接电源。

该专利中公开的电镀设备虽然可降低生产成本，但是，该电镀设备的结构过于简单，无法确保电镀槽内的液体一致性，电镀效果差，因此，设计出一种电镀装置是很有必要的。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种电镀装置，该电镀装置具有电镀效果好的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种电镀装置，包括底座，底座上固定有电镀桶，其特征在于，电镀装置还包括支架、气缸、导电架和阳极，支架固定在底座上，气缸固定在支架上，气缸的活塞杆竖直向下，气缸的活塞杆端部通过绝缘杆和导电架相连，导电架与电源的负极电性连接以作为阴极，导电架上还具有若干用于挂持引线框架的挂钩，阳极设置在电镀桶内并与电源的正极电性连接，所述底座上还设置有导流机构，导流机构包括呈环形的上导流管、呈环形的下导流管和升降框，升降框设置在电镀桶内，升降框与一能带动其上下移动的移动结构相连，上导流管通过连杆一固定在电镀桶上部，上导流管和连接管一的上端相连通，连接管一的下端固定在升降框上，连接管一上还设有水泵一和电磁阀一，上导流管上还开设有若干上输出孔，下导流管通过连杆二固定在电镀桶下部，下导流管和连接管二的下端相连通，连接管二的上端固定在升降框上，连接管二上还设有水泵二和电磁阀二，下导流管上还开设有若干下输出孔。

本实用新型的原理如下：通过移动结构带动升降框上下移动，开启水泵一和水泵二，通过连接管一将电镀桶中部的液体向上输送到上导流管处，并从上输出孔输送回电镀桶内，同时，通过连接管二将电镀桶中部的液体向下输送到下导流管处，并从下输出孔输送回电镀桶内，可使电镀桶内各处的液体保持均匀，电镀效果好。

当需要对引线框架进行电镀时，将引线框架挂在导电架的挂钩上，控制气缸的活塞杆向下移动，气缸的活塞杆带动绝缘杆向下移动，绝缘杆带动导电架向下移动，使引线框架处于电镀桶内，从而实现引线框架的电镀作业。

所述移动结构包括立柱、推杆电机、导轨和滑块，立柱固定在底座上，导轨竖直固定在立柱上，滑块设置在导轨上，推杆电机固定在立柱上，推杆电机的推杆竖直向上，推杆电机的推杆端部和滑块相连，升降框通过连接杆和滑块相连。

当需要使升降框上下移动时，控制推杆电机的推杆上下移动，推杆电机的推杆带动滑块沿着导轨上下移动，滑块带动连接杆上下移动，连接杆带动升降框上下移动，从而可使升降框上下移动。

所述连接杆上还具有辅助结构，辅助结构包括振动电机、弹簧和辅助片，振动电机固定在连接杆上，振动电机和弹簧上端相连，弹簧下端和辅助片相连，辅助片上开设有若干通孔。

采用以上结构，控制振动电机带动辅助片上下振动，通过辅助片上的通孔，使电镀桶内产生气泡，从而可提高电镀的效果。

所述导轨两端还固定有限位块。

采用以上结构，通过限位块对滑块上下移动时进行有效限位，限位可靠。

所述立柱上还设置有指示组件，指示组件包括指示杆和指针，指示杆竖直固定在立柱上，指示杆上具有刻度线，指针固定在滑块上，且指针的指示部朝向指示杆。

采用以上结构，通过指针指向指示杆的刻度线，可快速获知升降架的位置，指示直观。

所述底座上还设置有机械手，机械手一端和底座相连，机械手另一端固定有能将引线框架定位住的手爪相连。

采用以上结构，控制机械手动作，机械手带动手爪移动，可实现引线框架的取放，取放方便。

与现有技术相比，本电镀装置具有该优点：本实用新型中通过推杆电机带动升降框上下移动，开启水泵一和水泵二，通过连接管一将电镀桶中部的液体向上输送到上导流管处，并从上输出孔输送回电镀桶内，同时，通过连接管二将电镀桶中部的液体向下输送到下导流管处，并从下输出孔输送回电镀桶内，可使电镀桶内各处的液体保持均匀，电镀效果好。

附图说明

图1是本实用新型的平面结构示意图。

图2是本实用新型中导流机构的立体结构示意图。

图3是本实用新型中指示组件的平面结构示意图。

图中，1、底座；2、电镀桶；3、阳极；4、机械手；5、手爪；6、导电架；6a、挂钩；7、绝缘杆；8、气缸；9、支架；11、电磁阀二；12、水泵二；13、连接管二；14、连杆一；15、水泵一；16、电磁阀一；17、连接管一；18、上导流管；18a、上输出孔；19、振动电机；21、连接杆；22、立柱；23、限位块；24、滑块；25、导轨；26、推杆电机；27、弹簧；28、升降框；29、辅助片；30、连杆二；31、下导流管；31a、下输出孔；32、指针；33、指示杆。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1-图3所示，本电镀装置，包括底座1，底座1上固定有电镀桶2，在本实施例中，底座1上通过螺栓连接的方式固定有电镀桶2；电镀装置还包括支架9、气缸8、导电架6和阳极3，支架9固定在底座1上，在本实施例中，支架9通过焊接的方式固定在底座1上；气缸8固定在支架9上，在本实施例中，气缸8通过螺栓连接的方式固定在支架9上；气缸8的活塞杆竖直向下，气缸8的活塞杆端部通过绝缘杆7和导电架6相连，导电架6与电源的负极电性连接以作为阴极，导电架6上还具有若干用于挂持引线框架的挂钩6a，在本实施例中，挂钩6a的数量为三十二个；阳极3设置在电镀桶2内并与电源的正极电性连接，在本实施例中，阳极3的数量为两个；底座1上还设置有导流机构，导流机构包括呈环形的上导流管18、呈环形的下导流管31和升降框28，升降框28设置在电镀桶2内，升降框28与一能带动其上下移动的移动结构相连，上导流管18通过连杆一14固定在电镀桶2上部，上导流管18和连接管一17的上端相连通，连接管一17的下端固定在升降框28上，连接管一17上还设有水泵一15和电磁阀一16，上导流管18上还开设有若干上输出孔18a，在本实施例中，上输出孔18a的数量为二十个；下导流管31通过连杆二30固定在电镀桶2下部，下导流管31和连接管二13的下端相连通，连接管二13的上端固定在升降框28上，连接管二13上还设有水泵二12和电磁阀二11，下导流管31上还开设有若干下输出孔31a，在本实施例中，下输出孔31a的数量为二十个。

移动结构包括立柱22、推杆电机26、导轨25和滑块24，立柱22固定在底座1上，在本实施例中，立柱22通过焊接的方式固定在底座1上；导轨25竖直固定在立柱22上，在本实施例中，导轨25通过螺栓连接的方式固定在立柱22上；滑块24设置在导轨25上，推杆电机26固定在立柱22上，在本实施例中，推杆电机26通过螺栓连接的方式固定在立柱22上；推杆电机26的推杆竖直向上，推杆电机26的推杆端部和滑块24相连，升降框28通过连接杆21和滑块24相连，在本实施例中，连接杆21和滑块24相连，升降框28和连接杆21相连。

连接杆21上还具有辅助结构，辅助结构包括振动电机19、弹簧27和辅助片29，振动电机19固定在连接杆21上，在本实施例中，振动电机19通过螺栓连接的方式固定在连接杆21上；振动电机19和弹簧27上端相连，弹簧27下端和辅助片29相连，辅助片29上开设有若干通孔，在本实施例中，通孔的数量为三十个。

导轨25两端还固定有限位块23；采用该结构，通过限位块23对滑块24上下移动时进行有效限位，限位可靠。

立柱22上还设置有指示组件，指示组件包括指示杆33和指针32，指示杆33竖直固定在立柱22上，在本实施例中，指示杆33通过螺栓连接的方式固定在立柱22上；指示杆33上具有刻度线，指针32固定在滑块24上，在本实施例中，指针32通过螺栓连接的方式固定在滑块24上；且指针32的指示部朝向指示杆33；采用该结构，通过指针32指向指示杆33的刻度线，可快速获知升降架的位置，指示直观。

底座1上还设置有机械手4，在本实施例中，机械手4采用市场上可以买到的现有产品；机械手4一端和底座1相连，机械手4另一端固定有能将引线框架定位住的手爪5相连；采用该结构，控制机械手4动作，机械手4带动手爪5移动，可实现引线框架的取放，取放方便。

本实用新型的原理如下：控制推杆电机26的推杆上下移动，推杆电机26的推杆带动滑块24沿着导轨25上下移动，滑块24带动连接杆21上下移动，连接杆21带动升降框28上下移动，开启水泵一15和水泵二12，通过连接管一17将电镀桶2中部的液体向上输送到上导流管18处，并从上输出孔18a输送回电镀桶2内，同时，通过连接管二13将电镀桶2中部的液体向下输送到下导流管31处，并从下输出孔31a输送回电镀桶2内，同时，控制振动电机19带动辅助片29上下振动，通过辅助片29上的通孔，使电镀桶2内产生气泡，从而可使电镀桶2内各处的液体保持均匀。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims

1.一种电镀装置，包括底座，底座上固定有电镀桶，其特征在于，电镀装置还包括支架、气缸、导电架和阳极，支架固定在底座上，气缸固定在支架上，气缸的活塞杆竖直向下，气缸的活塞杆端部通过绝缘杆和导电架相连，导电架与电源的负极电性连接以作为阴极，导电架上还具有若干用于挂持引线框架的挂钩，阳极设置在电镀桶内并与电源的正极电性连接，所述底座上还设置有导流机构，导流机构包括呈环形的上导流管、呈环形的下导流管和升降框，升降框设置在电镀桶内，升降框与一能带动其上下移动的移动结构相连，上导流管通过连杆一固定在电镀桶上部，上导流管和连接管一的上端相连通，连接管一的下端固定在升降框上，连接管一上还设有水泵一和电磁阀一，上导流管上还开设有若干上输出孔，下导流管通过连杆二固定在电镀桶下部，下导流管和连接管二的下端相连通，连接管二的上端固定在升降框上，连接管二上还设有水泵二和电磁阀二，下导流管上还开设有若干下输出孔。

2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述移动结构包括立柱、推杆电机、导轨和滑块，立柱固定在底座上，导轨竖直固定在立柱上，滑块设置在导轨上，推杆电机固定在立柱上，推杆电机的推杆竖直向上，推杆电机的推杆端部和滑块相连，升降框通过连接杆和滑块相连。

3.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述连接杆上还具有辅助结构，辅助结构包括振动电机、弹簧和辅助片，振动电机固定在连接杆上，振动电机和弹簧上端相连，弹簧下端和辅助片相连，辅助片上开设有若干通孔。

4.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述导轨两端还固定有限位块。

5.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述立柱上还设置有指示组件，指示组件包括指示杆和指针，指示杆竖直固定在立柱上，指示杆上具有刻度线，指针固定在滑块上，且指针的指示部朝向指示杆。

6.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述底座上还设置有机械手，机械手一端和底座相连，机械手另一端固定有能将引线框架定位住的手爪相连。