CN207155628U - 单晶炉装配定位器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种单晶炉装配定位器，解决现有技术中存在累积误差大，同心度低、操作繁琐等问题，采用的技术方案：定位器为整体部件，其中部具有中空腔体，所述腔体贯穿所述定位器的两端，所述定位器从一端到另一端依次为固定连接部、第一对中部、第二对中部。其技术效果：装配单晶炉时，定位器固定与托杆的装配位置，当定位器对中精确了，在此基础上依次装配单晶炉的相应部件，各个部件装配对中也能够精确，确保同心度高，避免累积误差的出现，完成各部件的装配后，撤离定位器，再在定位器位置装配托杆，托杆的同心度也得到了保证，且操作简单方便。

Description

单晶炉装配定位器

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉装配定位器。

背景技术

直拉法生长单晶，是将硅多晶原料装在坩蜗内加热熔化，将一个切成特定晶向的细单晶（称为籽晶）的端部，浸入溶体并使其略有熔化，然后控制温度，缓慢地将籽晶垂直提升，拉出的液体固化为单晶。主要工艺步骤为：化料（也叫熔料）、引晶、放肩（也叫缩颈）、转晶、等径、收尾。其中自引晶到收尾环节，晶体提升旋转机构通过籽晶轴（钢缆）带动晶体作逆时针旋转，坩埚提升旋转机构通过托杆托盘带动坩埚作顺时针旋转。为了保障晶体直拉顺利，晶向、晶径等品质有保证，同时也为了避免短路打火，在安装热场的时候要做到整个热场系统对中良好，确保同心度高。当前，所有的对中操作（⑴坩埚轴与加热器的对中，⑵加热器与石墨坩埚的对中，⑶保温罩与加热器的对中，⑷保温盖和加热器的对中）都是通过钢板尺和目测进行的，通过钢板尺测量坩埚轴、加热器、石墨坩埚、保温罩、保温盖的边缘与四周壁的距离是否一致，目测各对中标的物的边缘与四周的缝隙是否均匀。由于单晶炉体内通常有较高的温度，用钢板尺测量起来非常不方便；其次，运用测量和目测的方式，因操作工不同，都会存在一定的测量误差；再次，严格意义上，从大碳毡、炉底护盘、小碳毡、炉底压片、下保温筒到后续的保温筒、保温盖板、导流筒等，都需要进行测量、对中，确保同心度高，操作繁琐，累积误差会越来越大。

发明内容

本实用新型的目的在于解决现有技术存在的上述问题而提供一种单晶炉装配定位器，装配单晶炉时，定位器固定与托杆的装配位置，当定位器对中精确了，在此基础上依次装配单晶炉的相应部件，各个部件装配对中也能够精确，确保同心度高，避免累积误差的出现，完成各部件的装配后，撤离定位器，再在定位器位置装配托杆，托杆的同心度也得到了保证，且操作简单方便。

本实用新型的上述技术目的主要是通过以下技术方案解决的：单晶炉装配定位器，其特征在于定位器为整体部件，其中部具有中空腔体，所述腔体贯穿所述定位器的两端，所述定位器从一端到另一端依次为固定连接部、第一对中部、第二对中部。装配单晶炉时，定位器固定与托杆的装配位置，当定位器对中精确了，在此基础上依次装配单晶炉的相应部件，各个部件装配对中也能够精确，确保同心度高，避免累积误差的出现，完成各部件的装配后，撤离定位器，再在定位器位置装配托杆，托杆的同心度也得到了保证，且操作简单方便。

作为对上述技术方案的进一步完善和补充，本实用新型采用如下技术措施：所述第一对中部和第二对中部为圆柱体，所述第一对中部的直径大于所述第二对中部的直径，所述第一对中部的长度大于所述第二对中部的长度。

为了方便撤离定位器，所述第二对中部的外端具有锥台部。

所述锥台部上的中空腔体的横截面尺寸小于所述固定连接部、第一对中部、第二对中部中的中空腔体的横截面尺寸。

所述固定连接部外壁具有槽环。为了方便撤离定位器，方便吊离机构上的部件与槽环配合，能够稳定吊住定位器，避免定位器吊离过程中滑落而对单晶炉产生破坏作用。

作为优选，所述槽环的外端与所述第一对中部的内端配合。使得槽环内端的固定连接部具有更长的部位，提高固定连接部的强度，有利于保证吊离操作的方便性。

本实用新型具有的有益效果：1、装配单晶炉时，定位器固定与托杆的装配位置，当定位器对中精确了，在此基础上依次装配单晶炉的相应部件，各个部件装配对中也能够精确，确保同心度高，避免累积误差的出现，完成各部件的装配后，撤离定位器，再在定位器位置装配托杆，托杆的同心度也得到了保证，且操作简单方便。2、为了方便撤离定位器，所述第二对中部的外端具有锥台部。3、为了方便撤离定位器，方便吊离机构上的部件与槽环配合，能够稳定吊住定位器，避免定位器吊离过程中滑落而对单晶炉产生破坏作用。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例：如图1所示，单晶炉装配定位器，定位器为整体部件（即各个部位为一体结构），采用与热场一致的同质耐高温材料。定位器的中部具有中空腔体，所述腔体贯穿所述定位器的两端，所述定位器从一端到另一端依次为固定连接部1、第一对中部2、第二对中部3。定位器的第一对中部2、第二对中部3通常情况下为圆柱体，其直径比普通托杆对应部位的直径大，与大碳毡、炉底护盘、小碳毡、炉底压片、下保温筒的内孔径完全一致。

装配单晶炉时，定位器固定与托杆的装配位置，在此基础上依次装配单晶炉的相应部件，各个部件装配对中也能够精确，确保同心度高，避免累积误差的出现，完成各部件的装配后，撤离定位器，再在定位器位置装配托杆，托杆的同心度也得到了保证，且操作简单方便。

进一步来说：通常情况下托杆的对应外部的各部位结构为圆柱体结构，为了与托杆结构相匹配，所述第一对中部和第二对中部为圆柱体，所述第一对中部的直径大于所述第二对中部的直径，所述第一对中部的长度大于所述第二对中部的长度。

为了方便撤离定位器，所述第二对中部的外端具有锥台部4。

所述锥台部上的中空腔体51的横截面尺寸小于所述固定连接部、第一对中部、第二对中部中的中空腔体52的横截面尺寸。

所述固定连接部外壁具有槽环6。为了方便撤离定位器，方便吊离机构上的部件与槽环配合，能够稳定吊住定位器，避免定位器吊离过程中滑落而对单晶炉产生破坏作用。

作为优选，所述槽环的外端与所述第一对中部的内端配合。使得槽环内端的固定连接部具有更长的部位，提高固定连接部的强度，有利于保证吊离操作的方便性。

使用时，⑴将单晶炉装配定位器安装到坩埚升降机构的托杆安装槽内（一般情况下，均匀舒适安装完毕，单晶炉装配定位器肯定是居中的，稳妥起见，用钢板尺测量一下单晶炉装配定位器的四周边缘与炉体四壁是否距离一致）；⑵将大碳毡、炉底护盘、小碳毡、炉底压片、下保温筒按先后顺序套入定位器安放平整，即可保证它们的准确对中；⑶车开定位器固定螺栓，取出定位器；⑷将托杆放入托杆安装槽内对中安放平整，并用螺栓固定；⑸然后在托杆上放置托盘、坩埚，继续放单晶炉热场其他组件如中保温筒、上保温筒、盖板、导流筒等,完成热场的安装。

采用上述单晶炉热场安装的对中定位方法，热场的下部构件（大碳毡、炉底护盘、小碳毡、炉底压片、下保温筒）放置安装对中准确、同心度高，中上部构件的放置安装对中准确度就基本上有保障，大大减少了热场安装的对中误差，提高了同心度，进而提高了单晶直拉生长的品质和效率。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型。在上述实施例中，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.单晶炉装配定位器，其特征在于定位器为整体部件，其中部具有中空腔体，所述腔体贯穿所述定位器的两端，所述定位器从一端到另一端依次为固定连接部、第一对中部、第二对中部。

2.根据权利要求1所述的单晶炉装配定位器，其特征在于所述第一对中部和第二对中部为圆柱体，所述第一对中部的直径大于所述第二对中部的直径，所述第一对中部的长度大于所述第二对中部的长度。

3.根据权利要求1或2所述的单晶炉装配定位器，其特征在于所述第二对中部的外端具有锥台部。

4.根据权利要求3所述的单晶炉装配定位器，其特征在于所述锥台部上的中空腔体的横截面尺寸小于所述固定连接部、第一对中部、第二对中部中的中空腔体的横截面尺寸。

5.根据权利要求3所述的单晶炉装配定位器，其特征在于所述固定连接部外壁具有槽环。

6.根据权利要求5所述的单晶炉装配定位器，其特征在于所述槽环的外端与所述第一对中部的内端配合。