CN207068810U - 一种拆卸工具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种拆卸工具，属于半导体制造技术领域，适用于拆卸固定在静电吸盘上的冷硅环，静电吸盘上环设有一通过均布的多个螺钉固定的耦合环，冷硅环设置在耦合环上，拆卸工具包括：支架，呈圆筒状，可转动地套设于静电吸盘上；若干拆卸装置，每个拆卸装置包括固定部件和连接固定部件的刮片；刮片用于于对应螺钉的位置插入耦合环和冷硅环之间；固定部件固定于支架的上端面上。上述技术方案的有益效果是：环绕静电吸盘设置可转动的支架，将多个拆卸装置的刮片伸入到耦合环和冷硅环之间，再将拆卸装置固定在支架上，通过转动支架使多个刮片同时分离冷硅环和导热胶，拆卸过程中刮片和冷硅环受力均匀不易损坏，减小静电吸盘的维护成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种适用于拆卸固定在静电吸盘上的冷硅环的拆卸工具。
背景技术
为克服传统的化学气相沉积设备中采用机械方式固定晶圆进行刻蚀所造成的损坏晶圆和刻蚀不均匀等问题，现有的化学气相沉积设备通常使用静电吸盘(ElectrostaticChuck；ESC)技术固定晶圆进行刻蚀。静电吸盘包括电极、设置于电极上的吸盘、通过多个均布的螺丝固定在电极的侧壁上的耦合环和设置在耦合环上的冷硅环，冷硅环围绕吸盘设置并突出于吸盘表面，冷硅环与耦合环之间设置有一层导热胶。为保证静电吸盘具有良好的工作效率，工作人员会定期对静电吸盘进行检修和维护，在维护过程中需要将冷硅环拆卸下来。由于冷硅环与耦合环之间设置有导热胶，导致冷硅环拆卸难度加大。
现有技术，冷硅环的拆卸方法是工作人员手持一个塑料片，在冷硅环下表面刮一圈使冷硅环与导热胶分离，为方便用持，塑料片具有较大的体积，用于分离冷硅环和导热胶的部分较长，不方便插入到冷硅环和耦合环之间；另外，整个拆卸过程由工作人员手持塑料片完成，塑料片和冷硅环受力不均匀，容易损坏，损坏的塑料片和冷硅环会直接报废，造成浪费，同时增加了静电吸盘的维护成本。
发明内容
根据现有技术中存在的上述问题，现提供一种能够快速拆卸静电吸盘上的冷硅环，同时不损坏冷硅环的拆卸工具。本实用新型采用如下技术方案：
一种拆卸工具，适用于拆卸固定在静电吸盘上的冷硅环，所述静电吸盘的上端面的边缘处环设有一耦合环，所述耦合环通过均布的多个螺钉固定在所述静电吸盘上，每两个所述螺钉之间设置有导热胶，所述冷硅环通过所述导热胶固定在所述耦合环上，所述拆卸工具包括：
支架，呈圆筒状，可转动地套设于所述静电吸盘上，所述支架的上端面与所述耦合环的上端面位于同一高度；
若干个拆卸装置，可拆卸地固定于所述支架的上端面上，每个所述拆卸装置包括固定部件和可拆卸地固定于所述固定部件上的刮片；
所述刮片用于于对应所述螺钉的位置插入所述耦合环和所述冷硅环之间；
所述固定部件可拆卸地固定于所述支架的上端面上。
较佳的，上述拆卸工具中，于所述支架的上端面上设置若干对定位孔；
所述固定部件包括：
固定片，所述固定片的一端连接所述刮片，于所述固定片未设置所述刮片的一端设置一对与所述定位孔对应的通孔；
U形插销，所述U型插销的一对插销头穿过所述通孔插入到所述定位孔内，以将所述固定片固定于所述支架上。
较佳的，上述拆卸工具中，于所述支架的上端面上设置一定位标识；
于所述定位标识指向所述静电吸盘的门板时，若干对所述定位孔分别对应一个所述螺钉。
较佳的，上述拆卸工具中，所述支架包括：
基座，呈圆筒状，套设于所述静电吸盘上；
环状凸缘，套设于所述静电吸盘上并垂直地固定于所述基座的上端面靠近所述静电吸盘的位置上；
固定环，呈圆筒状，可转动地套设于所述环状凸缘上；
所述拆卸装置可拆卸地固定于所述固定环的上端面上。
较佳的，上述拆卸工具中，还包括：
垫环，呈圆筒状，套设置于所述环状凸缘上并设置于所述基座和所述固定环之间。
较佳的，上述拆卸工具中，于所述刮片连接所述固定部件的一端的上表面设置一台阶；
于所述刮片插入所述耦合环和所述冷硅环之间时，所述台阶接触所述冷硅环的侧壁以使所述刮片不接触所述静电吸盘的侧壁。
较佳的，上述拆卸工具中，所述刮片用于插入所述耦合环和所述冷硅环之间的部分为楔形。
较佳的，上述拆卸工具中，还包括把手，设置于所述支架的上端面上。
上述技术方案的有益效果是：环绕静电吸盘设置可相对静电吸盘转动的支架，将多个拆卸装置的刮片伸入到耦合环和冷硅环之间，再将拆卸装置固定在支架上，通过转动支架使多个刮片同时分离冷硅环和导热胶，拆卸过程中刮片和冷硅环受力均匀不易损坏，减小静电吸盘的维护成本。
附图说明
图1是本实用新型的较佳的实施例中，静电吸盘未设置冷硅环时的俯视图；
图2是本实用新型的较佳的实施例中，一种拆卸工具的俯视图；
图3是本实用新型的较佳的实施例中，固定环的俯视图；
图4是本实用新型的较佳的实施例中，拆卸工具在工作时的剖面图；
图5是本实用新型的较佳的实施例中，刮片伸入到耦合环和冷硅环之间的部分的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
本实施例中，如图1所示，为静电吸盘1未设置冷硅环时的俯视图，在静电吸盘1的上端面的边缘处环设有一耦合环11，耦合环11通过均布的多个螺钉12固定在静电吸盘1上，在每两个螺钉12之间设置有导热胶13。如图3所示，冷硅环14套设于静电吸盘1上并接触导热胶13。
本实用新型的较佳的实施例中，提供一种拆卸工具，如图2-5所示，拆卸工具包括：
支架，呈圆筒状，可转动地套设于静电吸盘1上，支架的上端面与耦合环11的上端面位于同一高度，进一步地，支架与静电吸盘1同心设置；
若干个拆卸装置，可拆卸地固定于支架的上端面上，进一步地，若干个拆卸装置均匀分布于支架的上端面上，每个拆卸装置包括固定部件31和可拆卸地固定于固定部件31上的刮片32；
刮片32用于于对应螺钉12的位置插入耦合环11和冷硅环14之间；
固定部件31可拆卸地固定于支架的上端面上。
上述技术方案中，环绕静电吸盘1设置可相对静电吸盘1转动的支架，将多个拆卸装置的刮片32伸入到耦合环11和冷硅环14之间，再将拆卸装置固定在支架上，通过转动支架使多个刮片32同时分离冷硅环14和导热胶13，拆卸过程中刮片32和冷硅环14受力均匀不易损坏，减小静电吸盘1的维护成本；
进一步地，本实施例中，刮片32通过螺丝可拆卸地固定在固定部件31上，当刮片32损坏时，可对其进行更换，不必将整个拆卸装置报废，减少浪费。
本实用新型的较佳的实施例中，如图2和图3所示，于支架的上端面上设置若干对定位孔21，每对定位孔21的连线方向过支架的圆心；
固定部件31包括：
固定片311，固定片311的一端连接刮片32，于固定片311未设置刮片32的一端设置一对与定位孔21对应的通孔；
U形插销313，U型插销313的一对插销头穿过通孔插入到定位孔21内，以将固定片311固定于支架上。
本实用新型的较佳的实施例中，于支架的上端面上设置一定位标识22；
于定位标识22指向静电吸盘的门板时，若干对定位孔22分别对应一个螺钉12；
当拆卸装置上的通孔与支架上的一对定位孔21重合时，刮片32则指向一个螺钉12，耦合环11上设置螺钉12的位置处没有导热胶13，此处耦合环11与冷硅环14之间的间隙大，方便刮片插入到耦合环11和冷硅环之间。
本实用新型的较佳的实施例中，支架包括：
基座23，呈圆筒状，套设于静电吸盘1上；
环状凸缘24，套设于静电吸盘1上并垂直地固定于基座23的上端面靠近静电吸盘1的位置上；
固定环25，呈圆筒状，可转动地套设于环状凸缘24上，定位孔21和定位标识22设置于固定环25的上端面上，进一步地，拆卸装置可拆卸地固定于固定环25的上端面上。
本实用新型的较佳的实施例中，支架还包括垫环26，呈圆筒状，套设置于环状凸缘24上并设置于基座23和固定环25之间。
本实用例中，基座23和环状凸缘24连接成一个整体，是静电吸盘设备中现有的部件，由于静电吸盘的型号不同，静电吸盘本体的高度和基座23的高度不同，为使拆卸工具适用于拆卸各种型号的静电吸盘1上的冷硅环14，本实用例中，将固定环25设置成一预设厚度，配备多个不同厚度的垫环26，将适宜厚度的垫环26垫在固定环25和基座23之间，使得拆卸工具在安装在基座上之后，固定环25的上端面与耦合环11的上端面位于同一高度。
本实用新型的较佳的实施例中，于刮片32连接固定部件31的一端的上表面设置一台阶321；
于刮片32插入耦合环11和冷硅环14之间时，台阶321接触冷硅环14的侧壁以使刮片32不接触静电吸盘1的侧壁，避免静电吸盘1的侧壁受损。
本实用新型的较佳的实施例中，如图5所示，刮片32用于插入耦合环11和冷硅环14间的部分为楔形，进一步地，刮片32的俯视图呈三角形，刮片32的一个边与固定部件31连接，刮片32用于插入耦合环11和冷硅环14间部分的末端呈锐角，刮片32的厚度从连接部(与固定部件31连接)到末端逐渐变小，并且刮片32的厚度从中间到两侧逐渐变小，上述结构中刮片32边缘薄中间厚，方便插入到耦合环11和冷硅环14之间，并且有利于分离冷硅环14和导热胶13，同时具有较大的强度，不易损环。
本实用新型的较佳的实施例中，还包括把手4，进一步地，本实施例中，包括两个把手4，设置于支架的上端面上，把手为工作人员转动支架提供着力点。
本实用例中，拆卸工具的使用方法如下：
根据静电吸盘1的高度和基座23的高度选择厚度适宜的垫环26设置于基座23的上端面上；
将固定环25套设在环状凸缘24上并放置在垫环26，同时固定环25上的定位标识22对应静电吸盘的门板，此时固定环25上的多对定位孔21分别对应一个耦合环11上的螺钉12；
将一个拆卸装置上的通孔对准一对定位孔21，此时该拆卸装置的刮片23指向一个螺钉12，再将该刮片23于该螺钉12所在的位置插入到耦合环11和冷硅环14之间，再通过U型插销313将拆卸装置固定在固定环25上；
重复上述步骤将所有拆卸装置固定在固定环25上；
再手持把手4转动固定环25，使刮片分离导热胶13和冷硅环14，直到冷硅环14脱离耦合环11。
以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (8)
1.一种拆卸工具，适用于拆卸固定在静电吸盘上的冷硅环，所述静电吸盘的上端面的边缘处环设有一耦合环，所述耦合环通过均布的多个螺钉固定在所述静电吸盘上，每两个所述螺钉之间设置有导热胶，所述冷硅环通过所述导热胶固定在所述耦合环上，其特征在于，所述拆卸工具包括：
支架，呈圆筒状，可转动地套设于所述静电吸盘上，所述支架的上端面与所述耦合环的上端面位于同一高度；
若干个拆卸装置，可拆卸地固定于所述支架的上端面上，每个所述拆卸装置包括固定部件和可拆卸地固定于所述固定部件上的刮片；
所述刮片用于对应所述螺钉的位置插入所述耦合环和所述冷硅环之间；
所述固定部件可拆卸地固定于所述支架的上端面上。
2.如权利要求1所述的拆卸工具，其特征在于，于所述支架的上端面上设置若干对定位孔；
所述固定部件包括：
固定片，所述固定片的一端连接所述刮片，于所述固定片未设置所述刮片的一端设置一对与所述定位孔对应的通孔；
U型插销，所述U型插销的一对插销头穿过所述通孔插入到所述定位孔内，以将所述固定片固定于所述支架上。
3.如权利要求2所述的拆卸工具，其特征在于，于所述支架的上端面上设置一定位标识；
于所述定位标识指向所述静电吸盘的门板时，若干对所述定位孔分别对应一个所述螺钉。
4.如权利要求1所述的拆卸工具，其特征在于，所述支架包括：
基座，呈圆筒状，套设于所述静电吸盘上；
环状凸缘，套设于所述静电吸盘上并垂直地固定于所述基座的上端面靠近所述静电吸盘的位置上；
固定环，呈圆筒状，可转动地套设于所述环状凸缘上；
所述拆卸装置可拆卸地固定于所述固定环的上端面上。
5.如权利要求4所述的拆卸工具，其特征在于，还包括：
垫环，呈圆筒状，套设置于所述环状凸缘上并设置于所述基座和所述固定环之间。
6.如权利要求1所述的拆卸工具，其特征在于，于所述刮片连接所述固定部件的一端的上表面设置一台阶；
于所述刮片插入所述耦合环和所述冷硅环之间时，所述台阶接触所述冷硅环的侧壁以使所述刮片不接触所述静电吸盘的侧壁。
7.如权利要求1所述的拆卸工具，其特征在于，所述刮片用于插入所述耦合环和所述冷硅环之间的部分为楔形。
8.如权利要求1所述的拆卸工具，其特征在于，还包括把手，设置于所述支架的上端面上。
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| CN112382552A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-02-19 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 晶圆装载平台装置及拆装工具 |
| CN114446749A (zh) * | 2020-11-02 | 2022-05-06 | 长鑫存储技术有限公司 | 刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机 |
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