CN207051321U - 一种探针接触测试系统的探针组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种探针接触测试系统的探针组件，解决了常见探针更换不方便的问题，其技术方案要点是，包括：若干探针，所述探针包括：针杆，设于所述针杆一端的、与待探测件接触以进行检测的探测部，以及，设于所述针杆的相对于所述探测部的一端的、与所述针杆之间弯曲设置的弯曲部；设有供所述弯曲部插入的插孔的、外侧面与所述针杆相抵接的、连接有测试电源的导电杆；以及，与所述导电杆滑动式装配的、内侧面可与所述针杆相抵接的、用于与所述导电杆夹持固定所述针杆的滑移件，达到该探针组件的探针更换方便的目的。

Description

一种探针接触测试系统的探针组件

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，特别涉及一种探针接触测试系统的探针组件。

背景技术

在检测芯片是否合格时，通常需要用带电的探针来检测芯片的正负极是否可以导通。现有的探针接触测试系统，在使用一段时间后，探针由于和芯片频繁接触，需要及时更换新的探针，才能确保该探针接触测试系统的检测正确率。

目前市面上大部分的探针是通过焊接的方式固定的，这种固定方式更换非常不方便；还有一部分探针是通过螺钉抵接或者螺栓和螺母的夹持的方式固定，由于芯片和探针的体积较小，从而螺钉或者螺栓螺母的体积也相应较小，同样具有探针更换不方便的缺点。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的是提供一种探针接触测试系统的探针组件，解决了常见探针更换不方便的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种探针接触测试系统的探针组件，包括：若干探针，所述探针包括：针杆，设于所述针杆一端的、与待探测件接触以进行检测的探测部，以及，设于所述针杆的相对于所述探测部的一端的、与所述针杆之间弯曲设置的弯曲部；设有供所述弯曲部插入的插孔的、外侧面与所述针杆相抵接的、连接有测试电源的导电杆；以及，与所述导电杆滑动式装配的、内侧面可与所述针杆相抵接的、用于与所述导电杆夹持固定所述针杆的滑移件。

通过采用上述技术方案，在更换探针时，先将滑移件沿着导电杆滑移至插孔相对于探针的一侧，从插孔中拔出需要更换的探针，再将新的探针的弯曲部插进插孔中，插孔对新的探针具有限制作用，再将滑移件沿着导电杆朝向探针滑移，直至滑移件和导电杆一起将新的探针的针杆夹持固定，即可实现方便对探针进行更换。与常见的探针更换方式相比，不用焊接或者螺钉（或者螺栓和螺母）固定，具有探针易于更换的优点。

进一步的，所述滑移件包括：供部分所述导电杆伸出的滑套，以及，固定于所述滑套的、用于提供弹性回复力以将所述针杆压紧在所述导电杆的弹性件。

通过采用上述技术方案，在滑移件在导电杆上滑移以将针杆夹持固定的过程中，针杆会驱使弹性件收缩，进而在弹性件的弹性回复力的作用下，实现将针杆夹持固定，更加方便更换，以及有利于提高该探针组件的稳定性。

进一步的，所述弹性件包括：与所述滑套的内侧面之间形成弹性缓冲间隙的、可抵接于所述针杆的抵接部，以及，分设于所述抵接部两端、与所述抵接部形成以供所述滑套卡嵌的卡槽结构的弯折边。

通过采用上述技术方案，抵接部在被针杆挤压的过程中，会朝向滑套的内侧面凹陷，进而抵接部产生抵紧针杆的弹性回复力，以实现探针的固定；弯折边可以将抵接部牢固的固定在滑套上，以增加滑移件的稳定性。

进一步的，所述弹性件包括：设有抵接于所述针杆的曲弧面的活动块，以及，若干设于所述活动块和所述滑套的内侧面之间、用于提供驱使所述活动块趋向所述针杆运动的弹性回复力的弹簧。

通过采用上述技术方案，活动块在被针杆挤压的过程中，会朝向滑套的内侧面挤压弹簧，进而弹簧产生弹性回复力以驱使活动块抵紧针杆，以实现探针的固定；曲弧面有利于滑套在滑移的过程中针杆对活动块进行挤压，进一步有利于更换探针。

进一步的，所述滑套的内侧面设有供所述弹簧部分容置并在所述弹簧伸缩时起导向作用的容置槽。

通过采用上述技术方案，在弹簧被挤压而收缩时，容置槽对弹簧具有一定的导向作用，从而滑移件的结构更加稳定，使用寿命更长。

进一步的，所述弯曲部部分伸出所述插孔，所述滑套设有供所述伸出部分通过的缺口。

通过采用上述技术方案，弯曲部的部分伸出插孔，进而在拆卸旧的探针时，可以顺着插孔将探针顶出，有利于快速拆卸探针，进一步提升了更换探针的效率。

进一步的，所述导电杆的相对于所述探测部的一端设有用于固定的扩面部，所述扩面部设有若干螺纹孔，所述螺纹孔用于装配连接有测试电源的螺钉。

通过采用上述技术方案，扩面部增加了导电杆相对于探测部的一端的面积，进而可以设置更多的螺纹孔，以增加导电杆的连接牢固性。

进一步的，所述导电杆设有与所述插孔连通的、供所述针杆嵌入的凹槽。

通过采用上述技术方案，针杆在被导电杆和滑移件夹持的基础上，凹槽同样对针杆具有一定的限制作用，进一步增加了探针的稳定性。

综上所述，本实用新型实施例具有以下有益效果：

其一，具有更换探针方便的优点，同时，制作简单且成本较低；

其二，稳定性高，使用寿命长。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的结构示意图；

图2是本实用新型实施例一中滑套和弹性件的连接关系示意图，滑套和弹性件均沿轴线剖开；

图3是本实用新型实施例二中滑套和弹性件的连接关系示意图，滑套和弹性件均沿轴线剖开。

附图标记：1、探针；11、针杆；12、探测部；13、弯曲部；2、导电杆；21、插孔；22、扩面部；221、螺纹孔；23、凹槽；3、滑移件；31、滑套；311、容置槽；312、缺口；32、弹性件；321、抵接部；322、弯折边；323、活动块；3231、曲弧面；324、弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一：一种探针接触测试系统的探针组件，如图1所示，包括：一探针1，探针1包括：针杆11，设于针杆11一端的、与待探测件接触以进行检测的探测部12，探测部12呈尖锐状，以及，设于针杆11的相对于探测部12的一端的、与针杆11之间弯曲设置的弯曲部13，探测部12、针杆11和弯曲部13三者之间一体成型且由不锈钢制成；设有供弯曲部13插入的插孔21的、外侧面与针杆11相抵接的、连接有测试电源的导电杆2，导电杆2具体由铝合金制成；以及，与导电杆2滑动式装配的、内侧面可与针杆11相抵接的、用于与导电杆2夹持固定针杆11的滑移件3。

滑移件3包括：供部分导电杆2伸出的滑套31，以及，固定于滑套31的、用于提供弹性回复力以将针杆11压紧在导电杆2的弹性件32。在滑移件3在导电杆2上滑移以将针杆11夹持固定的过程中，针杆11会驱使弹性件32收缩，进而在弹性件32的弹性回复力的作用下，实现将针杆11夹持固定，更加方便更换，以及有利于提高该探针组件的稳定性。

弯曲部13部分伸出插孔21，滑套31与弯曲部13对应的位置切有供伸出部分通过的缺口312。弯曲部13的部分伸出插孔21，进而在拆卸旧的探针1时，可以顺着插孔21将探针1顶出，有利于快速拆卸探针1，进一步提升了更换探针1的效率。

导电杆2的相对于探测部12的一端一体成型有用于固定的扩面部22，扩面部22开有三个螺纹孔221，螺纹孔221用于装配连接有测试电源的螺钉。扩面部22增加了导电杆2相对于探测部12的一端的面积，进而可以设置更多的螺纹孔221，以增加导电杆2的连接牢固性。

导电杆2开有与插孔21连通的、供针杆11嵌入的凹槽23，凹槽23的横截面呈与针杆11贴合的弧形状。针杆11在被导电杆2和滑移件3夹持的基础上，凹槽23同样对针杆11具有一定的限制作用，进一步增加了探针1的稳定性。

如图1和图2所示，弹性件32包括：与滑套31的内侧面之间形成弹性缓冲间隙的、可抵接于针杆11的抵接部321，以及，分设于抵接部321两端、与抵接部321形成以供滑套31卡嵌的卡槽结构的弯折边322。抵接部321和两个弯折边322之间一体成型且由不锈钢材质制成，抵接部321在被针杆11挤压的过程中，会朝向滑套31的内侧面凹陷，进而抵接部321产生抵紧针杆11的弹性回复力，以实现探针1的固定；弯折边322可以将抵接部321牢固的固定在滑套31上，以增加滑移件3的稳定性。

更换原理：在更换探针1时，先将滑移件3沿着导电杆2滑移至插孔21相对于探针1的一侧，从插孔21中拔出需要更换的探针1，再将新的探针1的弯曲部13插进插孔21中，插孔21对新的探针1具有限制作用，再将滑移件3沿着导电杆2朝向探针1滑移，直至滑移件3和导电杆2一起将新的探针1的针杆11夹持固定，即可实现方便对探针1进行更换。与常见的探针1更换方式相比，不用焊接或者螺钉（或者螺栓和螺母）固定，具有探针1易于更换的优点。

实施例二：一种探针接触测试系统的探针组件，与实施例一的不同之处在于，如图3所示，弹性件32包括：成型有抵接于针杆11的曲弧面3231的活动块323，以及，四个固定于活动块323和滑套31的内侧面之间、用于提供驱使活动块323趋向针杆11运动的弹性回复力的弹簧324。活动块323在被针杆11挤压的过程中，会朝向滑套31的内侧面挤压弹簧324，进而弹簧324产生弹性回复力以驱使活动块323抵紧针杆11，以实现探针1的固定；曲弧面3231有利于滑套31在滑移的过程中针杆11对活动块323进行挤压，进一步有利于更换探针1。

滑套31的内侧面设有供弹簧324部分容置并在弹簧324伸缩时起导向作用的容置槽311，弹簧324的一端焊接在容置槽311的槽底，另一端卡嵌在活动块323相对于曲弧面3231的一侧。在弹簧324被挤压而收缩时，容置槽311对弹簧324具有一定的导向作用，从而滑移件3的结构更加稳定，使用寿命更长。

以上所述的实施方式，并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施方式的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在该技术方案的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种探针接触测试系统的探针组件，其特征在于，包括：

若干探针(1)，所述探针(1)包括：针杆(11)，设于所述针杆(11)一端的、与待探测件接触以进行检测的探测部(12)，以及，设于所述针杆(11)的相对于所述探测部(12)的一端的、与所述针杆(11)之间弯曲设置的弯曲部(13)；

设有供所述弯曲部(13)插入的插孔(21)的、外侧面与所述针杆(11)相抵接的、连接有测试电源的导电杆(2)；以及，

与所述导电杆(2)滑动式装配的、内侧面可与所述针杆(11)相抵接的、用于与所述导电杆(2)夹持固定所述针杆(11)的滑移件(3)。

2.根据权利要求1所述的一种探针接触测试系统的探针组件，其特征在于，所述滑移件(3)包括：

供部分所述导电杆(2)伸出的滑套(31)，以及，

固定于所述滑套(31)的、用于提供弹性回复力以将所述针杆(11)压紧在所述导电杆(2)的弹性件(32)。

3.根据权利要求2所述的一种探针接触测试系统的探针组件，其特征在于，所述弹性件(32)包括：

与所述滑套(31)的内侧面之间形成弹性缓冲间隙的、可抵接于所述针杆(11)的抵接部(321)，以及，

分设于所述抵接部(321)两端、与所述抵接部(321)形成以供所述滑套(31)卡嵌的卡槽结构的弯折边(322)。

4.根据权利要求2所述的一种探针接触测试系统的探针组件，其特征在于，所述弹性件(32)包括：

设有抵接于所述针杆(11)的曲弧面(3231)的活动块(323)，以及，

若干设于所述活动块(323)和所述滑套(31)的内侧面之间、用于提供驱使所述活动块(323)趋向所述针杆(11)运动的弹性回复力的弹簧(324)。

5.根据权利要求4所述的一种探针接触测试系统的探针组件，其特征在于，所述滑套(31)的内侧面设有供所述弹簧(324)部分容置并在所述弹簧(324)伸缩时起导向作用的容置槽(311)。

6.根据权利要求2所述的一种探针接触测试系统的探针组件，其特征在于，所述弯曲部(13)部分伸出所述插孔(21)，所述滑套(31)设有供所述伸出部分通过的缺口(312)。

7.根据权利要求1所述的一种探针接触测试系统的探针组件，其特征在于，所述导电杆(2)的相对于所述探测部(12)的一端设有用于固定的扩面部(22)，所述扩面部(22)设有若干螺纹孔(221)，所述螺纹孔(221)用于装配连接有测试电源的螺钉。

8.根据权利要求1所述的一种探针接触测试系统的探针组件，其特征在于，所述导电杆(2)设有与所述插孔(21)连通的、供所述针杆(11)嵌入的凹槽(23)。