CN207019585U - 一种微驱动定位器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种微驱动定位器,包括微位移放大器,所述微位移放大器包括一级放大连杆和与所述一级放大连杆相连接的二级放大连杆,所述一级放大连杆的前端插接着一个驱动执行终端,所述驱动执行终端设置在一个微驱动器上;所述一级放大连杆的后部设置有第一柔性铰链,所述二级放大连杆的后部设置有第二柔性铰链,所述一级放大连杆和二级放大连杆的末端均固定在一个驱动器机架上;位于第二柔性铰链处的二级放大连杆的两侧分别粘贴有一个应变片,所述应变片通过导线与外部的应变仪相连接。本实用新型能够保证定位精度,同时成本较低。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及精密驱动设备的技术领域,特别是微驱动定位器的技术领域。
【背景技术】
微驱动一般是指行程在毫米级以内的微小位移,主要应用在微纳机械、光纤对接、超精密加工等领域,由于行程距离小,所以要求的分辨率极高,一般在微米级别,这就对输出位移的检测反馈提出了更高的要求。传统的微驱动定位器一般是采用具有高分辨率的激光位移传感器,虽然具有较高的定位精度,但是成本极高,而且由于激光测距表面的粗糙度不均匀等因素的影响,对激光的光斑反射产生了一定的影响,所以需要一种成本低、精度高的微驱动定位器。
【实用新型内容】
本实用新型的目的就是解决现有技术中的问题,提出一种微驱动定位器,能够保证定位精度,同时成本较低。
为实现上述目的,本实用新型提出了一种微驱动定位器,包括微位移放大器,所述微位移放大器包括一级放大连杆和与所述一级放大连杆相连接的二级放大连杆,所述一级放大连杆的前端插接着一个驱动执行终端,所述驱动执行终端设置在一个微驱动器上;所述一级放大连杆的后部设置有第一柔性铰链,所述二级放大连杆的后部设置有第二柔性铰链,所述一级放大连杆和二级放大连杆的末端均固定在一个驱动器机架上;位于第二柔性铰链处的二级放大连杆的两侧分别粘贴有一个应变片,所述应变片通过导线与外部的应变仪相连接。
本实用新型的有益效果:本实用新型通过将二级的微位移放大器的放大终端插接在驱动执行终端上,并在一级放大连杆的第二柔性铰链处设置对称分布的应变片,使得驱动执行终端的输出位移能够通过二级放大器的反向缩小后,作用到应变片上进行应变检测,反向缩小位移一方面对驱动执行终端的阻力小,不影响输出性能,另一方面对应变片的应变量要求减小,可以使应变片的测量行程得到保证;通过采用二级放大器与应变片相组合的形式进行微驱动定位,极大地节约了成本,并降低了测试误差。
本实用新型的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
图1是本实用新型一种微驱动定位器的整体剖面结构示意图。
图中:1-微驱动器、2-驱动执行终端、3-微位移放大器、4-一级放大连杆、5-第一柔性铰链、6-二级放大连杆、7-第二柔性铰链、8-应变片、9-驱动器机架。
【具体实施方式】
参阅图1,本实用新型一种微驱动定位器,包括微位移放大器3,所述微位移放大器3包括一级放大连杆4和与所述一级放大连杆4相连接的二级放大连杆6,所述一级放大连杆4的前端插接着一个驱动执行终端2,所述驱动执行终端2设置在一个微驱动器1上;所述一级放大连杆4的后部设置有第一柔性铰链5,所述二级放大连杆6的后部设置有第二柔性铰链7,所述一级放大连杆4和二级放大连杆6的末端均固定在一个驱动器机架9上;位于第二柔性铰链7处的二级放大连杆6的两侧分别粘贴有一个应变片8,所述应变片8通过导线与外部的应变仪相连接。
本实用新型工作过程:
本实用新型一种微驱动定位器在工作过程中,当微驱动器1带动驱动执行终端2进行小行程的位移输出时,一级放大连杆4在驱动执行终端2的带动下以第一柔性铰链5为支点发生摆动,带动二级放大连杆6的摆动,由于在二级放大连杆6的第二柔性铰链7处粘贴有应变片8,所以第二柔性铰链7处的折弯将会通过应变片8的应变量得以输出,通过应变仪的检测换算后可以得到驱动执行终端2的实际输出位移大小。
本实用新型,通过将二级的微位移放大器的放大终端插接在驱动执行终端上,并在一级放大连杆的第二柔性铰链处设置对称分布的应变片,使得驱动执行终端的输出位移能够通过二级放大器的反向缩小后,作用到应变片上进行应变检测,反向缩小位移一方面对驱动执行终端的阻力小,不影响输出性能,另一方面对应变片的应变量要求减小,可以使应变片的测量行程得到保证;通过采用二级放大器与应变片相组合的形式进行微驱动定位,极大地节约了成本,并降低了测试误差。
上述实施例是对本实用新型的说明,不是对本实用新型的限定,任何对本实用新型简单变换后的方案均属于本实用新型的保护范围。
Claims (1)
1.一种微驱动定位器,其特征在于:包括微位移放大器,所述微位移放大器包括一级放大连杆和与所述一级放大连杆相连接的二级放大连杆,所述一级放大连杆的前端插接着一个驱动执行终端,所述驱动执行终端设置在一个微驱动器上;所述一级放大连杆的后部设置有第一柔性铰链,所述二级放大连杆的后部设置有第二柔性铰链,所述一级放大连杆和二级放大连杆的末端均固定在一个驱动器机架上;位于第二柔性铰链处的二级放大连杆的两侧分别粘贴有一个应变片,所述应变片通过导线与外部的应变仪相连接。
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CN201720624431.4U CN207019585U (zh) | 2017-06-01 | 2017-06-01 | 一种微驱动定位器 |
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CN (1) | CN207019585U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN112229749A (zh) * | 2020-09-02 | 2021-01-15 | 厦门大学 | 一种微纳结构力学特征参数测量装置、测量板和测量方法 |
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2017
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Cited By (2)
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CN112229749A (zh) * | 2020-09-02 | 2021-01-15 | 厦门大学 | 一种微纳结构力学特征参数测量装置、测量板和测量方法 |
CN112229749B (zh) * | 2020-09-02 | 2021-07-09 | 厦门大学 | 一种微纳结构力学特征参数测量装置、测量板和测量方法 |
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