CN206925480U - 一种芯片键合气体保护装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种芯片键合气体保护装置，包括机械手、劈刀、右侧支管、左立板、防护套、打火杆、分气块、缓冲箱、第一进气管、第二进气管，工作时，同时向右侧支管、第一进气管、第二进气管通入保护气体，右侧支管直接将保护气体喷向焊接部位，从而对劈刀右侧区域进行喷气保护，保护气体经第一进气管进入设置在防护套上的通气槽喷出，从而将打火杆冷却以及对劈刀下端区域进行喷气保护，保护气体经第二进气管进入缓冲箱，在经设置在分气块上的分气槽喷出，从而对劈刀上端区域进行喷气保护。该装置结构简单，能对劈刀形成立体式喷气保护，使得劈刀周围区域充满保护气体，有效防止芯片键合氧化。

Description

一种芯片键合气体保护装置

技术领域

本实用新型涉及一种机械装置，尤其涉及一种芯片键合气体保护装置。

背景技术

引线键合(Wire Bonding)是一种使用细金属线，利用热、压力、超声波能量使金属引线与基板焊盘紧密焊合，其具体工作流程为：将金属线穿过安装在机械臂上的劈刀，打火杆通电，从而使得打火杆对金属线放电将其熔化，机械手带动劈刀连续运动，从而将金属线键合在芯片上，完成芯片间的引线键合，在引线键合时为保证熔化的焊线不被氧化，往往采用直接喷保护气体的方式进行喷气保护，由于现有厂家采用在劈刀单侧喷气，往往有死角产生，导致死角区域金属氧化，产生焊接不良。鉴于上述缺陷，实有必要设计一种芯片键合气体保护装置。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：提供一种芯片键合气体保护装置，来解决键合时单侧喷气保护易出现死角导致焊接不良的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种芯片键合气体保护装置，包括机械手、劈刀，所述的劈刀位于机械手下端，所述的劈刀与机械手螺纹相邻，还包括右侧支管、左立板、防护套、打火杆、分气块、缓冲箱、第一进气管、第二进气管，所述的右侧支管位于机械手右侧下端，所述的右侧支管与机械手螺纹相邻，所述的左立板位于机械手左侧下端，所述的左立板与机械手螺纹相连，所述的防护套位于左立板下端，所述的防护套与左立板螺纹相连，所述的打火杆贯穿防护套，所述的打火杆与防护套螺纹相连，所述的分气块位于防护套上端右侧，所述的分气块与防护套螺纹相连，所述的缓冲箱位于分气块左侧，所述的缓冲箱与分气块螺纹相连，所述的第一进气管位于防护套上端，所述的第一进气管与防护套螺纹相连，所述的第二进气管位于缓冲箱上端，所述的第二进气管与缓冲箱螺纹相连。

本实用新型进一步的改进如下：

进一步的，所述的右侧支管包括直管部、斜管部，所述的直管部位于机械手右侧，所述的直管部与机械手螺纹相连，所述的斜管部位于直管部下端，所述的斜管部与直管部一体相连。

进一步的，所述的防护套还设有通气槽，所述的通气槽贯穿防护套。

进一步的，所述的分气块还设有分气槽，所述的分气槽贯穿分气块。

进一步的，所述的分气槽数量为3件，均匀布置于分气块。

进一步的，所述分气槽与缓冲箱腔体互通。

与现有技术相比，该芯片键合气体保护装置，工作时，同时向右侧支管、第一进气管、第二进气管通入保护气体，右侧支管直接将保护气体喷向焊接部位，从而对劈刀右侧区域进行喷气保护，保护气体经第一进气管进入设置在防护套上的通气槽喷出，从而将打火杆冷却以及对劈刀下端区域进行喷气保护，保护气体经第二进气管进入缓冲箱，在经设置在分气块上的分气槽喷出，从而对劈刀上端区域进行喷气保护。该装置结构简单，能对劈刀形成立体式喷气保护，使得劈刀周围区域充满保护气体，有效防止芯片键合氧化。

附图说明

图1示出本实用新型主视图

图2示出本实用新型右侧支管结构示意图

机械手 1 劈刀 2

右侧支管 3 左立板 4

防护套 5 打火杆 6

分气块 7 缓冲箱 8

第一进气管 9 第二进气管 10

直管部 301 斜管部 302

通气槽 501 分气槽 701

具体实施方式

如图1、图2所示，一种芯片键合气体保护装置，包括机械手1、劈刀2、右侧支管3、左立板4、防护套5、打火杆6、分气块7、缓冲箱8、第一进气管9、第二进气管10，所述的劈刀2位于机械手1下端，所述的劈刀2与机械手1螺纹相邻，所述的右侧支管3位于机械手1右侧下端，所述的右侧支管3与机械手1螺纹相邻，所述的左立板4位于机械手1左侧下端，所述的左立板4与机械手1螺纹相连，所述的防护套5位于左立板4下端，所述的防护套5与左立板4螺纹相连，所述的打火杆6贯穿防护套5，所述的打火杆6与防护套5螺纹相连，所述的分气块7位于防护套5上端右侧，所述的分气块7与防护套5螺纹相连，所述的缓冲箱8位于分气块7左侧，所述的缓冲箱8与分气块7螺纹相连，所述的第一进气管9位于防护套5上端，所述的第一进气管9与防护套5螺纹相连，所述的第二进气管10位于缓冲箱8上端，所述的第二进气管10与缓冲箱8螺纹相连，所述的右侧支管3包括直管部301、斜管部302，所述的直管部301位于机械手1右侧，所述的直管部301与机械手1螺纹相连，所述的斜管部302位于直管部301下端，所述的斜管部302与直管部301一体相连，所述的防护套5还设有通气槽501，所述的通气槽501贯穿防护套5，所述的分气块7还设有分气槽701，所述的分气槽701贯穿分气块7，所述的分气槽701数量为3件，均匀布置于分气块7，所述分气槽701与缓冲箱8腔体互通，该芯片键合气体保护装置，工作时，同时向右侧支管3、第一进气管9、第二进气管10通入保护气体，右侧支管3直接将保护气体喷向焊接部位，从而对劈刀2右侧区域进行喷气保护，保护气体经第一进气管9进入设置在防护套5上的通气槽501喷出，从而将打火杆6冷却以及对劈刀2下端区域进行喷气保护，保护气体经第二进气管10进入缓冲箱8，在经设置在分气块7上的分气槽701喷出，从而对劈刀2上端区域进行喷气保护。该装置结构简单，能对劈刀2形成立体式喷气保护，使得劈刀2周围区域充满保护气体，有效防止芯片键合氧化。

本实用新型不局限于上述具体的实施方式，本领域的普通技术人员从上述构思出发，不经过创造性的劳动，所做出的种种变换，均落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种芯片键合气体保护装置，包括机械手、劈刀，所述的劈刀位于机械手下端，所述的劈刀与机械手螺纹相邻，其特征在于还包括右侧支管、左立板、防护套、打火杆、分气块、缓冲箱、第一进气管、第二进气管，所述的右侧支管位于机械手右侧下端，所述的右侧支管与机械手螺纹相邻，所述的左立板位于机械手左侧下端，所述的左立板与机械手螺纹相连，所述的防护套位于左立板下端，所述的防护套与左立板螺纹相连，所述的打火杆贯穿防护套，所述的打火杆与防护套螺纹相连，所述的分气块位于防护套上端右侧，所述的分气块与防护套螺纹相连，所述的缓冲箱位于分气块左侧，所述的缓冲箱与分气块螺纹相连，所述的第一进气管位于防护套上端，所述的第一进气管与防护套螺纹相连，所述的第二进气管位于缓冲箱上端，所述的第二进气管与缓冲箱螺纹相连。

2.如权利要求1所述的芯片键合气体保护装置，其特征在于所述的右侧支管包括直管部、斜管部，所述的直管部位于机械手右侧，所述的直管部与机械手螺纹相连，所述的斜管部位于直管部下端，所述的斜管部与直管部一体相连。

3.如权利要求1所述的芯片键合气体保护装置，其特征在于所述的防护套还设有通气槽，所述的通气槽贯穿防护套。

4.如权利要求1所述的芯片键合气体保护装置，其特征在于所述的分气块还设有分气槽，所述的分气槽贯穿分气块。

5.如权利要求4所述的芯片键合气体保护装置，其特征在于所述的分气槽数量为3件，均匀布置于分气块。

6.如权利要求1或5所述的芯片键合气体保护装置，其特征在于所述分气槽与缓冲箱腔体互通。