CN206905692U - 探针卡水平检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种探针卡水平检测装置，包括：一支架载台、一设于所述支架载台的导电基准垫片与探针连接单元、电性连接所述基准垫片与所述探针连接单元的电源，以及电性连接所述电源与探针连接单元的指示灯；将一探针卡与探针连接单元电性连接地安装于支架载台后，藉由控制探针卡的各探针朝向基准垫片移动，使各探针的下端接触所述导电基准垫片而分别形成电流通路时令各指示灯分别发光，从而记录各探针的高度值，直到所有指示灯均发光后再依所述量测的高度值而调整各探针的高度，最终使各探针下端位于同一水平。

Description

探针卡水平检测装置

技术领域

本实用新型涉及一种用于检测探针卡上的探针高度的治具，特别涉及可以更高效率地对探针的水平高度进行检测的检测装置。

背景技术

探针卡(probe card)是对半导体元件进行电性测试，筛选出良品或不良品的测试治具；因此，透过探针检测是集成电路制造中相当重要的环节之一，优异的探针卡可提高良率贡献度，因此对半导体封测厂而言影响甚巨。

一般而言，长期使用探针卡后，其每一支探针长度或多或少存在一些误差而具有不同长度，以致于在对半导体元件进行检测时，无法同时使各探针接触到半导体元件的各接垫或凸块。因此，在使用探针卡之前必须对探针进行长度校正，使各探针端部位于同一水平而具有相同长度。

习知上对探针卡进行探针长度调整的方式，系以人力使用显微镜观测探针端面，使用量测仪器量测出每根探针的高度差异，然后通过公英制转换单位换算出高度差，因此，人员反复调整容易疲劳且不易操作，工作效率很低。

中国专利CN104714054A系揭露一种探针点测系统，其包含升降载台、至少一个探针装置、至少一个形变感应回路、接触感应回路、测试回路、第一开关与第二开关。升降载台用以承载待测物；探针装置位于升降载台上方，探针装置包含力臂、探针与至少一个感应元件；探针连接于力臂的一端；感应元件位于力臂上，当力臂受力而变形时，感应元件随力臂的变形量而产生观测值变化；形变感应回路电性连接感应元件，用以接收观测值变化；接触感应回路包含电源与针压感应单元；针压感应单元电性连接电源，且具有升压元件与探针连接线路。因此探针点测系统可以通过接触感应回路缩短检测待测物的时间，并通过形变感应回路确保探针以预定的针压确实与待测物抵接。该探针点测系统可根据力臂的变形量提供探针目标值，作为调整探针高度的依据。然而，整体结构复杂，成本较高，且操作效率仍有待进一步提升。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型目的在于提供一种探针卡水平检测装置，其克服了习知人工用显微镜逐一调整探针的缺点，并且可以快速确认探针上的各探针的水平状态。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型提供的探针卡水平检测装置的特征包括有：一支架载台、一设于支架载台的导电基准垫片与探针连接单元、电性连接该基准垫片与该探针连接单元的电源，以及电性连接该电源与探针连接单元的指示灯。检测人员将探针卡与探针连接单元电性连接地安装于支架载台后，藉由控制探针卡的各探针朝向基准垫片移动，使各探针的下端接触该导电基准垫片而分别形成电流通路时令各指示灯分别发光，从而记录各探针之高度值，直到所有指示灯均发光后再依该量测的高度值而调整各探针的高度，最终使各探针下端位于同一水平；藉此，可以更高效率地调整探针卡之探针高度，且整体结构更为精简，成本较低。

本实用新型提供的探针卡水平检测装置，其的技术手段包括有：一支架载台，具有一固定支架与一活动支架，所述活动支架可被调整而在垂直方向上相对于所述固定支架上升或下降地移动；一导电基准垫片，水平地设于所述固定支架的上表面；一探针连接单元，设于所述活动支架；一电源，电性连接所述基准垫片与所述探针连接单元；以及复数指示灯，以电路电性连接于所述电源与所述探针连接单元之间；其中，所述活动支架用以安装一探针卡并且使所述探针卡电性连接所述探针连接单元，而且所述活动支架形成有一中空部，使设于所述探针卡上的各探针下端通过所述活动支架的中空部露出活动支架的下表面，藉由调整所述活动支架朝向所述固定支架移动，使各探针的下端接触所述导电基准垫片而分别形成电流通路时令各指示灯分别发光，从而记录各探针之高度值，直到所有指示灯均发光后再依该量测的高度值而调整各探针的高度，最终使各探针下端位于同一水平。

较佳者，本实用新型的探针连接单元具有复数个对应该探针卡上的探针数量的探针连接端子，该些指示灯系对应该些探针连接端子的数量，且每一所述指示灯系电性连接于所述电源与对应的一个所述探针连接端子。

较佳者，本实用新型的支架载台具有一垂直的支柱，所述固定支架与所述活动支架彼此平行地设于所述支柱上，所述活动支架可沿着所述支柱上升或下降地移动。

较佳者，本实用新型在支架载台的支柱设有一高度调整机构，所述高度调整机构机械连接所述活动支架并且具有突出所述支柱的一调整旋钮，藉由旋转该调整旋钮调整所述活动支架在垂直方向上升或下降。

较佳者，本实用新型在支架载台的支柱设有一量表，所述量表以机械或电讯连接所述高度调整机构，用以显示所述活动支架所在位置的高度值。

较佳者，本实用新型在支架载台的活动支架上设有一固定元件，所述固定元件用以将所述探针卡固定于所述活动支架上。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中或现有技术中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型提供的探针卡水平检测装置的前视平面示意图；

图2为本实用新型提供的探针卡水平检测装置的左侧平面示意图；

图3为本实用新型提供的探针卡水平检测装置的右侧平面示意图；

图4为本实用新型提供的用以检测探针长度的电路控制示意图。

附图标记说明：1-支架载台、11-底座、12-固定支架、13-活动支架、131-中空部、14-导电基准垫片、15-支柱、16-调整旋钮、17-量表、18-固定元件、2-探针卡、21-探针、3-探针连接单元、4-电源、5-指示灯。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1至图3所示，本实用新型实施例提供的探针卡水平检测装置，包括一支架载台1，其具有一底座11，在底座11上的一侧往上垂直延伸地设有一支柱15，在支柱15上设置一固定支架12与一活动支架13，固定支架12的上表面与活动支架13的下表面彼此平行，且活动支架13位于对应固定支架12的上方；其中，固定支架12被固定在支柱15的适当高度位置而不可移动，并且在固定支架12的上表面设置一适当面积的导电基准垫片14，且导电基准垫片14为水平状态；活动支架13则可沿着支柱15上升或下降地移动。

进一步的，在支柱15内部设有一高度调整机构(图中未显示)，该高度调整机构机械连接活动支架13并且具有突出支柱15的一调整旋钮16，藉由旋转该调整旋钮16可以控制活动支架13沿着支柱15在垂直方向上升或下降。更明确地说，所述高度调整机构可以包括蜗杆与蜗轮的机械传动机构，例如，可以将蜗杆连接至调整旋钮16，而蜗轮则连接至活动支架13；藉此，旋转调整旋钮16时可以经由蜗杆带蜗轮旋转，从而带动活动支架13上升或下降以调整其高度位置。

为了可以迅速得知活动支架13移动的高度，可以进一步在支柱15的适当位置设置一量表17，该量表17以机械或电讯连接前述之高度调整机构，用以显示该活动支架13所在位置的高度值。更明确地说，量表17可以经由齿轮机构连接至高度调整机构，使得活动支架13在垂直方向移动时经由该高度调整机构与齿轮机构来带动量表17的指针旋转，从而指示出活动支架13的高度值。或者，量表17也可以经由具备可变电阻的电子设备连接至高度调整机构，使得活动支架13在垂直方向移动时经由该高度调整机构与可变电阻产生电阻变化而在电子显示器型态的量表17显示出活动支架13的高度值。

此外，本实用新型还在活动支架13形成上下贯通的一中空部131，用以在活动支架13置放探针卡2后，使探针卡2的探针21容置于中空部131；另活动支架13的上方设置复数个用来固定探针卡2的固定元件18；所述固定元件18可以是一种夹具、螺栓、夹扣或任何可以将探针卡固定的元件；工作人员可以将探针卡2放置于活动支架13的上表面后，利用固定元件18将探针卡2固定，并且使设于探针卡2上的复数探针21通过中空部131均朝向下方并对应于固定支架12上的导电基准垫片14。

再者，活动支架13上还设置了探针连接单元3(如图4所示)，该探针连接单元3是用来电性连接探针卡2的界面元件，其具有复数个对应探针卡2上的探针数量的探针连接端子，当探针卡2被安装于活动支架13上时，系使探针卡2上之各探针21的导电部分别一一对应地电性连接于探针连接单元3的各探针连接端子。

另一方面，图4还显示本实用新型提供有一电源4与复数指示灯5；电源4系电性连接导电基准垫片12与探针连接单元3，而且该复数指示灯5系对应前述探针连接端子的数量，以及该些复数指示灯以电路电性连接于电源4与探针连接单元3之间。

本实用新型的探针卡水平检测装置的检测方式说明如下：

检测人员首先将探针卡2放置于活动支架13上，并且以固定元件18将探针卡2固定，使设于探针卡2上的各探针21通过中空部131而使下端露出活动支架13的下表面，然后手动微量旋转调整旋钮16使活动支架13缓慢下降；如果每支探针21可能长度不同，因此，在下降过程中，最长的探针21会先接触到导电基准垫片14而形成电流通路，从而使其对应的指示灯5通电发光；第二长的探针则随后接触到导电基准垫片14而形成另一电流通路而使对应的另一指示灯发光，依此类推，从而记录所量测的各探针21的高度值，直到所有指示灯5均发光后再依该量测的高度值而调整各探针21的高度，最终使各探针下端位于同一水平即完成检测。藉此，可以更高效率地调整探针卡2的各探针21的高度，且整体检测装置的结构较习知者更为精简，成本较低。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (6)

1.一种探针卡水平检测装置，包括：

一支架载台，具有一固定支架与一活动支架，所述活动支架具有上下贯通的一中空部且可被调整而在垂直方向上相对于所述固定支架上升或下降地移动；

一导电基准垫片，水平地设于所述固定支架的上表面；

一探针连接单元，设于所述活动支架上；

一电源，电性连接所述基准垫片与所述探针连接单元；以及

复数指示灯，以电路电性连接于所述电源与所述探针连接单元之间；

其中，所述活动支架用以安装一探针卡并且使所述探针卡电性连接所述探针连接单元，以及使设于所述探针卡上的各探针通过所述活动支架的中空部而使探针下端露出所述活动支架的下表面，藉由调整所述活动支架朝向所述固定支架移动，使各探针的下端接触所述导电基准垫片而分别形成电流通路时令各指示灯分别发光，从而记录被量测的各探针之高度值，直到所有指示灯均发光后再依所述高度值而调整各探针的高度，最终使各探针下端位于同一水平。

2.根据权利要求1所述的探针卡水平检测装置，其特征在于：所述探针连接单元具有复数个对应所述探针卡上的探针数量的探针连接端子，该些指示灯对应该些探针连接端子的数量，且每一所述指示灯系电性连接于所述电源与对应的一个所述探针连接端子。

3.根据权利要求2所述的探针卡水平检测装置，其特征在于：所述支架载台具有一垂直的支柱，所述固定支架与所述活动支架彼此平行地设于所述支柱上，所述活动支架可沿着所述支柱上升或下降地移动。

4.根据权利要求3所述的探针卡水平检测装置，其特征在于：所述支柱设有一高度调整机构，所述高度调整机构机械连接所述活动支架并且具有突出所述支 柱的一调整旋钮，藉由旋转所述调整旋钮调整所述活动支架在垂直方向上升或下降。

5.根据权利要求4所述的探针卡水平检测装置，其特征在于：所述支柱设有一量表，所述量表以机械或电讯连接所述高度调整机构，用以显示所述活动支架所在位置的高度值。

6.根据权利要求5所述的探针卡水平检测装置，其特征在于：所述活动支架上设有一固定元件，所述固定元件用以将所述探针卡固定于所述活动支架上。