CN206901754U - 一种封存孤立超细小簇的设备 - Google Patents
一种封存孤立超细小簇的设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206901754U CN206901754U CN201720118830.3U CN201720118830U CN206901754U CN 206901754 U CN206901754 U CN 206901754U CN 201720118830 U CN201720118830 U CN 201720118830U CN 206901754 U CN206901754 U CN 206901754U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- tuftlet
- fine
- processing room
- process chamber
- equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
本实用新型涉及纳米小颗粒研究领域,具体地来讲为一种封存孤立超细小簇的设备。该设备包括:采用隔离阀分割的第一处理室与第二处理室,所述第一处理室用于沉积超细小簇,所述第二处理室通入CO2气体,所述第二处理室上设置一传送杆,所述传送杆通入第二处理室并可开通隔离阀通入至第一处理室内。本实用新型设备封存孤立超细小簇,无需接触,保持其洁净。由于干冰极易气化,所以颗粒落在干冰上类似悬浮。
Description
技术领域
本实用新型涉及纳米小颗粒研究领域,具体地来讲为一种封存孤立超细小簇的设备。
背景技术
近年来,纳米科技快速进展,特别是一种类似超原子的纳米小颗粒研究进展神速。人们可以采用第一性原理计算的方法设计一些金属小簇和合金小簇,从而调配优化实现优越的材料性能。这些材料都能实现。比如,包含13个原子的负一价铝小簇呈现特别稳定的性质。
然而这些材料的实际生产往往采用一种称作真空团簇束流的方法。而且这些结构往往表面非常敏感,需要在暴露大气前将其封存操作。这一封存非常困难,一方面要封存起来,必须接触,另一方面,必须使其洁净。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种封存孤立超细小簇的设备,解决超细小簇封存难的问题。
本实用新型是这样实现的,一种封存孤立超细小簇的设备,该设备包括:采用隔离阀分割的第一处理室与第二处理室,所述第一处理室用于沉积超细小簇,所述第二处理室通入CO2气体,所述第二处理室上设置一传送杆,所述传送杆通入第二处理室并可开通隔离阀通入至第一处理室内。
进一步地,所述第一处理室上安装有真空管道用于连接真空泵,所述第一处理室内设置超粒子流枪对准所述第一处理室的样品台。
进一步地,所述第二处理室上安装有真空管道用于连接真空泵,并设置CO2罐体通过阀门控制连接至第二处理室。
进一步地,第一处理室的样品台为中空结构,内通入液氮。
进一步地,所述第二处理室内设置冷却台,所述冷却台为中空结构,内通入液氮。
进一步地,所述传送杆的端部为样品托架。
本实用新型与现有技术相比,有益效果在于:
本实用新型设备以及方法封存孤立超细小簇,无需接触,保持其洁净。由于干冰极易气化,所以颗粒落在干冰上类似悬浮。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的设备结构示意图;
图2为本实用新型实施例提供的第一处理室的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
参见图1结合图2所示,一种封存孤立超细小簇的设备,该设备包括:采用隔离阀8分割的第一处理室7与第二处理室4,隔离阀8设置在连接第一处理室与第二处理室的通道内,通道与处理室之间采用法兰(3,9)连接,为密封设置,该隔离阀8可以通过电控操作打开,第一处理室7用于沉积超细小簇,第二处理室4通入CO2气体在低温下用于制备薄层干冰,第二处理室4上设置一传送杆2,传送杆2通入第二处理室4并可开通隔离阀8通入至第一处理室7内,传送杆2通过电机1驱动。
参见图2,第一处理室7上安装有真空管道用于连接第一真空泵6,为了保持干净无粉尘,需要通过第一真空泵6先抽取真空,保持一定的背景真空度,第一处理室7内设置超粒子流枪对准所述第一处理室7的样品台71。
第二处理室4上安装有真空管道用于连接第二真空泵5,并设置CO2罐体12通过阀门控制连接至第二处理室4。通入第二处理室4的气体可以设置成一个气体喷嘴直接对准第二处理室4的样品台;
本实施例中,冷却的方式可以选择液氮冷却,因此第一处理室以及第二处理室的样品台设置为中空结构,通过液氮冷泵(10、11)通入液氮。
参见图2所示,为了携带干冰在传送杆2的端部为样品托架21,托架上放置托盘,在制备过程中,托架要正对样品台。
上述的设备封存孤立超细小簇的过程,包括如下的步骤:
设置隔离阀分割的第一处理室与第二处理室;
对两个处理室抽真空;
对第一处理室与第二处理室采用液氮冷却;
在第二处理室内充入CO2气体,在液氮的冷却下制备成薄干冰;
传输薄干冰至第一处理室内,沉积超细小颗粒后撤回第二处理室再行冰封。
两个处理室的背景真空度为10-4Pa。
冰封后将隔离阀关闭后,打开第二处理室取出。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,该设备包括:采用隔离阀分割的第一处理室与第二处理室,所述第一处理室用于沉积超细小簇,所述第二处理室通入CO2气体,所述第二处理室上设置一传送杆,所述传送杆通入第二处理室并可开通隔离阀通入至第一处理室内。
2.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述第一处理室上安装有真空管道用于连接真空泵,所述第一处理室内设置超粒子流枪对准所述第一处理室的样品台。
3.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述第二处理室上安装有真空管道用于连接真空泵,并设置CO2罐体通过阀门控制连接至第二处理室。
4.按照权利要求2所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,第一处理室的样品台为中空结构,内通入液氮。
5.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述第二处理室内设置冷却台,所述冷却台为中空结构,内通入液氮。
6.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述传送杆的端部为样品托架。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720118830.3U CN206901754U (zh) | 2017-02-09 | 2017-02-09 | 一种封存孤立超细小簇的设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720118830.3U CN206901754U (zh) | 2017-02-09 | 2017-02-09 | 一种封存孤立超细小簇的设备 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN206901754U true CN206901754U (zh) | 2018-01-19 |
Family
ID=61294361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201720118830.3U Active CN206901754U (zh) | 2017-02-09 | 2017-02-09 | 一种封存孤立超细小簇的设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN206901754U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106865492A (zh) * | 2017-02-09 | 2017-06-20 | 广东电网有限责任公司云浮供电局 | 一种封存孤立超细小簇的设备及封存方法 |
-
2017
- 2017-02-09 CN CN201720118830.3U patent/CN206901754U/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106865492A (zh) * | 2017-02-09 | 2017-06-20 | 广东电网有限责任公司云浮供电局 | 一种封存孤立超细小簇的设备及封存方法 |
CN106865492B (zh) * | 2017-02-09 | 2019-08-13 | 广东电网有限责任公司云浮供电局 | 一种封存孤立超细小簇的设备及封存方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN206496030U (zh) | 一种可收缩球阀 | |
CN103032653B (zh) | 一种真空绝热板用复合芯材、其制备方法及真空绝热板 | |
CN206901754U (zh) | 一种封存孤立超细小簇的设备 | |
CN107326155B (zh) | 一种稀土永磁真空烧结热处理方法及真空热处理设备 | |
CN101220898B (zh) | 一种纳米孔真空保温板及其制备方法 | |
CN205464337U (zh) | 一种热等静压隔热屏装置 | |
CN107144130A (zh) | 一种阴极用可视化微波烧结设备 | |
CN104878345B (zh) | 一种纳米材料真空镀膜机 | |
CN106865492A (zh) | 一种封存孤立超细小簇的设备及封存方法 | |
CN204779779U (zh) | 一种纳米材料真空镀膜机 | |
CN207715049U (zh) | 一种真空室门密封结构 | |
DE102015008131A1 (de) | Vakuumdämmkörper | |
CN113277751B (zh) | 一种真空玻璃生产用烘干装置及其烘干方法 | |
CN212669565U (zh) | 一种真空玻璃生产用烘干装置 | |
CN105021074B (zh) | 一种具微纳尺度超亲水铜表面结构的铜热管及其制备方法 | |
WO2021036481A1 (zh) | Pdms 基片微通道的超低温辅助微磨料气射流加工装置 | |
CN207702996U (zh) | 一种精炼炉水冷炉门 | |
CN217083313U (zh) | 一种氧传感器加工用烧结炉 | |
CN206447577U (zh) | 用于制备石墨烯的装置 | |
CN204528214U (zh) | 一种码头集装箱的箱体 | |
CN204227978U (zh) | 相变蓄能装置 | |
CN216115403U (zh) | 一种具备精确调节超高温烧结炉烧结气氛的装置 | |
CN211661088U (zh) | 一种气雾化制粉设备侧壁舱门结构 | |
CN205639089U (zh) | 一种低温容器泵夹套 | |
CN220604608U (zh) | 一种适用于低温样品的小型扫描电镜真空转移装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
TR01 | Transfer of patent right | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20191108 Address after: 527399 Guangdong City, Yunfu province Jinfeng Road, No. 3 Patentee after: YUNFU POWER SUPPLY BUREAU, GUANGDONG POWER GRID CO., LTD. Address before: 527399 Guangdong City, Yunfu province Jinfeng Road, No. 3 Co-patentee before: Wuhan Xintaiyu Electric Power Electronic Technology Co., Ltd. Patentee before: YUNFU POWER SUPPLY BUREAU, GUANGDONG POWER GRID CO., LTD. |