CN206876915U - 一种双面宽带增透光学玻璃 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种双面宽带增透光学玻璃,包括透明玻璃基板,透明玻璃基板上侧及下侧分别对称覆盖有6层增透膜层,该6层增透膜层由高折射率的锆钛混合物膜层及低折射率的氟化镁MgF2膜层多次交替堆叠组成。本实用新型在波长380‑1000nm的可见光和红外光波段,能实现整体增透,并且在400‑700nm的可见光波段,其透光率达到98%以上,透光率高;此外,本实用新型能对透明玻璃基板上侧及下侧的光线均能进行增透。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种光学玻璃,特别涉及一种能有效提高380-1000nm波长光线透光率的双面宽带增透光学玻璃。
背景技术
光学仪器中,光学玻璃表面的反射,不仅影响光学元件的通光能量,而且这些反射光还会在仪器中形成杂散光,影响光学仪器的成像质量。为了解决这些问题,通常在光学玻璃的表面镀上一定厚度的单层或多层膜,目的是为了减小元件表面的反射光,这样的膜叫光学增透膜,镀有这种增透膜的玻璃叫增透光学玻璃。目前,现有增透玻璃主要存在以下缺失:其一、增透的光线波长范围较窄,难以实现380-1000nm光线波长范围内的宽带增透;其二、透光率整体不够高,对可见光的透光率只有95%左右;其三、只能实现单面增透。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足,提供一种能实现380-1000nm宽带增透、整体透光率高的双面宽带增透光学玻璃。
为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:一种双面宽带增透光学玻璃,包括透明玻璃基板,透明玻璃基板上侧及下侧分别对称覆盖有6层增透膜层,该6层增透膜层由高折射率的锆钛混合物膜层及低折射率的氟化镁MgF2膜层多次交替堆叠组成,该6层增透膜层从内至外依次包括:第1层,锆钛混合物膜层,厚度为16.25~16.31nm;第2层,MgF2膜层,厚度为30.39~30.45nm;第3层,锆钛混合物膜层,厚度为78.52~78.58nm;第4层,MgF2膜层,厚度为3.86~3.92nm;第5层,锆钛混合物膜层,厚度为48.9~48.96nm;第6层,MgF2膜层,厚度为94.59~94.65nm。
在上述技术方案中,所述透明玻璃基板为透明石英玻璃基板,该透明石英玻璃基板的厚度为1.2~2.5mm。
本实用新型双面宽带增透光学玻璃的制造工艺包括:将透明玻璃基板置于精密真空镀膜机中,然后设定好膜层厚度参数,最后通过真空镀膜(例如蒸镀)方式在透明玻璃基板上侧及下侧分别形成所述的6层增透膜层。镀膜之后的双面宽带增透光学玻璃能对波长380-1000nm的光线进行增透。
本实用新型的有益效果是:实用新型的透明玻璃基板上侧及下侧分别对称覆盖有6层增透膜层,在波长380-1000nm的可见光和红外光波段,能实现整体增透,并且在400-700nm的可见光波段,其透光率达到98%以上,透光率高;此外,本实用新型能对透明玻璃基板上侧及下侧的光线均能进行增透。
附图说明
图1为双面宽带增透光学玻璃的整体结构示意图。
图2为双面宽带增透光学玻璃进行380-1000nm光线透射测试的透光率特性图。
图中:1.透明玻璃基板;2.增透膜层;21.锆钛混合物膜层;22.MgF2膜层;3.增透膜层;21.锆钛混合物膜层;22 MgF2膜层。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理作进一步详细说明。
如图1所示,本实用新型为一种双面宽带增透光学玻璃,包括透明玻璃基板1,透明玻璃基板1上侧及下侧分别对称覆盖有6层增透膜层2/3,该6层增透膜层2/3由高折射率的锆钛混合物膜层21/31及低折射率的氟化镁MgF2膜层22/32多次交替堆叠组成,该6层增透膜层从内至外依次包括:第1层,锆钛混合物膜层,厚度为16.25~16.31nm;第2层,MgF2膜层,厚度为30.39~30.45nm;第3层,锆钛混合物膜层,厚度为78.52~78.58nm;第4层,MgF2膜层,厚度为3.86~3.92nm;第5层,锆钛混合物膜层,厚度为48.9~48.96nm;第6层,MgF2膜层,厚度为94.59~94.65nm。
在上述技术方案中,锆钛混合物膜层21/31和MgF2膜层22/32通过真空镀膜(如真空蒸镀)方式形成于透明玻璃基板之上,锆钛混合物膜层21/31和MgF2膜层22/32的层数和厚度是根据MgF2及锆钛混合物的折射率,经大量计算而得出的,锆钛混合物具有较高折射率,其折射率为2.1/550nm,氟化镁具有较低折射率,其折射率为1.38/550nm。
本实用新型双面宽带增透光学玻璃在380-1000nm的光波段中的反射率参见下表:
作为对双面宽带增透光学玻璃的优选方式,所述6层增透膜层的厚度依次为:第1层,16.28nm;第2层,30.42nm;第3层,78.55nm;第4层,3.89nm;第5层,48.93nm;第6层,94.62nm。
进一步,所述透明玻璃基板1为透明石英玻璃基板1,该透明石英玻璃基板1的厚度为1.2~2.5mm。
如图2所示,为对本实用新型双面宽带增透光学玻璃进行光线透射测试的透光率特性图,从图中可以看出,380-1000nm的可见光和红外光波段,均能实现增透,特别是在400-700nm的可见光波段,其透光率在98%以上。
以上所述,仅是本实用新型较佳实施方式,凡是依据本实用新型的技术方案对以上的实施方式所作的任何细微修改、等同变化与修饰,均属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (3)
1.一种双面宽带增透光学玻璃,其特征在于:包括透明玻璃基板,透明玻璃基板上侧及下侧分别对称覆盖有6层增透膜层,该6层增透膜层由高折射率的锆钛混合物膜层及低折射率的氟化镁MgF2膜层多次交替堆叠组成,该6层增透膜层从内至外依次包括:第1层,锆钛混合物膜层,厚度为16.25~16.31nm;第2层,MgF2膜层,厚度为30.39~30.45nm;第3层,锆钛混合物膜层,厚度为78.52~78.58nm;第4层,MgF2膜层,厚度为3.86~3.92nm;第5层,锆钛混合物膜层,厚度为48.9~48.96nm;第6层,MgF2膜层,厚度为94.59~94.65nm。
2.根据权利要求1所述的双面宽带增透光学玻璃,其特征在于:所述6层增透膜层的厚度依次为:第1层,16.28nm;第2层,30.42nm;第3层,78.55nm;第4层,3.89nm;第5层,48.93nm;第6层,94.62nm。
3.根据权利要求1或2所述的双面宽带增透光学玻璃,其特征在于:所述透明玻璃基板为透明石英玻璃基板,该透明石英玻璃基板的厚度为1.2~2.5mm。
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CN112349804A (zh) * | 2019-08-07 | 2021-02-09 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 柔性太阳能电池的制作方法 |
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