CN204166153U - 一种分光膜及分束镜 - Google Patents
一种分光膜及分束镜 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204166153U CN204166153U CN201420684501.1U CN201420684501U CN204166153U CN 204166153 U CN204166153 U CN 204166153U CN 201420684501 U CN201420684501 U CN 201420684501U CN 204166153 U CN204166153 U CN 204166153U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- rete
- film
- spectro
- index material
- eyeglass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 70
- 229910009815 Ti3O5 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 35
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 32
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 12
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 12
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 5
- 239000004568 cement Substances 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 claims description 3
- 238000013341 scale-up Methods 0.000 claims description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 68
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种分光膜，为由第一高折射率材料Ti3O5膜层、第一低折射率材料Al2O3膜层、金属材料Ag膜层、第二低折射率材料Al2O3膜层和第二高折射率材料Ti3O5膜层依次贴合而成的多层分光膜。当入射光照射于所述分光膜时，发生反射和折射，形成反射光和透射光。由于金属材料Ag膜层对可见光到近红外波段光均具有较高的反射率，并通过高低折射率材料叠加形式实现膜层的折射率匹配，所以可实现对可见光到近红外波段光的分光，进一步扩展了分光膜在光学仪器中的应用。本实用新型还提供一种分束镜，包括入射镜片、出射镜片和夹于所述入射镜片和所述出射镜片之间的分光膜，所述分光膜为以上所述的分光膜。所述分束镜可对可见光到近红外波段光实现分光。
Description
技术领域
本实用新型涉及光学设备领域，特别是涉及一种分光膜。本实用新型还涉及一种分束镜。
背景技术
光学薄膜是指由薄的分层介质构成，通过界面传播光束的一类光介质材料。分光膜是光学薄膜的一种，是根据一定的要求和一定的方式把光束分成两部分的薄膜。分光膜包括波长分光膜、光强分光膜和偏振分光膜等几类。
光强分光膜是按照一定的光强比把光束分成反射光和透射光两部分的薄膜。目前，在光学仪器中使用的光强分光膜，其分光波长范围位于可见光波段。
随着高精度光学设备的应用日益广泛，光学仪器所涉及的光谱范围逐渐由可见光波段延伸至近红外波段。而光强分光膜的分光波长范围位于可见光波段，分光波长范围较窄，其分光波长范围不涉及近红外波段，从而限制了分光膜在光谱范围涉及可见光到近红外波段的光学仪器中的应用。
实用新型内容
本实用新型提供一种分光膜，可实现对可见光到近红外波段光的分光。本实用新型还提供一种分束镜。
本实用新型提供一种分光膜，所述分光膜为由第一高折射率材料Ti3O5膜层、第一低折射率材料Al2O3膜层、金属材料Ag膜层、第二低折射率材料Al2O3膜层和第二高折射率材料Ti3O5膜层依次贴合而成的多层分光膜。
可选地，所述分光膜的膜系结构为：/α1Hβ1LγAgβ2Lα2H/；
式中：H表示光学厚度为λ/4的高折射率材料Ti3O5膜层，L表示光学厚度为λ/4的低折射率材料Al2O3膜层，Ag表示金属材料Ag膜层，λ为中心波长，α1、β1、γ、β2和α2为光学厚度的比例系数。
可选地，α1为1.331，β1为0.7513，β2为0.3522，α2为0.327。
可选地，所述第一高折射率材料Ti3O5膜层的物理厚度为77nm，所述第一低折射率材料Al2O3膜层的物理厚度为63.73nm，所述金属材料Ag膜层的物理厚度为11.01nm，所述第二低折射率材料Al2O3膜层的物理厚度为29.87nm，所述第二高折射率材料Ti3O5膜层的物理厚度为18.92nm。
本实用新型所提供的一种分光膜，为由第一高折射率材料Ti3O5膜层、第一低折射率材料Al2O3膜层、金属材料Ag膜层、第二低折射率材料Al2O3膜层和第二高折射率材料Ti3O5膜层依次贴合而成的多层分光膜。金属材料Ag膜层位于所述分光膜的中间层，第一低折射率材料Al2O3膜层和第一高折射率材料Ti3O5膜层依次叠加于金属材料Ag膜层的一侧，第一低折射率材料Al2O3膜层和第一高折射率材料Ti3O5膜层依次叠加在金属材料Ag膜层的另一侧。当入射光照射于所述分光膜时，发生反射和折射，形成反射光和透射光。由于金属材料Ag膜层对可见光到近红外波段光均具有较高的反射率，并通过高低折射率材料叠加形式实现膜层的折射率匹配，从而使所述分光膜对可见光到近红外波段光均能形成反射光和透射光，所以可实现对可见光到近红外波段光的分光。
本实用新型还提供一种分束镜，包括入射镜片、出射镜片和夹于所述入射镜片和所述出射镜片之间的分光膜，所述分光膜为以上所述的分光膜。
可选地，所述入射镜片和所述出射镜片为直角棱镜，所述分光膜夹于所述两块直角棱镜的斜面之间。
可选地，所述直角棱镜为45度等腰直角棱镜。
可选地，所述入射镜片和所述出射镜片为同质的玻璃镜片。
可选地，所述入射镜片通过光胶技术与所述出射镜片粘合。
可选地，所述第一高折射率材料Ti3O5膜层、所述第一低折射率材料Al2O3膜层、所述金属材料Ag膜层、所述第二低折射率材料Al2O3膜层和所述第二高折射率材料Ti3O5膜层采用电子束蒸发依次蒸镀于所述入射镜片上。
本实用新型提供的一种分束镜，包括入射镜片、出射镜片和夹于所述入射镜片和所述出射镜片之间的分光膜，所述分光膜为以上所述的分光膜。当入射光照射到入射镜片，入射光经所述分光膜发生反射和折射，形成反射光和透射光。所述分光膜使分束镜可对可见光到近红外波段光实现分光。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的一种分光膜的结构示意图；
图2为本实用新型实施例提供的一种分光膜经测试得到的透射光谱曲线；
图3为本实用新型实施例所提供的一种分束镜的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型提供一种分光膜，对可见光到近红外波段光具有较好的分光效果。本实用新型还提供一种分束镜。
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
参见图1，本实用新型所提供的一种分光膜，所述分光膜为由第一高折射率材料Ti3O5膜层10、第一低折射率材料Al2O3膜层11、金属材料Ag膜层12、第二低折射率材料Al2O3膜层13和第二高折射率材料Ti3O5膜层14依次贴合而成的多层分光膜。
金属材料Ag膜层12位于所述分光膜的中间层，第一低折射率材料Al2O3膜层11和第一高折射率材料Ti3O5膜层10依次叠加于金属材料Ag膜层12的一侧，第一低折射率材料Al2O3膜层13和第一高折射率材料Ti3O5膜层14依次叠加在金属材料Ag膜层12的另一侧。当入射光照射于所述分光膜时，发生反射和折射，形成反射光和透射光。由于金属材料Ag膜层对可见光到近红外波段光均具有较高的反射率，并通过高低折射率材料叠加形式实现膜层的折射率匹配，从而使所述分光膜对可见光到近红外波段光均能形成反射光和透射光。所以所述分光膜可实现对可见光到近红外波段光的分光，进一步扩展了分光膜在光学仪器中的应用。
本实施例中，所述分光膜的膜系结构为：/α1Hβ1LγAgβ2Lα2H/，式中：H表示光学厚度为λ/4的高折射率材料Ti3O5膜层，L表示光学厚度为λ/4的低折射率材料Al2O3膜层，Ag表示金属材料Ag膜层，λ为中心波长，α1、β1、γ、β2和α2为光学厚度的比例系数。采用该膜系结构，可使所述分光膜对500-1100nm波段光均分成反射光和透射光，实现对500-1100nm波段光的分光，带宽达600nm。参见图2，图2为本实施例所述分光膜通过检测设备测试得到的透射光谱曲线，可看到其分光波长范围为500-1100nm，带宽达600nm。
可通过调节α1、β1、β2、α2及γ的取值，来调节所述分光膜对500-1100nm波段光的光强分光比。
当取α1为1.331、β1为0.7513、β2为0.3522、α2为0.327时，再通过调节γ，所得到的分光膜对500-1100nm波段分光的分光比可达到1:1±5％的分光效果，如图2所示，从透射光谱曲线可以看到，其分光波长范围为500-1100nm，在这一波段范围内其透射曲线基本恒定，变化较小，对500-1100nm波段光的透射率基本维持在50％。
所相应地，第一高折射率材料Ti3O5膜层的物理厚度为77nm，第一低折射率材料Al2O3膜层的物理厚度为63.73nm，金属材料Ag膜层的物理厚度为11.01nm，第二低折射率材料Al2O3膜层的物理厚度为29.87nm，第二高折射率材料Ti3O5膜层的物理厚度为18.92nm。
所以，通过对所述膜系结构的优化，可得到分光波长范围为500-1100nm、分光比为1:1±5％、带宽为600nm的宽带分光膜。
参见图3，本实用新型所提供的一种分束镜，包括入射镜片20、出射镜片21和夹于所述入射镜片和所述出射镜片之间的分光膜22，所述分光膜22为以上所述的分光膜。
本实施例中，入射镜片和出射镜片可以是同质的玻璃镜片，入射镜片和出射镜片可以是K9玻璃镜片。所述入射镜片可通过光胶技术与所述出射镜片粘合。
入射镜片和出射镜片可以是直角棱镜，两块直角棱镜的尺寸可以相等，直角棱镜可以是45度等腰直角棱镜。所述分光膜夹于两块直角棱镜的斜面之间，两块直角棱镜的斜面通过光胶技术粘合，从而形成一个立方体分束镜。
将作为入射镜片的直角棱镜的一直角面作为光入射面。当一束入射光通过一直角面进入入射镜片，入射到分光膜发生反射和折射，形成反射光和透射光，反射光从作为入射镜片的直角棱镜的直角面射出，为第一出射光，透射光从作为出射镜片的直角棱镜的直角面射出，为第二出射光。
所述分光膜为以上所述的分光膜，所述分光膜为由第一高折射率材料Ti3O5膜层、第一低折射率材料Al2O3膜层、金属材料Ag膜层、第二低折射率材料Al2O3膜层和第二高折射率材料Ti3O5膜层依次贴合而成的多层分光膜。通过对所述分光膜的膜系结构的优化，可得到分光波长范围为500-1100nm、分光比为1:1±5％、带宽为600nm的宽带分光膜。所以，所述分束镜可实现对可见光到近红外波段光的分光，分光波长范围可为500-1100nm，分光带宽为600nm。入射光经所述分束镜形成的第一出射光和第二出射光，通过对分光膜膜系结构的优化，两者的光强比可达到1:1±5％，参见图2所示的透射光谱曲线。
本实施例中，所述第一高折射率材料Ti3O5膜层、所述第一低折射率材料Al2O3膜层、所述金属材料Ag膜层、所述第二低折射率材料Al2O3膜层和所述第二高折射率材料Ti3O5膜层采用电子束蒸发依次蒸镀于所述入射镜片上。
下面以在光学玻璃K9的直角棱镜的斜面上镀制分光膜为例，详细说明其具体镀制过程。其具体过程如下：
1、清洁镜片，用酒精和乙醚混合溶液浸湿的纱布擦洗，去除表面的油污、抛光时的遗留物等，镀制前用离子源进行清洁，离子源参数如下表所示。
2、将镜片放置在夹具内，放入真空镀膜机，真空度抽至1.5×10-3pa，烘烤温度升至200℃。
3、镀制第一高折射率材料Ti3O5膜层与第一低折射率材料Al2O3膜层，将Ti3O5与Al2O3分别放置在环形坩埚中，采用电子枪蒸镀，蒸镀时真空度为1.5×10-2pa，蒸发速率分别为和采用石英晶体控制法控制膜厚，其物理厚度分别为77nm和63.73nm。
4、镀制金属材料Ag膜层，将材料Ag放置在石墨坩埚中，采用电子枪蒸镀，蒸镀时真空度为1.5×10-3pa，蒸发速率为采用石英晶体控制法控制膜厚，其物理厚度为11.01nm。
5、镀制第二低折射率材料Al2O3膜层与第二高折射率材料Ti3O5膜层，将Al2O3与Ti3O5分别放置在环形坩埚中，采用电子枪蒸镀，蒸镀时真空度为1.5×10-2pa，蒸发速率分别为和采用石英晶体控制法控制膜厚，其物理厚度分别为29.87nm和18.92nm。
以上对本实用新型所提供的分光膜及分束镜进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。
Claims (10)
1.一种分光膜，其特征在于，所述分光膜为由第一高折射率材料Ti3O5膜层、第一低折射率材料Al2O3膜层、金属材料Ag膜层、第二低折射率材料Al2O3膜层和第二高折射率材料Ti3O5膜层依次贴合而成的多层分光膜。
2.如权利要求1所述的分光膜，其特征在于，所述分光膜的膜系结构为：/α1Hβ1LγAgβ2Lα2H/；
式中：H表示光学厚度为λ/4的高折射率材料Ti3O5膜层，L表示光学厚度为λ/4的低折射率材料Al2O3膜层，Ag表示金属材料Ag膜层，λ为中心波长，α1、β1、γ、β2和α2为光学厚度的比例系数。
3.如权利要求2所述的分光膜，其特征在于，α1为1.331，β1为0.7513，β2为0.3522，α2为0.327。
4.如权利要求1所述的分光膜，其特征在于，所述第一高折射率材料Ti3O5膜层的物理厚度为77nm，所述第一低折射率材料Al2O3膜层的物理厚度为63.73nm，所述金属材料Ag膜层的物理厚度为11.01nm，所述第二低折射率材料Al2O3膜层的物理厚度为29.87nm，所述第二高折射率材料Ti3O5膜层的物理厚度为18.92nm。
5.一种分束镜，其特征在于，包括入射镜片、出射镜片和夹于所述入射镜片和所述出射镜片之间的分光膜，所述分光膜为权利要求1至4任一项所述的分光膜。
6.如权利要求5所述的分束镜，其特征在于，所述入射镜片和所述出射镜片为直角棱镜，所述分光膜夹于所述两块直角棱镜的斜面之间。
7.如权利要求6所述的分束镜，其特征在于，所述直角棱镜为45度等腰直角棱镜。
8.如权利要求5所述的分束镜，其特征在于，所述入射镜片和所述出射镜片为同质的玻璃镜片。
9.如权利要求5所述的分束镜，其特征在于，所述入射镜片通过光胶技术与所述出射镜片粘合。
10.如权利要求5所述的分束镜，其特征在于，所述第一高折射率材料Ti3O5膜层、所述第一低折射率材料Al2O3膜层、所述金属材料Ag膜层、所述第二低折射率材料Al2O3膜层和所述第二高折射率材料Ti3O5膜层采用电子束蒸发依次蒸镀于所述入射镜片上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420684501.1U CN204166153U (zh) | 2014-11-14 | 2014-11-14 | 一种分光膜及分束镜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420684501.1U CN204166153U (zh) | 2014-11-14 | 2014-11-14 | 一种分光膜及分束镜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204166153U true CN204166153U (zh) | 2015-02-18 |
Family
ID=52539829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420684501.1U Expired - Fee Related CN204166153U (zh) | 2014-11-14 | 2014-11-14 | 一种分光膜及分束镜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204166153U (zh) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105759493A (zh) * | 2016-05-11 | 2016-07-13 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶显示装置 |
| CN106199984A (zh) * | 2016-09-27 | 2016-12-07 | 中山联合光电科技股份有限公司 | 一种能够使镜头成像清晰的分光装置 |
| CN112327390A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-02-05 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于复合材料的平板型激光分束膜及其设计方法 |
| CN113204125A (zh) * | 2021-05-11 | 2021-08-03 | 南京信息职业技术学院 | 分束比可调节的分束镜 |
| CN114296169A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-08 | 神华国华永州发电有限责任公司 | 一种用于近红外双波段成像的滤波器及其设计方法 |
| CN115704961A (zh) * | 2021-08-09 | 2023-02-17 | 信阳舜宇光学有限公司 | 光学部件及其制造方法 |
| CN116643410A (zh) * | 2023-07-24 | 2023-08-25 | 北京灵犀微光科技有限公司 | 一种阵列光波导及近眼显示设备 |
-
2014
- 2014-11-14 CN CN201420684501.1U patent/CN204166153U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105759493A (zh) * | 2016-05-11 | 2016-07-13 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶显示装置 |
| CN106199984A (zh) * | 2016-09-27 | 2016-12-07 | 中山联合光电科技股份有限公司 | 一种能够使镜头成像清晰的分光装置 |
| CN112327390A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-02-05 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于复合材料的平板型激光分束膜及其设计方法 |
| CN112327390B (zh) * | 2020-11-13 | 2022-04-05 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于复合材料的平板型激光分束膜及其设计方法 |
| CN113204125A (zh) * | 2021-05-11 | 2021-08-03 | 南京信息职业技术学院 | 分束比可调节的分束镜 |
| CN115704961A (zh) * | 2021-08-09 | 2023-02-17 | 信阳舜宇光学有限公司 | 光学部件及其制造方法 |
| CN114296169A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-08 | 神华国华永州发电有限责任公司 | 一种用于近红外双波段成像的滤波器及其设计方法 |
| CN116643410A (zh) * | 2023-07-24 | 2023-08-25 | 北京灵犀微光科技有限公司 | 一种阵列光波导及近眼显示设备 |
| CN116643410B (zh) * | 2023-07-24 | 2023-09-26 | 北京灵犀微光科技有限公司 | 一种阵列光波导及近眼显示设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN204166153U (zh) | 一种分光膜及分束镜 | |
| Moghal et al. | Development of single layer nanoparticle anti-reflection coating for polymer substrates | |
| CN103217730A (zh) | 一种渐变光学厚度窄带负滤光片膜系 | |
| CN106733548A (zh) | 一种表面改性的同质双层氧化硅自清洁减反膜的制备方法 | |
| CN103983610A (zh) | 基于光谱干涉的微量液体折射率测量装置和测量方法 | |
| CN102279007A (zh) | 光纤耦合波导光栅传感器及其制备方法 | |
| CN204028389U (zh) | 一种自清洁超宽带增透膜镜片 | |
| CN105568227A (zh) | 一种同质双层氧化铪减反膜及其制备方法 | |
| CN104765084B (zh) | 一种激光双波段高反射介质膜及其制备方法 | |
| US10359544B2 (en) | Long-wave infrared anti-reflective laminate | |
| CN105511003A (zh) | 一种高性能滤光片生产加工工艺方法 | |
| CN108169827B (zh) | 一种深紫外波段宽带分束薄膜膜层的制备方法 | |
| Bruynooghe et al. | Broadband and wide-angle hybrid antireflection coatings prepared by combining interference multilayers with subwavelength structures | |
| CN102998731A (zh) | 用于空间激光通信的三波段光学滤光片 | |
| CN106896450A (zh) | 一种基于棱镜耦合的多通带极窄带光学滤波器 | |
| CN108957608A (zh) | 一种宽角度近红外热反射镜的设计及其制备 | |
| CN106405687B (zh) | 一种防蓝光膜结构和防蓝光镜片及其应用 | |
| CN204740365U (zh) | 一种基于无序金属圆柱阵列的大角度的光学调色装置 | |
| Kumar et al. | Multi-layer dielectric thin-film optical filters for beam folding applications | |
| Li et al. | Research on wavelength division film of glasses based on 3D technology in cinema | |
| CN208255450U (zh) | 具有高抗激光阈值的增透膜 | |
| CN208521025U (zh) | 一种低红外透过率红外截止滤光片 | |
| CN106324743A (zh) | 一种基于金属光栅的偏振分束器 | |
| US20160195656A1 (en) | Structure of ultraviolet light polarization component and manufacturing process therefor | |
| CN207650432U (zh) | 一种可见-近红外高透滤光片 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Changchun Huachen Photoelectric Technology Co., Ltd. Assignor: Meng Fanyou Contract record no.: 2015220000029 Denomination of utility model: Beam splitting film and beam splitter Granted publication date: 20150218 License type: Exclusive License Record date: 20150707 |
|
| LICC | Enforcement, change and cancellation of record of contracts on the licence for exploitation of a patent or utility model | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150218 Termination date: 20161114 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |