CN207650432U - 一种可见-近红外高透滤光片 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种可见‑近红外高透滤光片,包括由玻璃制成的透光基片,在所述透光基片一侧表面上有高折射率、低折射率、中间折射率三种膜料形成的全介质滤光薄膜,所述全介质滤光薄膜的膜系结构为:高折射率膜料/低折射率膜料/高折射率膜料/中折射率膜料/低折射率膜料/中折射率膜料/高折射率膜料。本实用新型可实现400nm‑1700nm波长范围内满足高透,1800nm‑2600nm中红外范围内截止,简化了优化的困难程度,相比现有的干涉截止膜系大幅度展宽了透射带,并可明显提高成品率,降低制造成本。

Description

一种可见-近红外高透滤光片
技术领域
本实用新型涉及光学领域,更具体的说,涉及一种可见-近红外高透滤光片。
背景技术
可见-近红外光谱范围的宽带通滤光片作为重要的光学器件,广泛应用于分光光度计、光学成像等领域。现有的可见-近红外宽透射带滤光片一般是在透光基板上形成由高折射率和低折射率材料交替形成的干涉截止膜,利用多层膜的干涉实现可见-近红外透光、红外光截止的功能。
现有可见-近红外光谱范围的宽带通滤光片难以满足400nm-1700nm波长范围内高透,1800nm-2600nm中红外范围内截止,且存在工艺难度高、通带波纹压缩不够平滑、成品率低、带宽范围较窄等不足。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种可见-近红外高透滤光片,可实现400nm-1700nm波长范围内满足高透,1800nm-2600nm中红外范围内截止,简化了优化困难,相比现有的干涉截止膜系大幅度展宽了透射带,并可明显提高成品率,降低制造成本。
为解决上述问题,本实用新型采用如下技术方案:一种可见-近红外高透滤光片,包括由玻璃制成的透光基片,在所述透光基片一侧表面上有高折射率、低折射率、中间折射率三种膜料形成的全介质滤光薄膜,所述全介质滤光薄膜的膜系结构为:高折射率膜料/低折射率膜料/高折射率膜料/中折射率膜料/低折射率膜料/中折射率膜料/高折射率膜料。
优选的是:所述膜系结构中,高折射率膜料/低折射率膜料之后的膜料按照以下顺序规律重复镀制:高折射率膜料/中折射率膜料/低折射率膜料/中折射率膜料/高折射率膜料。
优选的是:所述高折射率膜料为五氧化二钽,低折射率膜料为二氧化硅,中间折射率膜料为三氧化二铝。
优选的是:所述透光基片为K9玻璃。
本实用新型的有益效果是:由于使用K9玻璃为基片,选取五氧化二钽作为高折射率膜料,二氧化硅为低折射率膜料,且选用三氧化二铝作为中间折射率膜料,实现400nm-1700nm波长范围内满足高透,1800nm-2600nm中红外范围内截止,解决了由半波孔以及高级次反射带引起的通带带宽不够宽的问题,这三种材料的基础膜系简化了优化的困难程度,可明显提高成品率,降低制造成本。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型一种可见-近红外高透滤光片的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和较佳的实施例对本实用新型作进一步说明。
参阅图1所示,一种可见-近红外高透滤光片,包括由玻璃制成的透光基片1,在所述透光基片1一侧表面上有高折射率、低折射率、中间折射率三种膜料形成的全介质滤光薄膜2,全介质滤光薄膜2的膜系结构为:高折射率膜料/低折射率膜料/高折射率膜料/中折射率膜料/低折射率膜料/中折射率膜料/高折射率膜料。
膜系结构中,高折射率膜料/低折射率膜料之后的膜料按照以下顺序规律重复镀制:高折射率膜料/中折射率膜料/低折射率膜料/中折射率膜料/高折射率膜料。可根据具体需求重复多次上述膜料镀制,以达到需要的膜层厚度和透光要求。
本实施例中,透光基片1为K9玻璃,高折射率膜料为五氧化二钽,低折射率膜料为二氧化硅,中间折射率膜料为三氧化二铝。
在以K9玻璃为透光基片1的一侧形成的全介质薄膜2的膜系结构具体如下:
序号 折射率 膜料
1 五氧化二钽
2 二氧化硅
3 五氧化二钽
4 三氧化二铝
5 二氧化硅
6 三氧化二铝
7 五氧化二钽
其中序号3-7为一个循环,按照表中顺序重复多次。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明,不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干简单推演或替换,都应当视为属于本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种可见-近红外高透滤光片,其特征在于:包括由玻璃制成的透光基片,在所述透光基片一侧表面上有高折射率、低折射率、中间折射率三种膜料形成的全介质滤光薄膜,所述全介质滤光薄膜的膜系结构为:高折射率膜料/低折射率膜料/高折射率膜料/中折射率膜料/低折射率膜料/中折射率膜料/高折射率膜料。
2.根据权利要求1所述的一种可见-近红外高透滤光片,其特征在于:所述膜系结构中,高折射率膜料/低折射率膜料之后的膜料按照以下顺序规律重复镀制:高折射率膜料/中折射率膜料/低折射率膜料/中折射率膜料/高折射率膜料。
3.根据权利要求1或2所述的一种可见-近红外高透滤光片,其特征在于:所述高折射率膜料为五氧化二钽,低折射率膜料为二氧化硅,中间折射率膜料为三氧化二铝。
4.根据权利要求1或2所述的一种可见-近红外高透滤光片,其特征在于:所述透光基片为K9玻璃。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110879435A (zh) * 2019-11-18 2020-03-13 中国科学院上海技术物理研究所 一种以硒化锌晶体为基底的中长波红外宽光谱分色片

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