CN206862015U - 用于光电零部件的超净干燥设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了用于光电零部件的超净干燥设备，包括箱体、入口门、滤口、风机、隔板、风口门、加热模块，所述箱体穿过并安装于无尘室墙壁，箱体内侧为内室体，所述入口门位于无尘室一侧，所述风口门位于入口门对向一侧，若干所述滤口对称布置于箱体的无尘室一侧并穿过箱体进入内室体内部，每个滤口包括若干层滤网层和吸附层，若干所述隔板交叉布置于内室体内侧，并形成干燥通道；所述加热模块位于所述内室体侧面，所述箱体外侧壁安装有控制面板，控制面板连接外部控制器。本实用新型结构从入口、出口各个角度对干燥过程的洁净性进行了强化，并带有温度和压力监测，具有较强的洁净保障性能和工艺灵活性，节省干燥时间2~3h，提高了生产效率。

Description

用于光电零部件的超净干燥设备

技术领域

本实用新型属于光电洁净技术领域，尤其是用于光电零部件的超净干燥设备。

背景技术

光电技术领域使用的零部件，往往对清洁度的要求较高，微小的杂质和尘埃都会影响半导体的性能。因此在光电领域内清洗、清洁技术是非常重要的一系列技术，很多工艺要在洁净室完成。

干燥设备（干燥箱、干燥器等）作为一种加热烘干操作主体，对各种需要干燥的提供高效的蒸发水分/溶剂的作用，按照进气方式可分为自然通风和鼓风式等类型，均采用电加热的方式维持一定温度。纯粹电加热的方式一次干燥的时间大概需要6h。目前的干燥设备净化装置也仅仅是简单的设置，虽然相对传统的干燥设备洁净度有了很大提高，但对于光电零部件而言，很多情况下都需要100级，其净化程度远远达不到要求。除过滤效果外，通风的气源、流量和流道控制也对提升设备的持续洁净能力具有很大的意义。因此，必须从整体上优化干燥设备的结构以实质提高洁净干燥等级，达到“超净干燥”的标准，优化产品洁净干燥质量。

实用新型内容

实用新型目的：为了改进现有洁净干燥设备的结构，使其达到更高的洁净标准，且提高适用性和保障性能，本实用新型提供一种用于光电零部件的超净干燥设备，以解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容：用于光电零部件的超净干燥设备，包括箱体、入口门、滤口、风机、隔板、风口门、加热模块，所述箱体穿过并安装于无尘室墙壁，箱体内侧为内室体，内室体和箱体外部结构之间具有保温层，所述入口门位于无尘室一侧，所述风口门位于入口门对向一侧，风机位于风口门前端；若干所述滤口对称布置于箱体的无尘室一侧并穿过箱体进入内室体内部，每个滤口包括若干层滤网层和位于滤网层之间的吸附层，若干所述隔板交叉布置于内室体内侧，并与内室体空间构成干燥通道；

所述加热模块位于所述内室体侧面，所述箱体外侧壁还安装有控制面板，控制面板连接外部控制器，所述风机、加热模块均和控制器连接。

作为优选，所述干燥设备在与无尘室一侧和风口门一侧与墙体接触处均具有密封层，密封层的密封方式为液槽密封或胶泥密封。密封的好坏在该体系中直接关系到无尘室的微尘进入干燥设备，虽然无尘室本身具有不错的无尘性，但多少还存在一些微尘，进入干燥设备后微尘会累积，如加一道或几道过滤，则微尘被挡在外面，不至于累积；液槽密封和胶泥密封的密封方式比较可靠，密封性能和抗膨胀预应力性能均较好，液槽密封本身具有的还能吸收外部尘埃，具有多重保险的作用。

作为优选，所述风口门和风机的出风口之间还具有耐温过滤层，所述耐温过滤层的材质为超细玻纤布或石棉布。由于风口门打开、风机运行时，或者风机关闭、风口门闭合时，因风口门外侧并非无尘室环境，空气扰动可能将微尘带入干燥设备，耐温过滤层的作用是，隔开微尘并吸附，避免进入干燥设备内部；超细玻纤布或石棉布耐温效果好，干燥设备内部为热气流环境，如用活性炭可能难以承受。

作为优选，每层所述滤网层的目数不低于40000目，滤网层之间还具有吸附层，所述吸附层为活性炭吸附层。40000目滤网对应0.31μm孔径，对于该过滤体系而言，应付0.3μm无尘环境（筛掉几乎全部0.3μm以上微尘），已然足够；由于活性炭的存在，0.1μm的微尘也能在进入干燥设备内之前被除掉很大一部分，同时亦能吸附有害气体。

作为优选，所述干燥设备内侧壁和隔板的外壁为抛光的不锈钢材质，内室体的无尘等级、滤网层的目数和对应的无尘室的无尘等级一致。所谓的“一致”指的是在指定无尘室无尘等级下，内室体的无尘等级为生产要求与之对应的无尘等级（一般相等或相差一级），滤网层的目数液也为对应的。抛光的不锈钢材质不容易沾染微尘或摩擦产生金属尘，内室体的无尘等级、滤网层的目数和对应的无尘室的无尘等级一致是为了方便工艺需要，方便操作，同时不给过滤层造成很大负担或产生过大压降。

作为优选，所述干燥设备的内室体侧壁靠近风机处，还安装有温度传感器和风压传感器，所述温度传感器和风压传感器均和控制器连接。温度传感器和风压传感器用于监测内室体中的温度和压力，以保持良好工况。

和现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型的用于光电零部件的超净干燥设备，结构简单、洁净保障性好。在无尘室墙体安装干燥设备构思精巧，加以密封，本质上隔绝性能可靠；滤口及其滤网层、吸附层的组合在引入无尘气体作为干燥气体的基础上又加了一道保险，避免了微尘累积和滤掉了更小的微尘；加热装置、风机及温度、风压传感器的设置简单易控制，且便于及时调整工况参数，耐温过滤层又隔绝了来自非无尘环境的气体尘埃；隔板的技能方便防止被干燥产品又对吸入干燥气具有导流的作用，提高了干燥效率。本实用新型结构从入口、出口各个角度对干燥过程的洁净性进行了强化，并带有温度和压力监测，具有较强的洁净保障性能和工艺灵活性，同时节省干燥时间2~3h，提高了生产效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例的结构示意图。

1-箱体，10-保温层，11-内室体，2-入口门，3-滤口，31-滤网层，32-吸附层，4-风机，5-隔板，50-干燥通道，6-风口门，61-耐温过滤层，7-加热模块，8-密封层，9-控制面板，91-温度传感器，92-风压传感器。

具体实施方式

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

下面结合图1和具体实施例，进一步阐明本实用新型。

如图1，用于光电零部件的超净干燥设备，包括箱体1、入口门2、滤口3、风机4、隔板5、风口门6、加热模块7，所述箱体1穿过并安装于无尘室墙壁，风机4为循环风机/离心风机；箱体1内侧为内室体11，内室体11和箱体1外部结构之间具有保温层10，所述入口门2位于无尘室一侧，所述风口门6位于入口门2对向一侧，风机4位于风口门6前端，所述风口门6和风机4的出风口之间还具有耐温过滤层61，所述耐温过滤层61的材质为超细玻纤布或石棉布，所述干燥设备在与无尘室一侧和风口门一侧与墙体接触处均具有密封层8，密封层8的密封方式为液槽密封或胶泥密封；2个所述滤口3对称布置于箱体1的无尘室一侧上部、下部，并穿过箱体1进入内室体11内部，每个滤口3包括3层（或2层）滤网层31和位于相邻滤网层31之间的2层（或1层）活性炭吸附层32，每层所述滤网层31的目数不低于40000目，3块所述隔板5交叉布置于内室体11内侧，1块靠近入口门2中部，另2块靠近风机4上下两侧并对称布置，3块隔板5与内室体11空间构成干燥通道50，无尘室气流经由滤口3双向进入流道并在风机4处合并直排；

所述加热模块7位于所述内室体11侧面，所述箱体1外侧壁还安装有控制面板9，控制面板9连接外部控制器，所述干燥设备的内室体11侧壁靠近风机处，还安装有温度传感器91和风压传感器92，所述风机4、加热模块7、温度传感器91、风压传感器92均和控制器连接；干燥设备内侧壁和隔板的外壁为抛光的不锈钢材质，内室体11的无尘等级、滤网层31的目数和对应的无尘室的无尘等级一致。

另外，所述过滤网层31和吸附层32的组合可以由超精密过滤器代替，超精密过滤器的目数与过滤网层31的目数相同。

使用方法：入口门2一侧为无尘室，风口门6一侧为非无尘室/大气环境。首先从无尘室一侧的入口门2放入已清洗过的光电零部件，关上入口门2，人工操作控制面板9，设置好干燥风量、功率、加热温度、操作时间等参数，手动打开风口门6，随即启动风机4和加热模块7；在风机4的作用下，入口门2吸入无尘室气体，经过滤网层31和吸附层32的过滤和吸附，洁净空气走干燥通道50进入风机4，根据工艺条件选择是否经过耐温过滤层61（风机风量4稳定时可卸下耐温过滤层61）；为防温度过高引起光电零部件损坏或者经过滤网层31、吸附层32（耐温过滤层61）后压降过大而排出气体阻力大，干燥期间温度传感器91、风压传感器92随时监控温度和压力，控制器会作出反应，提示人工进行操作条件工况；干燥完成后，先合上耐温过滤层61（如合上困难可先调低风量），再关闭电源、合上风口门6，最后仍从入口门2取出干燥的光电零部件。

最后，还需要说明，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

Claims (6)

1.用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，包括箱体、入口门、滤口、风机、隔板、风口门、加热模块，所述箱体穿过并安装于无尘室墙壁，箱体内侧为内室体，内室体和箱体外部结构之间具有保温层，所述入口门位于无尘室一侧，所述风口门位于入口门对向一侧，风机位于风口门前端；若干所述滤口对称布置于箱体的无尘室一侧并穿过箱体进入内室体内部，每个滤口包括若干层滤网层，若干所述隔板交叉布置于内室体内侧，并与内室体空间构成干燥通道；

所述加热模块位于所述内室体侧面，所述箱体外侧壁还安装有控制面板，控制面板连接外部控制器，所述风机、加热模块均和控制器连接。

2.根据权利要求1所述的用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，所述干燥设备在与无尘室一侧和风口门一侧与墙体接触处均具有密封层，密封层的密封方式为液槽密封或胶泥密封。

3.根据权利要求1所述的用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，所述风口门和风机的出风口之间还具有耐温过滤层，所述耐温过滤层的材质为超细玻纤布或石棉布。

4.根据权利要求1所述的用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，每层所述滤网层的目数不低于40000目，滤网层之间还具有吸附层，所述吸附层为活性炭吸附层。

5.根据权利要求1所述的用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，所述干燥设备内侧壁和隔板的外壁为抛光的不锈钢材质，内室体的无尘等级、滤网层的目数和对应的无尘室的无尘等级一致。

6.根据权利要求1所述的用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，所述干燥设备的内室体侧壁靠近风机处，还安装有温度传感器和风压传感器，所述温度传感器和风压传感器均和控制器连接。