CN206795872U - 从关节部件及包含其的真空操纵系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种从关节部件及包含其的真空操纵系统。从关节部件包括：从关节躯干；第一轴承，第一轴承的一端与从关节躯干连接，且第一轴承的中心轴线与从关节躯干所在的平面垂直；从关节支架，从关节支架节套设于第一轴承外，从关节支架设有旋转装置；连接支架，连接支架上设有伸缩装置，伸缩装置与旋转装置连接，且伸缩装置用于调整连接支架与从关节支架间的距离；第二轴承，第二轴承的一端与连接支架连接，第二轴承的中心轴线与连接支架所在的平面垂直。所述真空操纵系统包括如上所述的从关节部件。本实用新型保障了被驱动物移动的稳定性，使被驱动物在两个不同方向上运动时，两个不同方向上运动相互不会产生干涉。

Description

从关节部件及包含其的真空操纵系统

技术领域

本实用新型涉及一种从关节部件及包含其的真空操纵系统。

背景技术

在大气环境中，如果需要同时使得物体在两个方向上线性移动具有多种实现方式。但是当被移动的物体位于真空腔中时，这种线性移动就遇到了困难。一般来说，出于设备的精简和布线的便利性考虑，驱动器(例如电机)都是位于真空腔外的大气环境中的，而被驱动物(例如离子注入机的引出电极)则是被置于真空腔中的。

目前，现有技术中，连接驱动器和被驱动物的关节部件存在不能保障移动的稳定性的问题，特别是当连接驱动器通过关节部件带动被驱动物在两个不同方向上运动时，两个不同方向上运动的相互干涉尤为严重，而造成被驱动物移动的不稳定。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有技术的关节部件存在不能保障移动的稳定性的缺陷，提供一种从关节部件及包含其的真空操纵系统。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题：

一种从关节部件，其特点在于，所述从关节部件包括：

从关节躯干；

第一轴承，所述第一轴承的一端与所述从关节躯干连接，且所述第一轴承的中心轴线与所述从关节躯干所在的平面垂直；

从关节支架，所述从关节支架节套设于所述第一轴承外，所述从关节支架设有旋转装置；

连接支架，所述连接支架上设有伸缩装置，所述伸缩装置与所述旋转装置连接，且所述伸缩装置用于调整所述连接支架与所述从关节支架间的距离；

第二轴承，所述第二轴承的一端与所述连接支架连接，且所述第二轴承的中心轴线与所述连接支架所在的平面垂直，且与所述第一轴承的中心轴线平行。

在本技术方案中，所述从关节躯干与驱动器连接，所述第二轴承与被驱动物连接。通过设置第一轴承，使套设于第一轴承外的从关节支架可以绕第一轴承的中心轴线转动，以补偿被驱动物沿垂直于第一轴承的中心轴线方向移动往返时的运动干涉；通过设置旋转装置和伸缩装置，以补偿了被驱动物沿第一轴承的中心轴线方向移动往返时的运动干涉，保证了被驱动物运动的稳定性。

较佳地，所述旋转装置包括主旋转装置和从旋转装置，所述伸缩装置的数量为两个，两个所述伸缩装置平行设置且分别与所述主旋转装置、所述从旋转装置连接。

在本技术方案中，通过设置两个平行的伸缩装置，保证被驱动物在远离从关节支架或靠近从关节支架的移动时的稳定性。

较佳地，所述从关节支架设有滑动轴，所述滑动轴的中心轴线垂直于所述第一轴承的中心轴线，所述滑动轴包括主滑动轴和从滑动轴，所述主滑动轴和从滑动轴分别连接于所述从关节支架相对应的两侧，且所述主滑动轴和从滑动轴分别穿设于所述主旋转装置和所述从旋转装置。

较佳地，所述主旋转装置包括：滑动轴限位器、主滑动轴关节支架、主滑动轴轴承、主弹性件和主紧固件，所述滑动轴限位器、所述主滑动轴轴承、所述主弹性件和所述主紧固件依次沿所述主滑动轴靠近所述从关节支架的一端至所述主滑动轴远离所述从关节支架的一端穿设于所述主滑动轴，且所述主滑动轴关节支架的一端卡设于所述主滑动轴轴承外，所述主滑动轴关节支架的另一端与所述伸缩装置连接。

较佳地，所述从旋转装置包括：第一从弹性件、从滑动轴关节支架、从滑动轴轴承、第二从弹性件和从紧固件，所述第一从弹性件、所述从滑动轴轴承、所述第二从弹性件和所述从紧固件依次沿所述从滑动轴靠近所述从关节支架的一端至所述从滑动轴远离所述从关节支架的一端穿设于所述从滑动轴，且所述从滑动轴关节支架卡设于所述从滑动轴轴承外，所述从滑动轴关节支架的另一端与所述伸缩装置连接。

在本技术方案中，通过设置主滑动轴关节支架沿主滑动轴旋转，以及从滑动轴关节支架沿从滑动轴旋转，补偿了被驱动物沿第一轴承的中心轴线方向移动往返时的运动干涉，保证了被驱动物运动的稳定性。

较佳地，所述伸缩装置包括：

伸缩轴承，所述伸缩轴承的中心轴线垂直于所述第二轴承的中心轴线，且所述伸缩轴承卡设于所述连接支架；

伸缩轴，所述伸缩轴穿设于所述伸缩轴承内，且所述伸缩轴的一端与所述旋转装置连接；

其中，所述伸缩轴的中心轴线与所述伸缩轴承的中心轴线重合，且所述伸缩轴相对于所述伸缩轴承沿所述伸缩轴的中心轴线方向移动。

在本技术方案中，通过设置伸缩轴承和伸缩轴，补偿了被驱动物沿第一轴承的中心轴线方向移动往返时的运动干涉，保证了被驱动物运动的稳定性。

较佳地，所述从关节躯干包括：

躯干本体；

底座，所述底座通过连接轴套设于所述躯干本体，且所述第一轴承连接于所述底座。

这样，从关节躯干的结构更为紧凑，节约生产成本。

一种真空操纵系统，所述真空操纵系统包括如上所述的从关节部件。

本实用新型的积极进步效果在于：

本实用新型保障了被驱动物移动的稳定性，使被驱动物在两个不同方向上运动时，两个不同方向上运动相互不会产生干涉。

附图说明

图1为本实用新型一较佳实施例的从关节部件的装配示意图。

图2为本实用新型一较佳实施例的从关节部件的立体结构示意图。

附图标记说明

从关节躯干10

躯干本体11

底座12

第一轴承20

从关节支架30

主滑动轴31

从滑动轴32

主旋转装置40

滑动轴限位器41

主滑动轴关节支架42

主滑动轴轴承43

主弹性件44

主紧固件45

从旋转装置50

第一从弹性件51

从滑动轴关节支架52

从滑动轴轴承53

第二从弹性件54

从紧固件55

连接支架60

伸缩装置70

伸缩轴承71

伸缩轴72

第二轴承80

垂直于第一轴承的中心轴线方向A

第一轴承的中心轴线方向B

具体实施方式

下面举个较佳实施例，并结合附图来更清楚完整地说明本实用新型。

如图1和图2所示，本实施例提供一种从关节部件，包括：从关节躯干10、第一轴承20、从关节支架30、连接支架60和第二轴承80。其中，从关节躯干10与驱动器连接，第二轴承80与被驱动物连接。

第一轴承20的一端与从关节躯干10连接，且第一轴承20的中心轴线与从关节躯干10所在的平面垂直。

从关节支架30节套设于第一轴承20外，从关节支架30设有旋转装置。

连接支架60上设有伸缩装置70，伸缩装置70与所述旋转装置连接，且伸缩装置70用于调整连接支架60与从关节支架30间的距离。

第二轴承80的一端与连接支架60连接，且第二轴承80的中心轴线与连接支架60所在的平面垂直，且与第一轴承20的中心轴线平行。

在本实施例中，通过设置第一轴承20，使套设于第一轴承20外的从关节支架30可以绕第一轴承20的中心轴线转动，以补偿被驱动物沿垂直于第一轴承的中心轴线方向A移动往返时的运动干涉；通过设置旋转装置和伸缩装置70，以补偿了被驱动物沿第一轴承的中心轴线方向B移动往返时的运动干涉，保证了被驱动物运动的稳定性。

所述旋转装置包括主旋转装置40和从旋转装置50，伸缩装置70的数量为两个，两个伸缩装置70平行设置且分别与主旋转装置40、从旋转装置50连接。通过设置两个平行的伸缩装置70，保证被驱动物在远离从关节支架30或靠近从关节支架30的移动时的稳定性。

从关节支架30设有滑动轴，所述滑动轴的中心轴线垂直于第一轴承20的中心轴线，所述滑动轴包括主滑动轴31和从滑动轴32，主滑动轴31和从滑动轴32分别连接于从关节支架30相对应的两侧，且主滑动轴31和从滑动轴32分别穿设于主旋转装置40和从旋转装置50。

主旋转装置40包括：滑动轴限位器41、主滑动轴关节支架42、主滑动轴轴承43、主弹性件44和主紧固件45。滑动轴限位器41、主滑动轴轴承43、主弹性件44和主紧固件45依次沿主滑动轴31靠近从关节支架30的一端至主滑动轴31远离从关节支架30的一端穿设于主滑动轴31，且主滑动轴关节支架42的一端卡设于主滑动轴轴承43外，主滑动轴关节支架42的另一端与伸缩装置70连接。这样，主滑动轴关节支架42可以带动伸缩装置70绕主滑动轴31的中心轴线旋转。在本实施例中，主弹性件44为弹簧。

从旋转装置50包括：第一从弹性件51、从滑动轴关节支架52、从滑动轴轴承53、第二从弹性件54和从紧固件55。第一从弹性件51、从滑动轴轴承53、第二从弹性件54和从紧固件55依次沿从滑动轴32靠近从关节支架30的一端至从滑动轴32远离从关节支架30的一端穿设于从滑动轴32，且从滑动轴关节支架52卡设于从滑动轴轴承53外，从滑动轴关节支架52的另一端与伸缩装置70连接。这样，从滑动轴关节支架52可以带动伸缩装置70绕从滑动轴32的中心轴线旋转。在本实施例中，第一从弹性件51和第二从弹性件54均为弹簧。

在本实施例中，通过设置主滑动轴关节支架42沿主滑动轴31旋转，以及从滑动轴关节支架52沿从滑动轴32旋转，补偿了被驱动物沿第一轴承的中心轴线方向B移动往返时的运动干涉，保证了被驱动物运动的稳定性。

伸缩装置70包括：伸缩轴承71和伸缩轴72。伸缩轴承71的中心轴线垂直于第二轴承80的中心轴线，且伸缩轴承71卡设于连接支架60。伸缩轴72穿设于伸缩轴承71内，且伸缩轴72的一端与所述旋转装置连接。其中，伸缩轴72的中心轴线与伸缩轴承71的中心轴线重合，且伸缩轴72相对于伸缩轴承71沿伸缩轴72的中心轴线方向移动。这样，通过设置伸缩轴承71和伸缩轴72，补偿了被驱动物沿第一轴承的中心轴线方向B移动往返时的运动干涉，保证了被驱动物运动的稳定性。

从关节躯干10包括：躯干本体11和底座12。底座12通过连接轴套设于躯干本体11，且第一轴承20连接于底座12。这样，从关节躯干10的结构更为紧凑，节约生产成本。

本实施例还提供一种真空操纵系统，所述真空操纵系统包括如上所述的从关节部件。

本实用新型的积极进步效果在于：本实用新型保障了被驱动物移动的稳定性，使被驱动物在两个不同方向上运动时，两个不同方向上运动相互不会产生干涉。

虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这仅是举例说明，本实用新型的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种从关节部件，其特征在于，所述从关节部件包括：

从关节躯干；

第一轴承，所述第一轴承的一端与所述从关节躯干连接，且所述第一轴承的中心轴线与所述从关节躯干所在的平面垂直；

从关节支架，所述从关节支架节套设于所述第一轴承外，所述从关节支架设有旋转装置；

连接支架，所述连接支架上设有伸缩装置，所述伸缩装置与所述旋转装置连接，且所述伸缩装置用于调整所述连接支架与所述从关节支架间的距离；

第二轴承，所述第二轴承的一端与所述连接支架连接，所述第二轴承的中心轴线与所述连接支架所在的平面垂直，且与所述第一轴承的中心轴线平行。

2.如权利要求1所述的从关节部件，其特征在于，所述旋转装置包括主旋转装置和从旋转装置，所述伸缩装置的数量为两个，两个所述伸缩装置平行设置且分别与所述主旋转装置、所述从旋转装置连接。

3.如权利要求2所述的从关节部件，其特征在于，所述从关节支架设有滑动轴，所述滑动轴的中心轴线垂直于所述第一轴承的中心轴线，所述滑动轴包括主滑动轴和从滑动轴，所述主滑动轴和从滑动轴分别连接于所述从关节支架相对应的两侧，且所述主滑动轴和从滑动轴分别穿设于所述主旋转装置和所述从旋转装置。

4.如权利要求3所述的从关节部件，其特征在于，所述主旋转装置包括：滑动轴限位器、主滑动轴关节支架、主滑动轴轴承、主弹性件和主紧固件，所述滑动轴限位器、所述主滑动轴轴承、所述主弹性件和所述主紧固件依次沿所述主滑动轴靠近所述从关节支架的一端至所述主滑动轴远离所述从关节支架的一端穿设于所述主滑动轴，且所述主滑动轴关节支架的一端卡设于所述主滑动轴轴承外，所述主滑动轴关节支架的另一端与所述伸缩装置连接。

5.如权利要求3所述的从关节部件，其特征在于，所述从旋转装置包括：第一从弹性件、从滑动轴关节支架、从滑动轴轴承、第二从弹性件和从紧固件，所述第一从弹性件、所述从滑动轴轴承、所述第二从弹性件和所述从紧固件依次沿所述从滑动轴靠近所述从关节支架的一端至所述从滑动轴远离所述从关节支架的一端穿设于所述从滑动轴，且所述从滑动轴关节支架卡设于所述从滑动轴轴承外，所述从滑动轴关节支架的另一端与所述伸缩装置连接。

6.如权利要求1所述的从关节部件，其特征在于，所述伸缩装置包括：

伸缩轴承，所述伸缩轴承的中心轴线垂直于所述第二轴承的中心轴线，且所述伸缩轴承卡设于所述连接支架；

伸缩轴，所述伸缩轴穿设于所述伸缩轴承内，且所述伸缩轴的一端与所述旋转装置连接；

其中，所述伸缩轴的中心轴线与所述伸缩轴承的中心轴线重合，且所述伸缩轴相对于所述伸缩轴承沿所述伸缩轴的中心轴线方向移动。

7.如权利要求如权利要求1-6中任意一项所述的从关节部件，其特征在于，所述从关节躯干包括：

躯干本体；

底座，所述底座通过连接轴套设于所述躯干本体，且所述第一轴承连接于所述底座。

8.一种真空操纵系统，其特征在于，所述真空操纵系统包括如权利要求1-7中任意一项所述的从关节部件。