CN206768215U - 一种向密闭腔体内充气保护装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于真空镀膜技术领域，特别涉及一种向密闭腔体内充气保护装置，该装置包括反应腔体，所述反应腔体分别设置接口安装压力表和充气阀，同时在压力表与反应腔体连接的管路上设置接口安装泄压阀。本实用新型结构简单、使用方便，当镀膜完成后，充气阀打开，向反应腔体内充入压缩空气，通过压力表实时测量反应腔体内压力，当压力到达大气压时，压力表输出信号控制压缩空气阀门关闭，停止充入压缩空气；当压力表失效时，反应腔体内压力到达大气压后继续上升，到达泄压阀设置值时，泄压阀自动打开，从而有效防止压力继续上升，避免设备损坏或引发造成人身伤害事故的发生。
Description
技术领域
本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种向密闭腔体内充气保护装置。
背景技术
等离子镀膜作为提升材料表面性能有效方法被广泛应用于消费电子、医疗器械、生活用品等领域。在等离子镀膜时，需要对反应腔室抽真空并保持在工艺需要压力进行镀膜，镀膜完成后停止抽真空，再向反应腔室内充入压缩空气使腔室内压力恢复到大气压，取出镀膜工件。反应腔室内充入压缩空气时，如果压力到达大气压力后压缩空气还不停止充入，反应腔室内压力就会大于外部压力，将有可能损坏设备或引发造成人身伤害的事故。
实用新型内容
为了解决现有技术存在的上述问题，本实用新型提供一种向密闭腔体内充气保护装置，结构简单，操作方便。在现有技术的基础上，添加泄压阀和压力表，并将装置功能优化，不仅实现向密闭腔体内充气的功能，而且可以有效避免设备损坏或引发造成人身伤害事故的发生。
本实用新型所采用的技术方案如下：
一种向密闭腔体内充气保护装置，其特征是：该装置包括反应腔体，所述反应腔体分别设置接口安装压力表(3)和充气阀(4)，同时在压力表与反应腔体连接的管路上设置接口安装泄压阀(2)。
所述反应腔体的腔容积为50L～1000L，材质为铝合金、不锈钢或有机玻璃。
所述压力表为带模拟量或开关量的压力表，量程0～0.5MPa。
所述泄压阀量程为0.1MPa～0.5Mpa。
本实用新型可提供一种结构简单、使用方便的一种向密闭腔体内充气保护装置。当镀膜完成后，充气阀打开，向反应腔体内充入压缩空气，通过压力表实时测量反应腔体内压力，当压力到达大气压时，压力表输出信号控制压缩空气阀门关闭，停止充入压缩空气。当压力表失效时，反应腔体内压力到达大气压后继续上升，到达泄压阀设置值时，泄压阀自动打开，从而有效防止压力继续上升。
综上，本实用新型的上述技术方案具有以下优点：
(1)通过压力表开关量信号可以控制压缩空气自动停止。
(2)腔室内压力过高时，泄压阀打开，可以防止腔体内压力过高。
附图说明
图1为一种向密闭腔体内充气保护装置示意图。
图中：1、反应腔体，2、泄压阀，3、压力表，4、充气阀。
具体实施方式
下面结合具体实施例及附图详细说明本实用新型，但本实用新型并不局限于具体实施例。
实施例1：
一种向密闭腔体内充气保护装置，其特征是：该装置包括反应腔体，所述反应腔体分别设置接口安装压力表(3)和充气阀(4)，同时在压力表与反应腔体连接的管路上设置接口安装泄压阀(2)。
所述反应腔体的腔容积为50L，材质为铝合金。
所述压力表为带模拟量的压力表，量程0～0.5MPa。
所述泄压阀量程为0.1MPa～0.5Mpa。
本实用新型可提供一种结构简单、使用方便的一种向密闭腔体内充气保护装置。当镀膜完成后，充气阀打开，向反应腔体内充入压缩空气，通过压力表实时测量反应腔体内压力，当压力到达大气压时，压力表输出信号控制压缩空气阀门关闭，停止充入压缩空气。当压力表失效时，反应腔体内压力到达大气压后继续上升，到达泄压阀设置值时，泄压阀自动打开，从而有效防止压力继续上升。
综上，本实用新型的上述技术方案具有以下优点：
(1)通过压力表开关量信号可以控制压缩空气自动停止。
(2)腔室内压力过高时，泄压阀打开，可以防止腔体内压力过高。
实施例2：
本实施例中的一种化学原料进料管道吹扫装置与实施例1中基本相同，其中不同的是：
所述反应腔体的腔容积为500L，材质为不锈钢。
所述压力表为带开关量的压力表，量程0～0.5MPa。
所述泄压阀量程为0.1MPa～0.5Mpa。
综上，本实用新型的上述技术方案具有以下优点：
(1)通过压力表开关量信号可以控制压缩空气自动停止。
(2)腔室内压力过高时，泄压阀打开，可以防止腔体内压力过高。
实施例3：
本实施例中的一种化学原料进料管道吹扫装置与实施例1中基本相同，其中不同的是：
所述反应腔体的腔容积为1000L，材质为有机玻璃。
所述压力表为带模拟量的压力表，量程0～0.5MPa。
所述泄压阀量程为0.1MPa～0.5Mpa。
综上，本实用新型的上述技术方案具有以下优点：
(1)通过压力表开关量信号可以控制压缩空气自动停止。
(2)腔室内压力过高时，泄压阀打开，可以防止腔体内压力过高。
Claims (4)
1.一种向密闭腔体内充气保护装置，其特征是：该装置包括反应腔体(1)，所述反应腔体分别设置接口安装压力表(3)和充气阀(4)，同时在压力表与反应腔体连接的管路上设置接口安装泄压阀(2)。
2.根据权利要求1所述的一种向密闭腔体内充气保护装置，其特征是：所述反应腔体的腔容积为50L～1000L，材质为铝合金、不锈钢或有机玻璃。
3.根据权利要求1所述的一种向密闭腔体内充气保护装置，其特征是：所述压力表为带模拟量或开关量的压力表，量程0～0.5MPa。
4.根据权利要求1所述的一种向密闭腔体内充气保护装置，其特征是：所述泄压阀量程为0.1MPa～0.5Mpa。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720560403.0U CN206768215U (zh) | 2017-05-15 | 2017-05-15 | 一种向密闭腔体内充气保护装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720560403.0U CN206768215U (zh) | 2017-05-15 | 2017-05-15 | 一种向密闭腔体内充气保护装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206768215U true CN206768215U (zh) | 2017-12-19 |
Family
ID=60640098
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201720560403.0U Active CN206768215U (zh) | 2017-05-15 | 2017-05-15 | 一种向密闭腔体内充气保护装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN206768215U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019127629A1 (zh) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种真空大气转换腔的充气装置及充气方法、真空溅射设备 |
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2017
- 2017-05-15 CN CN201720560403.0U patent/CN206768215U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019127629A1 (zh) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种真空大气转换腔的充气装置及充气方法、真空溅射设备 |
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