CN206751402U - 一种氖气回收提纯装置 - Google Patents

一种氖气回收提纯装置 Download PDF

Info

Publication number
CN206751402U
CN206751402U CN201720127139.1U CN201720127139U CN206751402U CN 206751402 U CN206751402 U CN 206751402U CN 201720127139 U CN201720127139 U CN 201720127139U CN 206751402 U CN206751402 U CN 206751402U
Authority
CN
China
Prior art keywords
neon
gas
cooling device
purifying plant
flow channel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201720127139.1U
Other languages
English (en)
Inventor
王耀亮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Yue Shen Energy Technology Co Ltd
Original Assignee
Shanghai Yue Shen Energy Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Yue Shen Energy Technology Co Ltd filed Critical Shanghai Yue Shen Energy Technology Co Ltd
Priority to CN201720127139.1U priority Critical patent/CN206751402U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN206751402U publication Critical patent/CN206751402U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/06—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by partial condensation
    • F25J3/063—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by partial condensation characterised by the separated product stream
    • F25J3/0685—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by partial condensation characterised by the separated product stream separation of noble gases
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/08—Separating gaseous impurities from gases or gaseous mixtures or from liquefied gases or liquefied gaseous mixtures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
    • F25J2205/40—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using hybrid system, i.e. combining cryogenic and non-cryogenic separation techniques
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
    • F25J2205/60—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using adsorption on solid adsorbents, e.g. by temperature-swing adsorption [TSA] at the hot or cold end
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2210/00—Processes characterised by the type or other details of the feed stream
    • F25J2210/42—Nitrogen
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2215/00—Processes characterised by the type or other details of the product stream
    • F25J2215/32—Neon
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2230/00—Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams
    • F25J2230/30—Compression of the feed stream
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2230/00—Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams
    • F25J2230/32—Compression of the product stream
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2270/00—Refrigeration techniques used
    • F25J2270/90—External refrigeration, e.g. conventional closed-loop mechanical refrigeration unit using Freon or NH3, unspecified external refrigeration
    • F25J2270/904—External refrigeration, e.g. conventional closed-loop mechanical refrigeration unit using Freon or NH3, unspecified external refrigeration by liquid or gaseous cryogen in an open loop
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2290/00—Other details not covered by groups F25J2200/00 - F25J2280/00
    • F25J2290/50—Arrangement of multiple equipments fulfilling the same process step in parallel

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)

Abstract

本实用新型提供了一种氖气回收提纯装置，包括：依次连接的收集罐、过滤设备、压缩机化学反应器、低温吸附装置，然后粗氖气通过二级冷却设备和闪蒸设备进行分离，获得高纯度氖气。本实用新型是一种工艺简单、使用方便的从工业排放气体中回收氖气，并提纯、制备高纯度氖气的装置，可以回收半导体厂使用的氖气，采用较便宜的液氮作为冷源，利用高真空和冷屏绝热，利用吸附法和低温精馏法分离氖气中的杂质，用较低的成本，提纯氖气。

Description

一种氖气回收提纯装置
技术领域
本实用新型涉及一种气体纯化装置，尤其涉及一种从工业排放气体中回收氖气，并提纯、制备高纯度氖气的装置。
背景技术
氖气(Ne)是一种无色、无味、非易燃的稀有气体，在空气中的氖气含量约为18ppm。常温下氖气为气态的惰性气体，不燃烧，也不助燃。
目前氖气主要是从空气中分离获得(空分法)：用精馏法从大型空分装置中提取粗氦、氖混合气，然后由粗氦、氖混合气经除氢、除氮后获得纯度99.95％以上的纯氖氦混合气，再经分离、纯化可制得99.999％的高纯氖，整个流程环节所需要的能耗非常高。
氖气在工业、生活中应用广泛，主要应用包括：1)用作霓虹灯、以及电子工业产品的填充介质(例如高压氖灯、计数管等)；2)用于激光技术，做视发光指示灯、电压调节、以及激光混合气成份；3)氖氧混合气代替氦氧气用于呼吸； 4)用作低温冷却剂、标准气、特种混合气等；5)用于高能物理研究，例如：充满氖的火花室来探测微粒的行径；6)在半导体及高端电子产品制造中使用。
氖气在应用领域中作为工业废气排出，是一种极大的资源浪费。而且氖气排放环境中氖气浓度过高，一旦发生泄漏，会降低氧气分压，导致环境中人出现疲倦乏力、烦躁不安、恶心、呕吐、昏迷、抽搐，以致死亡。因此，氖气作为工业废气排放不符合当今社会可持续发展的生产理念。
但是，目前尚缺乏一种工艺简单、使用方便的从工业排放的废气中回收和精制高纯度氖气的技术和装置。
实用新型内容
针对目前缺乏从工业排放的废气中回收和精制高纯度氖气的技术和装置的现状，本实用新型提供了一种工艺简单、使用方便的从工业排放气体中回收氖气，并提纯、制备高纯度氖气的装置。
本实用新型提供的氖气回收提纯装置，包括：
收集罐，用于氖工业废气的收集；
过滤设备，用于对氖工业废气中的颗粒杂质进行过滤；
压缩机，对过滤后的氖工业废气进行压缩；其中，在一种优选实施例中，所述过滤设备可以是独立设置，气体管道从收集罐出口依次连接过滤设备和压缩机；在另一种优选实施例中，过滤设备集成于所述收集罐内气体流路中，收集罐气体出口连接所述压缩机；
化学反应器，压缩机出口通过气体管道连接至所述化学反应器，所述化学反应器内优选为设置有反应床，用于放置化学反应试剂；
一级冷却设备，包括气体流动通道和包围在所述气体流动通道外的制冷单元，所述制冷单元可以是制冷片，也可以是冷却剂流动管道；化学反应器气体出口连接至以及所述一级冷却设备的气体流动通道入口；
一级吸附纯化设备，包括气体入口管道、气体出口管道、一级连通所述气体入口管道和气体出口管道的吸附剂容纳腔，一级冷却设备气体流动通道出口连接至所述一级吸附纯化设备的气体入口管道；
二级冷却设备，包括气体流动通道和包围在所述气体流动通道外的制冷单元，所述制冷单元可以是制冷片，也可以是冷却剂流动通道；一级吸附纯化设备气体出口管道连接至以及所述二级冷却设备的气体流动通道入口；
闪蒸设备，通过气体管道连通所述二级冷却设备的出口；
二级吸附纯化设备，包括气体入口管道、气体出口管道、一级连通所述气体入口管道和气体出口管道的吸附剂容纳腔，闪蒸设备气体出口连接至所述二级吸附纯化设备的气体入口管道。
在本实用新型的一种优选实施例中，所述压缩机的气体流动通道出口处还设置有油过滤器。
在本实用新型的一种优选实施例中，还包括壳体，所述二级冷却设备与所述闪蒸设备置于所述壳体内，或者更有选的，二级吸附纯化设备也置于所述壳体内。
在本实用新型的一种优选实施例中，闪蒸设备废液出口连接至二级冷却设备的冷却剂流动通道；在更优选实施例中，所述壳体内设有液体流动通道夹层作为冷却剂流动通道，闪蒸设备废液出口连接至所述液体流动通道夹层。
在本实用新型的一种更优选实施例中，还包括真空泵，用于将壳体内液体流动通道夹层抽真空。
在本实用新型的一种优选实施例中，所述一级吸附纯化设备、二级吸附纯化设备分别独立地优选为至少两个，所述至少两个一级吸附纯化设备或二级吸附纯化设备并联排布。
在本实用新型的一种优选实施例中，所述闪蒸设备为至少两个，所述至少两个闪蒸设备并联排布。
更优选地，每一个闪蒸设备下游连接一个所述二级吸附设备，或者各闪蒸设备连接同一个所述二级吸附纯化设备。
在本实用新型的一种优选实施例中，所述二级冷却设备的冷却剂流动管道出口连接至、或通过复热器后连接至一级冷却设备的冷却剂流动管道入口。
在本实用新型的一种优选实施例中，所述二级吸附纯化设备出口管道通过二级冷却设备、并与所述二级冷却设备的气体流动通道入口换热。
在本实用新型的一种优选实施例中，压缩机与化学反应器之间还连接有缓冲罐。
在本实用新型的一种优选实施例中，所述氖工业尾气中杂质包括、并优选组成为氮气、氢气、氩气、氦气、氪气、氙气、一氧化碳、二氧化碳、水、甲烷、粉尘、油中的至少一种或几种。
在本实用新型的一种优选实施例中，所述纯氖气优选为达到《GB/T 17873-2014纯氖和高纯氖》标准。
本实用新型的优势是可以回收半导体厂使用的氖气，采用较便宜的液氮作为冷源，利用高真空和冷屏绝热，利用吸附法和低温精馏法分离氖气中的杂质，用较低的成本，提纯氖气。
附图说明
图1为本实用新型的氖气回收提纯装置的结构示意图；
图2是本实用新型的氖气回收提纯方法的工艺流程图。
具体实施方式
参照图1，本实用新型提供了一种氖气回收提纯装置，包括尾气回收罐1，用于将工厂等场所排出的氖工业废气(本实用新型上下文中也称为“粗氖气”) 进行收集、存储。尾气回收罐1内集成有过滤器，对收集的粗氖气中的灰尘等颗粒进行过滤。
尾气回收罐1连接至压缩机2，压缩机2将粗氖气加压，压缩机2的气体出口出设有油过滤器。
压缩机2的气体出口通过缓冲罐3后连接至化学反应器4，在压力突然变化的情况下，缓冲罐3可以防止化学反应器4中的反应产物或化学试剂反流至压缩机2内。
化学反应器气体出口通过管道依次连接冷却器5、一级吸附纯化器6，图1 中给出了两个并联的一级吸附纯化器6，但是应当理解的是，本实用新型也可以只是用一个一级吸附纯化器6，或更多个一级吸附纯化器6，当使用多个一级吸附纯化器6的情况下，其中部分一级吸附纯化器6停止工作或再生过程中，其余一级吸附纯化器6仍然可以工作，确保氖气回收提纯连续进行。一级吸附纯化器 6内包括分子筛吸附器7，粗氖气通过分子筛吸附器7后进入分离设备8。
图2给出了两个并联的分离设备8，但是应当理解的是，本实用新型也可以只是用一个分离设备8，或更多个分离设备8，当使用多个分离设备8的情况下，其中部分分离设备8停止工作或再生过程中，其余分离设备8仍然可以工作，确保氖气回收提纯连续进行。分离设备8包括连接分子筛吸附器7(或一级吸附纯化器6)换热器9、连接换热器9的闪蒸分离器10、以及容纳他们并起到绝热作用的壳体。壳体内设有液氮夹层，闪蒸分离器10上安装控制阀11，控制闪蒸分离器10中的废液排入到液氮夹层中。壳体外部设有液氮管道为液氮夹层提供冷源。真空泵13用于将液氮夹层抽真空，抽出气化的液氮。
图2中，分离设备8的壳体内还设置有二级吸附纯化设备(低温吸附罐) 12，但是应当理解的是，本实用新型也可以是两个或更多个分离设备8共用一个二级吸附纯化设备12，而且可以是设置在其中一个分离设备8的壳体内，或设置在分离设备8的外部。
闪蒸分离器10的气体出口连接至二级吸附纯化设备12，然后穿过换热器9 后送出壳体，壳体外可以直接通过管道连接至客户端，也可以是用产品压缩机 14压缩后用于充装氖气。
参照图1和图2，本实用新型所述氖气回收提纯装置的使用方法如下：
将含有氖气的氖工业排放废气加以收集，存储于收集罐1中，收集罐1内有过滤器，将收集的粗氖气过滤去除灰尘等颗粒。然后经压缩机2压缩，压缩机2 出口的油过滤器将将粗氖气含油量降至0.01ppm以下。压缩后的粗氖气经过缓冲罐3送入化学反应器4，化学反应器4内填装有化学反应试剂，通过化学反应以去除粗氖气中的氟或其化合物。根据实际情况，化学反应器内也可以通过化学反应去除氧气、氮气、氢气、他们的化合物等具有一定反应活性的物质。
然后将粗氖气进行一级冷却，冷却至30℃以下，然后利用分子筛吸附去除水、二氧化碳、碳氢化合物等杂质。冷却后可以提高后续分子筛吸附的效果。分子筛吸附器7可再生，循环使用。两个分子筛吸附器7(一级吸附纯化器6)并联设置，当其中一个分子筛吸附器7(一级吸附纯化器6)停止工作或再生时，另外一个分子筛吸附器7(一级吸附纯化器6)仍然可以正常工作。
然后进行二级冷却，通过换热器9将工作温度降至-203℃。在-203℃温度下，粗氖气中绝大部分的气体杂质，如氧气、氮气、氩气、氪气、氙气等均已液化，可通过闪蒸分离器10进行分离。两组分离设备6交替使用及再生，分离设备6 内加注液氮，并抽真空，以达到-203℃的极低温。为了防止辐射传热损失，对低温段部分，用冷屏包裹。液体杂质通过控制阀11排入分离设备中的液氮夹层，粗氖气以气相进入二级吸附纯化设备(低温吸附罐)12，进行低温吸附，获得高纯度氖气，纯度符合GB/T 17873-2014《纯氖和高纯氖》要求。高纯度氖气经过换热器9，与正流粗氖气进行热交换，温度升至常温或接近常温后送出。品氖气既可直接供应客户，也可经过压缩后，充入钢瓶或管束车内。
以上对本实用新型的具体实施例进行了详细描述，但其只是作为范例，本实用新型并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对本实用新型进行的等同修改和替代也都在本实用新型的范畴之中。因此，在不脱离本实用新型的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本实用新型的范围内。

Claims (10)

1.一种氖气回收提纯装置，其特征在于，包括：
收集罐，用于氖工业废气的收集；
过滤设备，用于对氖工业废气中的颗粒杂质进行过滤；
压缩机，对过滤后的氖工业废气进行压缩；其中：所述过滤设备独立设置，气体管道从收集罐出口依次连接过滤设备和压缩机；或者，过滤设备集成于所述收集罐内气体流路中，收集罐气体出口连接所述压缩机；
化学反应器，压缩机出口通过气体管道连接至所述化学反应器，所述化学反应器内设置有反应床，用于放置化学反应试剂；
一级冷却设备，包括气体流动通道和包围在所述气体流动通道外的制冷单元，所述制冷单元是制冷片或冷却剂流动管道；化学反应器气体出口连接至以及所述一级冷却设备的气体流动通道入口；
一级吸附纯化设备，包括气体入口管道、气体出口管道、一级连通所述气体入口管道和气体出口管道的吸附剂容纳腔，一级冷却设备气体流动通道出口连接至所述一级吸附纯化设备的气体入口管道；
二级冷却设备，包括气体流动通道和包围在所述气体流动通道外的制冷单元，所述制冷单元是制冷片或冷却剂流动通道；一级吸附纯化设备气体出口管道连接至所述二级冷却设备的气体流动通道入口；
闪蒸设备，通过气体管道连通所述二级冷却设备的出口；
二级吸附纯化设备，包括气体入口管道、气体出口管道、一级连通所述气体入口管道和气体出口管道的吸附剂容纳腔，闪蒸设备气体出口连接至所述二级吸附纯化设备的气体入口管道。
2.根据权利要求1所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述压缩机的气体流动通道出口处还设置有油过滤器。
3.根据权利要求1所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，闪蒸设备废液出口连接至二级冷却设备的冷却剂流动通道。
4.根据权利要求1或3所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述氖气回收提纯装置还包括一壳体，所述二级冷却设备与所述闪蒸设备置于所述壳体内。
5.根据权利要求4所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述壳体内设有液体流动通道夹层作为冷却剂流动通道，闪蒸设备废液出口连接至所述液体流动通道夹层。
6.根据权利要求5所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，还包括真空泵，用于将壳体内液体流动通道夹层抽真空。
7.根据权利要求1所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述一级吸附纯化设备、二级吸附纯化设备分别独立地为至少两个，所述至少两个一级吸附纯化设备或二级吸附纯化设备并联排布。
8.根据权利要求1所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述闪蒸设备为至少两个，所述至少两个闪蒸设备并联排布。
9.根据权利要求1所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，每一个闪蒸设备下游连接一个所述二级吸附设备，或者各闪蒸设备连接同一个所述二级吸附纯化设备。
10.根据权利要求1所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述二级吸附纯化设备出口管道通过二级冷却设备、并与所述二级冷却设备的气体流动通道入口换热。
CN201720127139.1U 2017-02-13 2017-02-13 一种氖气回收提纯装置 Active CN206751402U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201720127139.1U CN206751402U (zh) 2017-02-13 2017-02-13 一种氖气回收提纯装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201720127139.1U CN206751402U (zh) 2017-02-13 2017-02-13 一种氖气回收提纯装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN206751402U true CN206751402U (zh) 2017-12-15

Family

ID=60608587

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201720127139.1U Active CN206751402U (zh) 2017-02-13 2017-02-13 一种氖气回收提纯装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN206751402U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106744750A (zh) * 2017-02-13 2017-05-31 上海跃绅能源科技有限公司 一种氖气回收提纯的方法及装置
CN114890396A (zh) * 2022-04-12 2022-08-12 常州市耐欧金属材料科技有限公司 一种低成本的氙气回收和简易提纯装置以及方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106744750A (zh) * 2017-02-13 2017-05-31 上海跃绅能源科技有限公司 一种氖气回收提纯的方法及装置
CN106744750B (zh) * 2017-02-13 2020-03-31 上海跃绅能源科技有限公司 一种氖气回收提纯的方法及装置
CN114890396A (zh) * 2022-04-12 2022-08-12 常州市耐欧金属材料科技有限公司 一种低成本的氙气回收和简易提纯装置以及方法
CN114890396B (zh) * 2022-04-12 2023-09-01 常州市耐欧金属材料科技有限公司 一种低成本的氙气回收和简易提纯装置以及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102583281B (zh) 单晶硅生产中氩气回收纯化的方法与装置
CN101342427B (zh) 一种油气回收方法
CN101254918B (zh) 吸附精馏技术提纯二氧化碳装置
CN103373716B (zh) 一种单晶硅制备工艺中排放氩气的净化回收方法与装置
CN103553048B (zh) 多晶硅生产过程中物料循环利用的方法和系统
CN102441310A (zh) 油气回收方法和装置
CN102101651A (zh) 二氟一氯甲烷副产氯化氢的精制及三氟甲烷回收的方法与装置
CN106902617A (zh) 一种高浓度voc气体净化回收装置及方法
CN206751402U (zh) 一种氖气回收提纯装置
CN106955569A (zh) 一种水合物法连续捕集水泥窑烟气中co2的方法
CN114392632B (zh) 一种氮气保护的脱脂工艺有机废气冷凝回收处理方法
CN202519029U (zh) 单晶硅生产中氩气回收纯化装置
CN203392864U (zh) 一种回收不纯氖氦混合气的装置
CN211537120U (zh) 一种采用热氮脱附的有机废气净化装置及系统
CN210434233U (zh) 一种从有机排放气中分离有机物、氮气的节能环保系统
CN115976575B (zh) 一种带干燥、提纯功能的小型制氢系统
CN106744750A (zh) 一种氖气回收提纯的方法及装置
CN203333287U (zh) 多晶硅尾气回收系统中氢气的连续吸附再生装置
CN211716983U (zh) 一种分离提纯氪和氙的装置
CN203244917U (zh) 一种一体化油气回收净化装置
CN216457861U (zh) 一种苯胺VOCs回收利用装置
CN110755994A (zh) 一种用于VOCs回收的废气治理系统
CN214437715U (zh) 气相沉积炉尾气的回收装置和气相沉积炉系统
CN115414741B (zh) 一种废气回收系统及方法
CN205603542U (zh) 利用烟道气制液化天然气的系统

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant