CN206680570U - 一种蒸镀坩埚用加热装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种蒸镀坩埚用加热装置，包括外壳，从外壳的下方至上方逐层排列的多个固定环，支撑在相邻两个固定环之间的多个支撑柱，以及在两个固定环之间螺旋缠绕的加热丝。通过上述方式设置，可以有效地减少因开孔数量较多而导致固定环容易开裂的情况，从而减少蒸镀坩埚用加热装置容易报废的可能性。

Description

一种蒸镀坩埚用加热装置

技术领域

本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚用加热装置。

背景技术

蒸镀是将材料加热成气体以镀到基片上的一种工艺，是显示领域(例如制作有源层时)常用的技术。

蒸镀坩埚是蒸镀时使用的容器，加热装置是用于对蒸镀坩埚加热的装置。加热装置包括外壳、从外壳下方至上方逐层排列的多个固定环、支撑在相邻两个固定环之间的支撑柱，以及设置在两个固定环之间的加热丝。其中，支撑柱和加热丝均直线延展至相邻两个固定环，并从固定环的孔中穿过，以实现固定。蒸镀时，将蒸镀坩埚放置在加热装置中，将基片和需要加热的材料放入蒸镀坩埚中。加热丝通电加热，材料在高温下气化蒸发，镀到基片上。

但是，为实现高温加热，加热丝的密度较大(相邻两个加热丝之间的距离较小)，这样需要在固定环上开设较多的加热丝安装孔。当长时间使用蒸镀坩埚用加热装置时，固定环容易开裂。固定环一旦开裂，加热丝和支撑柱容易从固定环中脱落，导致蒸镀坩埚用加热装置报废。

实用新型内容

本申请实施例提供一种蒸镀坩埚用加热装置，用于解决现有技术中，固定环容易开裂，使得蒸镀坩埚用加热装置容易报废的问题。

本申请实施例采用下述技术方案：

本申请的蒸镀坩埚用加热装置，包括外壳，从所述外壳的下方至上方逐层排列的多个固定环，支撑在相邻两个所述固定环之间的多个支撑柱，以及在两个所述固定环之间螺旋缠绕的加热丝。

可选的，所述加热丝缠绕在所述支撑柱上。

可选的，所述加热丝以所述支撑柱的轴线为中心螺旋缠绕在所述支撑柱上。

可选的，同一所述加热丝中从一个所述固定环的不同穿设孔中穿出的两部分分别缠绕在位于相邻两个固定环之间且相邻的所述支撑柱上。

可选的，所述加热丝的两个自由端均抵接于靠近的所述固定环；或者

所述加热丝的两个自由端从靠近的所述固定环的穿设孔穿出后连接。

可选的，相对于所述固定环的内侧，所述穿设孔靠近所述固定环的外侧，其中，所述固定环的内侧设有用于放置所述蒸镀坩埚的通孔，所述固定环的外侧与所述固定环的内侧相对。

可选的，位于所述外壳下方的所述加热丝的缠绕密度小于位于所述外壳上方的所述加热丝的缠绕密度。

可选的，位于所述固定环两侧且位于所述固定环的同一安装孔中的所述支撑柱为一体结构。

可选的，所述固定环抵接于所述支撑柱的凸台。

可选的，所述固定环上设有6个或8个或12个所述安装孔。

本申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：

本申请实施例采用的方案中，相对于加热丝直线延伸来说，加热丝螺旋缠绕时的密度较大。因此，单根缠绕的加热丝所能达到的加热温度可以相当于多根直线延伸的加热丝所能达到的加热温度，从而可以有效地减少加热丝的数量，进而可以有效地减少在固定环上开孔的数量。这样，可以有效地减少因开孔数量较多而导致固定环容易开裂的情况，从而减少蒸镀坩埚用加热装置容易报废的可能性。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请实施例提供的蒸镀坩埚用加热装置的线条结构示意图；

图2为本申请实施例提供的蒸镀坩埚用加热装置的填充结构示意图；

图3为本申请实施例提供的支撑柱的结构示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

如图1和图2所示，本申请的蒸镀坩埚用加热装置包括外壳(图中未示出)，设置在外壳内的固定环1、支撑柱2，以及螺旋缠绕的加热丝3。通过缠绕加热丝3来减少加热丝3的数量，从而减少在固定环1上开孔的数量，进而减少固定环1开裂的可能性。外壳可以与通常的外壳相同，在此不做过多赘述。

固定环1设有多个，数量可以根据需求设定，例如可以为4个或5个。固定环1可以为陶瓷环，以降低成本，提高使用寿命。将固定环1安装在外壳中时，多个固定环1沿外壳的下方至上方依次排列。

每个固定环1上均开设有用于安装支撑柱2的安装孔15，其中位于中部的固定环1上的安装孔15为通孔，而位于两端的固定环1上的安装孔15可以为盲孔。每个固定环1上的安装孔15的数量相同，可以为6个或8个或12个。从外壳的下方至上方排列固定环1时，不同固定环1上的安装孔15同轴线，并且从外壳的下方至上方，固定环1上的安装孔15逐渐减小，以方便安装支撑柱2。同一固定环1上的安装孔15的孔径可以相同，孔径大小可以根据需求设定。通过上述方式设置，结构简单；加工方便；可以较好地保证不同固定环1上的安装孔15同轴线，以方便安装支撑柱2。

固定环1上还可以设有用于穿设加热丝3的穿设孔16，并且每个安装孔15的附近均设有一个穿设孔16，穿设孔16的轴线大致与安装孔15的轴线平行，穿设孔16位于安装孔15的外侧。由于固定环1在安装孔15外侧的温度低，因此将穿设孔16设置在靠近固定环1的外侧，可以减少因开设穿设孔16而导致固定环1开裂的可能性。其中，固定环1的外侧与固定环1的内侧相对，固定环1的内侧设有用于放置蒸镀坩埚的通孔。每两个穿设孔16为一组，一组穿设孔16中用于穿设同一根加热丝3。同一组穿设孔16的中心距离小于两个安装孔15的中心距离，以方便在穿设孔16中穿设加热丝3。

支撑柱2可以为陶瓷柱。支撑柱2的个数与一个固定环1上安装孔15的个数相同，以能够在每个安装孔15中均安装支撑柱2。所有支撑柱2基本等长，并且每个支撑柱2的形状、大小基本相同。其中，支撑柱2的长度稍微小于外壳内腔的高度。支撑柱2从一端至另一端为外径逐渐减小的阶梯状(如图3所示)，每节的长度可以根据需求设定，每节的外径尺寸大致与其中一个固定环1安装孔15的孔径相同。

连接支撑柱2和固定环1时，支撑柱2外径最小的部分朝向上方，先将所有支撑柱2安装在外壳最下方的第一层固定环11的安装孔15中，然后将其余固定环1逐层套设在支撑柱2上。

通过上述方式设置支撑柱2，结构简单，加工省时省力；支撑柱2为一体结构，可以增强蒸镀坩埚用加热装置的结构强度；安装支撑柱2和固定环1时，支撑柱2外径较大的部分位于下方，以可以通过支撑柱2的台阶支撑固定环1，安装方便。

加热丝3缠绕在支撑柱2上。缠绕加热丝3时，以支撑柱2的轴线为中心螺旋缠绕，也就是说，支撑柱2上缠绕有以其轴线为中心的加热丝3。缠绕加热丝3时，可以根据需要在部分支撑柱2上缠绕加热丝3，也可以在所有支撑柱2上缠绕加热丝3。通过上述方式设置，可以通过支撑柱2支撑加热丝3，防止加热丝3变形，而且还可以通过在支撑柱2上缠绕加热丝3来实现支撑柱2和固定环1的固定。

在一个通过在支撑柱2上缠绕加热丝3来实现支撑柱2和固定环1固定的例子中，每根加热丝3的缠绕方式相同，以位于第一层固定环11和第二层固定环12(与第一层固定环11相邻的为第二层固定环12)之间的其中一根加热丝3为例。加热丝3两端(或者称为自由端)分别从第二层固定环12上的一组穿设孔16的上方穿入，从穿设孔16的下方穿出。然后从不同穿设孔16穿出的两端分别沿第二层固定环12至第一层固定环11的方向缠绕，加热丝3的从第二层固定环12穿出的两部分分别缠绕在靠近各穿设孔16的支撑柱2上。这样，可以通过加热丝3固定固定环1，防止固定环1在支撑柱2上下移动，而且安装固定环1时，可以直接将固定环1放置在支撑柱2上，然后通过缠绕加热丝3固定固定环1，操作简单。

缠绕加热丝3时，加热丝3的两端可以抵接在第一固定环11上，以实现加热丝3的固定，进一步简化操作。当然，加热丝3的两端也可以从第一层固定环11的穿设孔16中穿出后连接固定，提高固定牢固性。

连接固定环1和支撑柱2时，可以在将一个固定环1套设在支撑柱2上后，缠绕一层加热丝3，也可以在将所有固定环1套设在支撑柱2上后，逐层缠绕加热丝3。

相对于位于外壳下方来说，位于外壳上方的加热丝3缠绕密度(螺旋间距)可以较大，例如，位于第三层固定环13和第四层固定环14之间的加热丝3的缠绕密度大于位于第一层固定环11和第二层固定环12之间的加热丝3的缠绕密度。如此设置，可以使位于蒸镀坩埚中待蒸镀的材料在外壳上方为气态，以能够镀到基片上，使待蒸镀的材料在外壳下方为液态，减少电能浪费。位于相同层固定环1之间，加热丝3的缠绕密度可以大致相同，以方便缠绕。

加热丝3的数量可以根据需要设定。在一个例子中，固定环1的数量为四个，每个固定环1上均设有12个安装孔15，此时加热丝3的数量为12根。第一个层固定环11和第二层固定环12之间缠绕有6根加热丝3，第三层固定环13和第四层固定环14之间缠绕有6根加热丝3。缠绕加热丝3后，加热丝3可以不超出固定环1的外沿，以方便将固定环1与外壳固定。

当然，除上述缠绕方式外，加热丝3还可以以其他方式缠绕，例如，加热丝3在第一固定环11和第二固定环12之间缠绕后，从第二固定环12的穿设孔16中，延伸至第三固定环13的上方，并在位于第三固定环13上方的支撑柱2上缠绕。此时，固定环1和支撑柱2之间可以通过粘胶粘合。

以上仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，包括外壳，从所述外壳的下方至上方逐层排列的多个固定环，支撑在相邻两个所述固定环之间的多个支撑柱，以及在两个所述固定环之间螺旋缠绕的加热丝。

2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，所述加热丝缠绕在所述支撑柱上。

3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，所述加热丝以所述支撑柱的轴线为中心螺旋缠绕在所述支撑柱上。

4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，同一所述加热丝中从一个所述固定环的不同穿设孔中穿出的两部分分别缠绕在位于相邻两个固定环之间且相邻的所述支撑柱上。

5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，所述加热丝的两个自由端均抵接于靠近的所述固定环；或者

所述加热丝的两个自由端从靠近的所述固定环的穿设孔穿出后连接。

6.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，相对于所述固定环的内侧，所述穿设孔靠近所述固定环的外侧，其中，所述固定环的内侧设有用于放置所述蒸镀坩埚的通孔，所述固定环的外侧与所述固定环的内侧相对。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，位于所述外壳下方的所述加热丝的缠绕密度小于位于所述外壳上方的所述加热丝的缠绕密度。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，位于所述固定环两侧且位于所述固定环的同一安装孔中的所述支撑柱为一体结构。

9.根据权利要求8所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，所述固定环抵接于所述支撑柱的凸台。

10.根据权利要求8所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，所述固定环上设有6个或8个或12个所述安装孔。