CN206597064U - 一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置 - Google Patents
一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206597064U CN206597064U CN201621396736.6U CN201621396736U CN206597064U CN 206597064 U CN206597064 U CN 206597064U CN 201621396736 U CN201621396736 U CN 201621396736U CN 206597064 U CN206597064 U CN 206597064U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- energy field
- ultrasonic energy
- piezoelectric wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 title description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 title 1
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims abstract description 31
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 17
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 20
- 239000002356 single layer Substances 0.000 abstract description 15
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 7
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 6
- 238000010146 3D printing Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910013553 LiNO Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012620 biological material Substances 0.000 description 2
- IIPYXGDZVMZOAP-UHFFFAOYSA-N lithium nitrate Chemical compound [Li+].[O-][N+]([O-])=O IIPYXGDZVMZOAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000010261 cell growth Effects 0.000 description 1
- 238000002659 cell therapy Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007877 drug screening Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000002493 microarray Methods 0.000 description 1
- 230000004660 morphological change Effects 0.000 description 1
- 239000011664 nicotinic acid Substances 0.000 description 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 1
- 238000005293 physical law Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置。装置包含声表面波换能器、光预聚物、紫外固化灯和电动Z轴滑台，声表面波换能器沿圆周阵列分布，光预聚物置于换能器工作区域，紫外固化灯位于换能器下方以照射光预聚物，电动Z轴滑台位于上方以粘附单层微结构。本实用新型能快速制造出三维微结构，不需要掩膜版和模具，并且对设备要求较低，具有操作简单、成本低和效率高的特点。
Description
技术领域
本实用新型涉及快速成形技术，尤其涉及一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置。
背景技术
随着科学研究对材料要求的日益提高，有复杂空间形貌的三维微结构具有非常广泛的研究空间与应用价值。由于其密度低、力学性能好及结构特殊等优势，采用高分子材料制造的三维微结构在许多方面可以替代常规金属。例如，选用陶瓷和高分子聚合物作为人体骨骼仿生材料，可以制造出类似骨松质和骨密质的空间微孔，在部分场合来替代常规的钛合金骨骼。将三维多孔材料作为载体进行催化剂涂覆，能有效增加反应面积，因而大大提高反应速率。此外，采用生物功能材料制作的三维微结构可以模拟细胞生长的天然环境，因此在器官芯片、药物筛选和细胞疗法等研究方面具有重要作用。
广泛采用的制造微结构的方法有光刻、微压印和三维打印等。由于制造精度高和工艺成熟，光刻在微机电系统(MEMS)领域有不可替代的作用。微压印，也是基于光刻技术发展而来。光刻和微压印的绝对优势是制造精度高，但是受制造原理的制约，这两种方法只适合制造二维微结构。3D打印可用于制造三维微结构，并且在生物医学和能源领域已有了广泛的应用。3D打印是一种层叠制造，因此微米尺度的阶梯效应是无法避免的。此外，上述三种方法对机器设备和制造环境条件的要求很高，因而增加了制造成本。另外一点，上述方法都需要使用物理模具，比如掩膜版，尤其是光刻，所以在制造每一种微结构之前，都需要制作对应的掩膜版，因而制造周期较长，方法和设备的灵活性也因此受到制约。对于3D打印，弱化阶梯效应的有效途径就是减小层厚，而带来负面影响就是更高设备要求和更长制造周期。
综上所述，现有技术中缺少了一种快速、精度高、成本低和灵活性高的三维微结构制造装置和方法。
实用新型内容
为解决常规微结构制造存在的问题，利用超声能场作用下微流体表面产生形态变化这一物理规律，结合紫外光固化技术，本实用新型提出了一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置。
本实用新型利用多对声表面波换能器激发的超声能场，使光预聚物表面产生周期性形貌，通过调节超声能场的频率、幅值以及叠加数量，改变表面形貌的周期、高度、出现区域以及分布特征，然后利用紫外光照射固化进行单层微结构制造，最后通过垂直于成形平面的方向的叠加实现三维微结构的快速成形。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
所述装置置于光学隔振平台上，装置包括置于光学隔振平台上的电动Z轴滑台、至少三对声表面波换能器、紫外固化灯，至少三对声表面波换能器置于水平透明板上，并在透明压电晶片上沿圆周方向呈等间隔阵列布置，光预聚物置于压电晶片的中心区域，声表面波换能器朝向圆周的中心发射超声波以产生超声能场，光预聚物受到超声能场作用形成立体的周期性形貌；紫外固化灯安装在声表面波换能器下方并朝向换能器，用于使得超声能场激发形成光预聚物形成的立体周期性形貌固化成三维微结构；电动Z轴滑台位于声表面波换能器上方，用于粘附水平透明板上制成的三维微结构。
所述的声表面波换能器包括压电晶片和金属电极，压电晶片置于水平透明板上，无色透明的压电晶片中间涂有光预聚物，金属电极在压电晶片上沿圆周方向呈等间隔阵列布置，金属电极采用叉指电极，两侧相对称的两个金属电极及其正下方的压电晶片形成一对声表面波换能器。
所述的紫外固化灯发射的紫外光依次穿过水平透明板和无色透明的压电晶片后照射到光预聚物上，使得光预聚物受超声能场激发形成的立体周期性形貌固化。
所述的光预聚物为以聚乙二醇二丙烯酸酯为基底的生物材料，或者环氧树脂为基底的非生物材料。
金属电极直接与驱动装置相连。
本实用新型具有的有益效果是：
(1)通过独立控制N对换能器的输出频率、幅值、相位以及开启或关闭的工作状态，可以制造具有不同周期、高度、相对位置和出现区域的不同分布特征单层微结构。通过结合Z轴运动，可以实现三维微结构的快速成形。
(2)利用超声能场作用下微流体表面产生形态变化这一物理规律，结合紫外光固化技术，本实用新型可以制造具有光滑连续的微结构，并且是一步成形，具有成形精度高和制作效率高的特点，精度可达微米级别。
(3)本实用新型所用设备简单，并且装置具有较高的灵活性，因此制造成本较低。
附图说明
图1是本实用新型的装置示意图。
图2是声表面波换能器俯视图图，以三对为例。
图3是开启一对换能器制造的单层微结构。
图4是开启两对换能器制造的单层微结构。
图5是开启三对换能器制造的单层微结构。
图6是多层叠加后的三维微结构。
图中1.电动Z轴滑台，2.声表面波换能器，3.紫外固化灯，4.压电晶片；5. 金属电极。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
如图1所示，装置置于光学隔振平台上，装置包括置于光学隔振平台上的电动Z轴滑台1、至少三对声表面波换能器2、紫外固化灯3，至少三对声表面波换能器2置于水平透明板上，换能器在无色透明的压电晶片4上沿圆周方向呈等间隔阵列布置，光预聚物置于无色透明的压电晶片4中心，声表面波换能器2朝向圆周的中心发射超声波以产生超声能场，光预聚物受到超声能场作用形成立体的周期性形貌；紫外固化灯3安装在声表面波换能器2下方并朝向超声能场，用于使得超声能场激发形成光预聚物形成的立体周期性形貌固化成三维微结构；电动Z轴滑台1位于声表面波换能器2上方，用于粘附水平透明板上制成的三维微结构。
如图2所示，声表面波换能器2包括压电晶片4和金属电极5，无色透明的压电晶片4置于水平透明板上，光预聚物涂敷在压电晶片4的中间区域，金属电极5在压电晶片4上沿圆周方向呈等间隔阵列布置，金属电极5采用叉指电极，两侧相对称的两个金属电极5及其正下方的压电晶片4形成一对声表面波换能器2。
本实用新型的实施例及其实施过程如下：
首先，制造如下：
(1)根据声表面波换能器的对数、声孔径、电极数量等参数设计制作铬掩膜版，掩膜版中换能器区域为透光部分，其它区域不透光；
(2)选用128°Y切向的铌酸锂(LiNbO3)压电晶片4，在光刻之前，采用匀胶机在LiNO3晶片上旋涂一层正性光刻胶，然后在100℃条件下进行烘干。然后采用双面对准光刻机在预先设计的掩膜版的附着下进行曝光，单次曝光时长1.7s。在放置LiNO3晶片时，一定要确保晶片的正方向与掩膜版的正方向一致，并尽可能的做到对准。曝光结束后，同需要进行100℃条件下的烘干。烘干之后，进行显影并晾干。
(3)金属电极5材料为铝，采用磁控溅射机在有光刻胶图案排布的LiNO3晶片沉积一层铝。溅射金属铝的真空度要求为首先达到10-3Pa，然后通入氩气，使真空度达到0.5Pa，溅射电流为0.8A，溅射时间为20分钟。
(4)依次采用丙酮和无水乙醇对晶片进行浸泡，去除残留的光刻胶及附着在光刻胶表面的铝膜，获得声表面波换能器。
(5)将声表面波换能器2，和购买模块化的电动Z轴滑台1和紫外固化灯3 按照图1中的顺序进行安装。
接着，三维微结构快速成形过程如下：
(1)将具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置放置于光学隔振平台上，并将光预聚物均匀涂覆在无色透明的压电晶片中央，使其液面平坦；
(2)将驱动装置与声表面波换能器相连，调节驱动装置的输出频率、振幅和相位，使换能器激发稳定的超声辐射力场，光预聚物表面在超声能场作用下产生稳定分布的周期性形貌；
(3)采用紫外固化灯照射已产生稳定分布的周期性形貌的光预聚物，使其发生固化，获得具有周期性形貌的单层微结构，通过超声能场的控制使得单层微结构的高度最低能到达微米级别；
(4)对于单层微结构，开启一对换能器，制造如图3所示的单层微结构，开启两对换能器，可制造如图4所示的单层微结构，开启三对换能器，可以制造如图5所示的单层微结构；
(5)进行具有不同周期性形貌的单层微结构的连续制造，通过电动Z轴滑台的下降和抬升运动将具有不同周期性形貌的单层微结构粘附再一起，将单层微结构层叠形成多层构成的三维结构，从而实现了三维微结构的快速成形，效果如图6所示。
本实例用了三对声表面波换能器，可以对微阵列的周期、高度、产生区域和相对位置进行调节，实际应用中，可以用声表面波换能器搭建装置，可根据需要制造更复杂的三维微结构。
Claims (2)
1.一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置，其特征在于：所述装置置于光学隔振平台上，装置包括置于光学隔振平台上的电动Z轴滑台(1)、至少三对声表面波换能器(2)、紫外固化灯(3)，至少三对声表面波换能器(2)置于水平透明底板上，并沿圆周呈等间隔阵列布置，光预聚物涂敷在中央区域；紫外固化灯(3)安装在声表面波换能器(2)下方并朝向超声能场，用于使得超声能场激发形成光预聚物形成的立体周期性形貌固化成三维微结构；电动Z轴滑台(1)位于声表面波换能器(2)上方，用于粘附水平透明板上制成的三维微结构。
2.根据权利要求1所述的一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置，其特征在于：所述的声表面波换能器(2)包括压电晶片(4)和金属电极(5)，无色透明的压电晶片(4)置于水平透明板上，光预聚物涂敷在压电晶片(4)的中央区域，在压电晶片(4)边缘周围沿圆周等间隔阵列布置金属电极(5)，金属电极(5)采用叉指电极，两侧相对称的两个金属电极(5)及其正下方的压电晶片(4)形成一对声表面波换能器(2)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621396736.6U CN206597064U (zh) | 2016-12-19 | 2016-12-19 | 一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621396736.6U CN206597064U (zh) | 2016-12-19 | 2016-12-19 | 一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206597064U true CN206597064U (zh) | 2017-10-31 |
Family
ID=60148424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201621396736.6U Expired - Fee Related CN206597064U (zh) | 2016-12-19 | 2016-12-19 | 一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206597064U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109734045A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-05-10 | 浙江大学 | 基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法 |
| CN111572019A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-08-25 | 浙江大学 | 基于声表面波的形状记忆复合构件可控变形三维打印方法 |
| CN114261947A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-04-01 | 东北林业大学 | 一种利用振动辅助针尖轨迹运动加工纳米周期结构的方法 |
-
2016
- 2016-12-19 CN CN201621396736.6U patent/CN206597064U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109734045A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-05-10 | 浙江大学 | 基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法 |
| CN109734045B (zh) * | 2018-12-03 | 2020-09-11 | 浙江大学 | 基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法 |
| CN111572019A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-08-25 | 浙江大学 | 基于声表面波的形状记忆复合构件可控变形三维打印方法 |
| CN111572019B (zh) * | 2020-06-03 | 2021-04-27 | 浙江大学 | 基于声表面波的形状记忆复合构件可控变形三维打印方法 |
| CN114261947A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-04-01 | 东北林业大学 | 一种利用振动辅助针尖轨迹运动加工纳米周期结构的方法 |
| CN114261947B (zh) * | 2021-12-22 | 2024-05-14 | 东北林业大学 | 一种利用振动辅助针尖轨迹运动加工纳米周期结构的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106821543B (zh) | 具有超声能场辅助的三维微结构快速成形方法及装置 | |
| Zou et al. | Advances in nanostructures for high‐performance triboelectric nanogenerators | |
| CN103009632A (zh) | 基于声表面波的微阵列无模成型装置及成型方法 | |
| CN206597064U (zh) | 一种具有超声能场辅助的三维微结构快速成形装置 | |
| Kim et al. | 3D optical printing of piezoelectric nanoparticle–polymer composite materials | |
| CN105679929B (zh) | 基于超声驻波场的包覆压电单元薄膜的制造方法及装置 | |
| KR101303500B1 (ko) | 2차원 광자 리소그래피 및 나노임프린트를 이용한 서브마이크론 3차원 구조물 제조용 3차원 몰드 및 그를 이용한 3차원 구조물 제조방법 | |
| TW202015921A (zh) | 聚合物結構、其立體光刻製造方法以及包含該聚合物結構之電子裝置 | |
| CN112899158A (zh) | 一种微加工气体匹配层调制体超声波细胞组装和排列装置、制备方法及应用 | |
| CN104849783A (zh) | 基于纳米压印工艺的可见与近红外光吸收体及其加工方法 | |
| CN106493942A (zh) | 全息超声场面自成型增材制造方法及装置 | |
| CN111572019A (zh) | 基于声表面波的形状记忆复合构件可控变形三维打印方法 | |
| CN101837951B (zh) | 图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构的装置和方法 | |
| CN111485202B (zh) | 实现圆二色性的双层金属结构及其制备方法 | |
| CN116811287A (zh) | 一种基于3d打印的锥形阵列柔性压力传感器制备方法 | |
| CN105835279B (zh) | 一种用于制作柔性微孔吸声膜的加工模板及柔性微孔吸声膜的制作方法 | |
| CN109734045B (zh) | 基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法 | |
| CN110587977A (zh) | 基于斜指换能器的可变间距微结构的制备装置及方法 | |
| CN204575880U (zh) | 一种基于纳米压印工艺的可见与近红外光吸收体 | |
| Li et al. | MEMS first-order Bessel beam acoustic transducer for particle trapping and controllable rotating | |
| CN205303514U (zh) | 一种基于超声驻波场的包覆压电单元薄膜的制造装置 | |
| Sun et al. | Particle Trapping and Transportation with MEMS Zeroth-order Bessel Beam Acoustic Transducer (BBAT) | |
| CN208738304U (zh) | 一种压电陶瓷换能器素坯的制备装置及换能器制备系统 | |
| CN206264355U (zh) | 全息超声场面自成型增材制造装置 | |
| CN111302653B (zh) | 一种网状金银复合纳米薄膜的制备方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20171031 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |