CN206591172U - 一种均匀镀膜钼舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种均匀镀膜钼舟，包括下钼舟和上钼舟，所述下钼舟和上钼舟都由舟舱和设置在舟舱两端的舟翼组成，所述舟舱为四棱台空腔结构，所述下钼舟和上钼舟上设有对接孔，所述下钼舟和上钼舟可完全对接，所述下钼舟的舟舱一侧设有密封块一，另外一侧设有密封块二，在舟舱长度方向上设有两个平行的导轨，所述导轨上设有盖板，且所述盖板与导轨可滑动连接，提高镀膜的均匀性，降低钼舟在持续高温环境下的变形。

Description

一种均匀镀膜钼舟

技术领域

本实用新型属于镀膜设备技术领域，具体地说，本实用新型涉及一种均匀镀膜钼舟。

背景技术

镀膜技术广泛应用于各种工件上，镀膜不仅能保护工件，防止工件磨损、氧化从而使得工件表面光滑，装饰性强，在薄膜制备的过程中，需要很强的功率才能使金属原料从固体状态蒸发气化，但是现有的钼舟结构设计不合理，制造成本高，导致镀膜不均匀，除此之外，当钼舟持续在高温下使用时，其会随着时间的延长而发生变形，严重时会造成舟体扭曲。

实用新型内容

本实用新型提供一种均匀镀膜钼舟，提高镀膜的均匀性，降低钼舟在持续高温环境下的变形。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种均匀镀膜钼舟，包括下钼舟和上钼舟，所述下钼舟和上钼舟都由舟舱和设置在舟舱两端的舟翼组成，所述舟舱为四棱台空腔结构，所述下钼舟和上钼舟上设有对接孔，所述下钼舟和上钼舟可完全对接，所述下钼舟的舟舱一侧设有密封块一，另外一侧设有密封块二，在舟舱长度方向上设有两个平行的导轨，所述导轨上设有盖板，且所述盖板与导轨可滑动连接。

优选的，所述盖板下端设有两个平行的滑轨，所述滑轨可插入导轨中，盖板上设有镀膜孔一，盖板上端设有零件支撑架。

优选的，所述导轨内设有“T”型槽，滑轨为“T”型导轨。

优选的，所述镀膜孔一为锥度孔。

优选的，所述上钼舟内设有托板，所述托板与上钼舟的舟舱可拆卸连接，所述托板两侧设有多个镀膜孔二，且所述镀膜孔二为锥度孔。

采用以上技术方案的有益效果是：该均匀镀膜钼舟，所述舟舱为四棱台空腔结构，使舟舱的结构更加稳固，钼舟持续在高温下使用时，不易变形；所述下钼舟和上钼舟上设有对接孔，所述下钼舟和上钼舟可完全对接，保证下钼舟和上钼舟对接的准确性；所述下钼舟的舟舱一侧设有密封块一，另外一侧设有密封块二，在舟舱长度方向上设有两个平行的导轨，所述导轨上设有盖板，且所述盖板与导轨可滑动连接，所述盖板下端设有两个平行的滑轨，，所述滑轨可插入导轨中，保证了盖板通过滑轨与导轨连接的密封性；所述导轨内设有“T”型槽，滑轨为“T”型导轨，保证盖板连接的稳定性；所述盖板上端设有零件支撑架，方便被镀膜零件的放置；所述上钼舟内设有托板，用来放置镀膜固态金属；盖板上设有镀膜孔一，所述镀膜孔一为锥度孔，所述托板两侧设有多个镀膜孔二，且所述镀膜孔二为锥度孔，保证了镀膜蒸气的顺利输出。

附图说明

图1是下钼舟俯视图；

图2是上钼舟侧面剖视图；

图3是盖板侧视图；

图4是A-A剖视图；

其中：

1、下钼舟；2、上钼舟；1-1、舟舱；1-2、舟翼；10、密封块一；11、密封块二；12、导轨；13、盖板；13-1、滑轨；13-2、镀膜孔一；13-3、零件支撑架；20、对接孔；21、托板；21-1、镀膜孔二。

具体实施方式

下面对照附图，通过对实施例的描述，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明，目的是帮助本领域的技术人员对本实用新型的构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解，并有助于其实施。

如图1至图4所示，本实用新型是一种均匀镀膜钼舟，提高镀膜的均匀性，降低钼舟在持续高温环境下的变形。

具体的说，如图1至图4所示，包括下钼舟1和上钼舟2，如图1、图2所示，所述下钼舟1和上钼舟2都由舟舱1-1和设置在舟舱1-1两端的舟翼1-2组成，所述舟舱1-1为四棱台空腔结构，所述下钼舟1和上钼舟1上设有对接孔20，所述下钼舟1和上钼舟2可完全对接，如图1所示，所述下钼舟1的舟舱1-1一侧设有密封块一10，另外一侧设有密封块二11，在舟舱1-1长度方向上设有两个平行的导轨12，所述导轨12上设有盖板13，且所述盖板13与导轨12可滑动连接。

如图3所示，所述盖板13下端设有两个平行的滑轨13-1，所述滑轨13-1可插入导轨12中，盖板13上设有镀膜孔一13-2，盖板13上端设有零件支撑架13-3。

所述导轨12内设有“T”型槽，如图4所示，滑轨13-1为“T”型导轨。

如图1所示，所述镀膜孔一13-2为锥度孔。

所述上钼舟2内设有托板21，所述托板21与上钼舟2的舟舱1-1可拆卸连接，所述托板21两侧设有多个镀膜孔二21-1，且所述镀膜孔二21-1为锥度孔。

以下用具体实施例对具体工作方式进行阐述：

该均匀镀膜钼舟，当要进行镀膜操作时，将低熔点金属一部分放置在下钼舟1的舟舱1-1中，另外一部分放置在上钼舟2上的托板21上，然后将盖板13通过滑轨13-1与舟舱1-1上的导轨12连接，盖板13的一端被密封块一10密封，另外一端被密封块二11密封，然后将被镀膜零件放置在盖板13上的零件支撑架13-3上，然后再将放有低熔点金属的上钼舟2与下钼舟1完全对接起来，再将两舟翼1-2分别连接电线并通电，随着温度升高，金属会蒸发成气体，镀在零件支撑架13-3上放置零件表面，因为下钼舟1和上钼舟2上都有气态金属输出，提高镀膜的均匀性。

所述舟舱1-1为四棱台空腔结构，使舟舱1-1的结构更加稳固，钼舟持续在高温下使用时，不易变形；所述下钼舟1和上钼舟2上设有对接孔20，所述下钼舟1和上钼舟2可完全对接，保证下钼舟1和上钼舟2对接的准确性；所述下钼舟1的舟舱1-1一侧设有密封块一10，另外一侧设有密封块二11，在舟舱1-1长度方向上设有两个平行的导轨12，所述导轨12上设有盖板13，且所述盖板13与导轨12可滑动连接，所述盖板13下端设有两个平行的滑轨13-1，，所述滑轨13-1可插入导轨12中，保证了盖板13通过滑轨13-1与导轨12连接的密封性；所述导轨12内设有“T”型槽，滑轨13-1为“T”型导轨，保证盖板13连接的稳定性；所述盖板13上端设有零件支撑架13-3，方便被镀膜零件的放置；所述上钼舟2内设有托板21，用来放置镀膜固态金属；盖板13上设有镀膜孔一13-2，所述镀膜孔一13-2为锥度孔，所述托板21两侧设有多个镀膜孔二21-1，且所述镀膜孔二21-1为锥度孔，保证了镀膜蒸气的顺利输出。

以上结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然，本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要是采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进；或未经改进，将本实用新型的上述构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种均匀镀膜钼舟，其特征在于：包括下钼舟和上钼舟，所述下钼舟和上钼舟都由舟舱和设置在舟舱两端的舟翼组成，所述舟舱为四棱台空腔结构，所述下钼舟和上钼舟上设有对接孔，所述下钼舟和上钼舟可完全对接，所述下钼舟的舟舱一侧设有密封块一，另外一侧设有密封块二，在舟舱长度方向上设有两个平行的导轨，所述导轨上设有盖板，且所述盖板与导轨可滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种均匀镀膜钼舟，其特征在于：所述盖板下端设有两个平行的滑轨，所述滑轨可插入导轨中，盖板上设有镀膜孔一，盖板上端设有零件支撑架。

3.根据权利要求2所述的一种均匀镀膜钼舟，其特征在于：所述导轨内设有“T”型槽，滑轨为“T”型导轨。

4.根据权利要求2所述的一种均匀镀膜钼舟，其特征在于：所述镀膜孔一为锥度孔。

5.根据权利要求1所述的一种均匀镀膜钼舟，其特征在于：所述上钼舟内设有托板，所述托板与上钼舟的舟舱可拆卸连接，所述托板两侧设有多个镀膜孔二，且所述镀膜孔二为锥度孔。