CN206541088U - 间隙调整装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及间隙调整领域，公开了一种间隙调整装置，其中该间隙调整装置包括厚度为t的感应片(20)，所述感应片能够置于待调整的间隙中并能够感应形成该间隙的面对所述感应片施加的力，所述间隙调整装置还包括与所述感应片电连接且显示所述感应片的感应结果的显示机构(21)。该间隙调整装置能够准确调整出所需间隙的大小。
Description
技术领域
本实用新型涉及间隙调整领域，具体地，涉及一种间隙调整装置。
背景技术
在人类实际作业的过程中，通常会调整间隙的距离以满足作业精准度等需求。例如在薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，简称TFT-LCD)技术中的TFT阵列的加工过程中，经常需要防止玻璃基板打滑的设备为玻璃基板预留出的适当的间隙。
TFT-LCD技术是利用在硅(si)上进行微电子精细加工的技术，移植到在大面积玻璃基板上进行TFT阵列的加工，再将该阵列基板与另一片带彩色滤色膜的基板，利用与业已成熟的LCD技术，形成一个液晶盒相结合，再经过后工序如偏光片贴覆等过程，最后形成液晶显示器。其中在TFT阵列的加工中大致采用下述步骤：首先要在洁净的玻璃基板上依次镀金属薄膜、不导电层和半导体层，再制作电晶体图案，然后进行湿式刻蚀。
在湿式刻蚀的过程中，为了防止玻璃基板在药液及水中出现打滑的现象，通过会在容纳有药液及水的槽中设置如图1中所示的滚轮器，该滚轮器包括相对设置的第一滚轮单元10和第二滚轮单元11，其中，第一滚轮单元10相对于第二滚轮单元11能够移动从而在二者之间预留出合适的间隙12以使得玻璃基板能够置于二者之间，并且能够防止玻璃基板出现打滑的现象。应当明白的是，如果该间隙12过大，则不能实现防止玻璃基板打滑的目的；如果该间隙12过小，则有可能导致玻璃基板破片。由此，需要较为准确的预留出所需要的间隙12。
目前，调整间隙基本都会选用厚薄规(即塞尺或间隙片)。现有的厚薄规是由一组不同厚度差级的薄钢片组成，调整时由检验者根据厚薄规与被测表面配合的松紧程度来判断。然而，由于每个人的判断标准不一样，这就会导致间隙的调整并不准确。另外，滚轮器在长期使用后，可能会出现滚轮变形的现象，现有厚薄规也无法判断这一现象。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种间隙调整装置，该间隙调整装置能够准确调整出所需间隙的大小，提高了调整间隙的精准度。
为了实现上述目的，本实用新型提供一种间隙调整装置，该间隙调整装置包括厚度为t的感应片，所述感应片能够置于待调整的间隙中并能够感应形成该间隙的面对所述感应片施加的力，所述间隙调整装置还包括与所述感应片电连接且显示所述感应片的感应结果的显示机构。
优选地，所述显示机构包括本体和安装于所述本体上的显示器。
优选地，所述本体的外表面上开设有安装孔，所述感应片插设在所述安装孔中。
优选地，所述感应片包括衬底以及位于该衬底的一个表面上的力敏电阻，所述力敏电阻与所述显示器连接。
优选地，所述力敏电阻和所述显示机构通过金属引线连接。
优选地，所述感应片包括至少覆盖于所述力敏电阻和所述金属引线上的保护层。
优选地，所述力敏电阻为硒碲合金力敏电阻。
优选地，所述感应片的厚度t为0.1-1mm。
优选地，所述间隙调整装置包括检测所述感应片是否受力的检测电路，该检测电路包括输入端与电源相连的电桥电路、与所述电桥电路的输出端相连的放大器、与所述放大器的输出端相连的DA转换器以及与所述DA转换器相连的显示器，其中：所述电桥电路包括力敏电阻、第一固定电阻、第二固定电阻以及第三固定电阻，所述力敏电阻、所述第一固定电阻、所述第二固定电阻以及所述第三固定电阻分别形成四个桥臂，所述电桥电路的一个对角作为所述输入端，另一个对角作为所述输出端。
在上述技术方案中，通过设置能够感应是否受力的所述感应片以及与该感应片电连接并显示所述感应片的感应结果的所述显示机构，当将所述感应片置于待调整的间隙中后，通过所述感应片自身感应受到形成间隙的面施加的力到刚好不受到形成该间隙的面施加的力，并同时通过所述显示机构灵敏的体现出这一感应过程，从而能够准确调整出所需间隙的大小，大大提高了间隙调整的精准度。
本实用新型的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是现有技术所提供的滚轮器的整体结构示意图；
图2是本实用新型优选实施方式提供的间隙调整装置的整体结构示意图；
图3是图2所示的间隙调整装置拆去所述感应片的侧视结构示意图；
图4是图2所示的间隙调整装置的感应片的整体结构示意图；
图5是图4所示的感应片的剖面结构示意图；
图6是本实用新型优选实施方式提供的间隙调整装置中的检测电路的结构示意图。
附图标记说明
10 第一滚轮单元 21 显示机构
100 第一滚轴 210 本体
101 第一滚轮 211 显示器
11 第二滚轮单元 212 安装孔
110 第二滚轴 213 电桥电路
111 第二滚轮 2130 第一固定电阻
12 间隙 2131 第二固定电阻
20 感应片 2132 第三固定电阻
200 衬底 214 放大器
201 力敏电阻 215 DA转换器
202 金属引线 216 金属触点
203 保护层
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。
在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指结合实际中的应用方向或附图中所示的方向理解。
图1示出了现有的滚轮器，该滚轮器包括相对设置的第一滚轮单元10和第二滚轮单元11，第一滚轮单元10包括第一滚轴100和套设于第一滚轴100的第一滚轮101，第二滚轮单元11包括与第一滚轴100相平行设置的第二滚轴110以及套设于第二滚轴110的第二滚轮111，第一滚轮单元10相对于第二滚轮单元11能够移动以在二者之间形成间隙12，如图1中所示的方位，第一滚轮单元10相对于第二滚轮单元11向上移动则二者之间能够形成间隙12，玻璃基板能够在形成的间隙12中被传送。
本实用新型提供了一种间隙调整装置，该间隙调整装置包括厚度为t的感应片20，感应片20能够置于待调整的间隙中并能够感应形成该间隙的面对感应片20施加的力，所述间隙调整装置还包括与感应片20电连接且显示感应片20的感应结果的显示机构21。通过设置能够感应是否受力的感应片20以及与该感应片20电连接并显示感应片20的感应结果的显示机构21，能够准确调整出所需间隙的大小，相比起选用厚薄规进行调整，大大提高了调整精准度。
上述间隙调整装置能够应用于多种领域，例如可应用于湿式刻蚀过程中所选用的滚轮器中以准确调整出第一滚轮单元10与第二滚轮单元11之间形成的间隙12(即第一滚轮101与第二滚轮111之间形成的间隙)，从而能够防止在该间隙12中被传送的玻璃基板打滑，并使得位于玻璃基板上的膜不被刮破以及玻璃基板不被压坏，关于滚轮器的结构在上述中已被描述，此处不再赘述。具体调整第一滚轮单元10与第二滚轮单元11之间形成的间隙12的过程如下：将厚度为t的感应片20置于间隙12中并使得显示机构21不显示数值，可以理解的是，在将感应片20放入间隙12中时，可使得感应片20的不感应受力的一面靠在第二滚轮单元11上，同时将第一滚轮单元10向上移动较大的距离使得感应片20轻松位于二者之间，使得第一滚轮单元10并不能碰触到感应片20；之后，朝向感应片20移动第一滚轮单元10，使得感应片20受力并使显示机构21显示数值，此时，第一滚轮单元10可以只是部分接触感应片20，也可以完全压在感应片20上，只要使得显示机构21显示出数值即可；然后，将所述第一滚轮单元10逐渐向上移动直至显示机构21刚好不显示数值，此时表明感应片20恰好不受力，于是准确调整出了第一滚轮单元10和第二滚轮单元11之间形成的间隙12的大小，也就是调整出了能够使得玻璃基板通过而不被损坏的间隙。可以理解的是，感应片20的厚度t在调整之前便是已知的，更具体地来讲，感应片20上能够感应是否受力的部分的厚度与所需要的间隙的距离相等，这样便于调整出所需要的间隙12，另外，感应片20的厚度t可根据实际所需要为玻璃基板预留的间隙进行设置。感应片20的厚度t优选为0.1-1mm，进一步地，厚度t优选为0.2-0.3mm。
如图2-图3中所示，显示机构21包括本体210和安装于本体210上的显示器211。另外，本体210的外表面上还可开设有安装孔212，感应片20插设在安装孔212中以实现感应片20与本体210的可拆卸连接，这样便能够在同一个显示机构21上安装不同厚度的感应片20，以满足调整不同间隙的需求，不仅降低了成本，而且便于使用。在制备多个厚度不同的感应片20的过程中，可将多个感应片20的插入安装孔212中的一端的厚度设置成相同的厚度，则便于感应片20与安装孔212的连接，方便感应片20的更换。
另外，如图4中所示，感应片20优选包括衬底200以及位于衬底200的一个表面上的力敏电阻201，力敏电阻201与显示器211连接，由于力敏电阻201只设置于衬底200的一个表面，当进行调整间隙12作业时，衬底200的未设置有力敏电阻201的一个表面需要抵靠在形成间隙12的一个面上，而衬底200的设置有力敏电阻201的表面朝向形成间隙12的另一个面，当力敏电阻201受到该面施加的力时显示器211便显示出数值；当力敏电阻201没有感应到任何力时，显示器211便不显示任何数值。优选地，力敏电阻201和显示机构21通过金属引线202连接，更具体地，金属引线202通过设置在安装孔212处设置金属触点216与显示机构21电连接。其中，衬底200的材料可选用树脂，至于所选用的树脂的具体种类完全可根据实际需求进行选择，并不受到具体的限制。力敏电阻201的种类可为多种，例如可优选硒碲合金力敏电阻以提高感应的灵敏度，当然力敏电阻201还可以为其他种类，并不局限于上述种类。
为了能够有效的保护力敏电阻201，如图5中所示，还可在衬底200上设置保护层203，保护层203至少覆盖在力敏电阻201和金属引线202上，从而有效避免感应片20受到例如药液等污染物的腐蚀，大大提高了感应片20的使用寿命。至于保护层203的材料也可以选用树脂，在实际应用中，完全可根据实际需求选择树脂的具体种类。
此外，间隙调整装置中可设置有检测感应片20是否受力的检测电路，如图6中所示，该检测电路可包括输入端与电源相连的电桥电路213、与电桥电路213的输出端相连的放大器214、与放大器214的输出端相连的DA转换器215以及与DA转换器215相连的显示器211，其中：电桥电路213包括力敏电阻201、第一固定电阻2130、第二固定电阻2131以及第三固定电阻2132，力敏电阻201、第一固定电阻2130、第二固定电阻2131以及第三固定电阻2132分别形成四个桥臂，电桥电路213的一个对角作为所述输入端，另一个对角作为所述输出端。将力敏电阻201、第一固定电阻2130、第二固定电阻2131以及第三固定电阻2132的电阻值依次记为R0、R1、R2、R3，当力敏电阻201未受到力时，电桥电路213达到平衡状态，即R0+R1＝R2+R3，此时显示器211上无数值显示；当力敏电阻201受到一定力时，电阻值发生变化，电桥电路213失去平衡，此时输出信号电压，该信号电压经过放大器214放大后被传送到DA转换器215，最终显示器211显示数值。
本实用新型还提供了一种滚轮器间隙调整方法，其中滚轮器包括相对设置的第一滚轮单元10和第二滚轮单元11，第一滚轮单元10相对于第二滚轮单元11能够移动以在二者之间形成间隙12，该滚轮器间隙调整方法包括以下两个步骤：
步骤S11、将厚度为t的感应片20置于间隙12中并使得感应片20不受到形成间隙12的面施加的力且使得感应片20不产生感应，之后，朝向感应片20移动第一滚轮单元10，使得感应片20受力并产生感应；
步骤S12、感应片20受力并产生感应后，将第一滚轮单元10逐渐移动直至感应片20刚好不感应，然后取出感应片20。
在上述步骤S11中，滚轮器的结构如图1中所示。在将感应片20放入第一滚轮单元10和第二滚轮单元11之间形成的间隙12时，将感应片20的与能够感应受力的表面的相对的表面抵靠在第二滚轮单元11上(准确的说，是抵靠在第二滚轮111上)，也就是说，感应片20的没有设置力敏电阻201的表面靠在第二滚轮单元11上，并且同时将第一滚轮单元10向上移动较大的距离使得感应片20轻松位于二者之间，使得第一滚轮单元10并不能碰触到感应片20，此时感应片20并不受到形成该间隙12的面所施加的力，同时也并不产生感应，可以理解的是，当选用本实用新型提供的间隙调整装置进行滚轮器间隙调整时，此时与感应片20电连接的显示机构21并不显示任何数值，之后，朝向感应片20移动第一滚轮单元10，也就是将第一滚轮单元10向下移动，使得感应片20，准确的说是力敏电阻201受力而产生感应，此时由于力敏电阻201受力而产生感应则显示机构21显示数值。在移动第一滚轮单元10的过程中，第一滚轮单元10可以只是部分接触感应片20，也可以完全压在感应片20上，只要使得显示机构21显示出数值即可。
在上述步骤S12中，当完成步骤S11后，将第一滚轮单元10逐渐向上移动至感应片20刚好不感应为止，可以明白的是，当利用本实用新型提供的间隙调整装置进行滚轮器间隙调整时，此时显示机构21刚好不显示数值，于是准确调整出了第一滚轮单元10和第二滚轮单元11之间所需要形成的间隙12，也就是调整出了能够使得玻璃基板通过而不被损坏的间隙。可以理解的是，感应片20的厚度t在调整之前便是已知的，更具体地来讲，感应片20的能够感应是否受力的部分的厚度与所需要的间隙的距离相等，这样便能够调整出所需要的间隙12，另外，感应片20的厚度t可根据实际所需要为玻璃基板预留的间隙进行设置。感应片20的厚度t优选为0.1-1mm，进一步地，厚度t优选为0.2-0.3mm。
利用本实用新型提供的滚轮器间隙调整方法，能够准确调整出滚轮器中需要为玻璃基板预留出的间隙，使得玻璃基板在传送的过程中不打滑，并且使得玻璃基板不会受到形成该间隙的面施加的力而被损坏。
本实用新型又提供了一种检测滚轮器的滚轮变形的方法，其中，滚轮器包括相对设置的第一滚轮单元10和第二滚轮单元11，第一滚轮单元10包括第一滚轴100和套设于第一滚轴100的第一滚轮101，第二滚轮单元11包括与第一滚轴100相平行设置的第二滚轴110以及套设于第二滚轴110的第二滚轮111，第一滚轮单元10相对于第二滚轮单元11能够移动以在二者之间形成间隙12，该检测滚轮器的滚轮变形的方法包括以下两个步骤：
步骤S21、将感应片20放入与该感应片20相对应的间隙12中，
步骤S22、保持感应片20不动，使得第一滚轮101和第二滚轮111转动，当显示机构21一直无数值显示，则表明滚轮无变形。
在上述步骤S21中，将感应片20放入与该感应片20相对应的间隙12中，也就是需要将感应片20放入已经为需要通过的玻璃基板预留好的间隙12中，其中优选通过下述方法调整与感应片20相对应的间隙12：将厚度为t的感应片20置于间隙12中并使得显示机构21不显示数值，在将感应片20置于间隙12中时优选使得感应片20的不感应受力的一面靠在第二滚轮单元11上，之后，朝向感应片20移动第一滚轮单元10，使得感应片20受力并使显示机构21显示数值；然后，将第一滚轮单元10逐渐移动直至显示机构21刚好不显示数值，此时在第一滚轮101和第二滚轮111之间形成的间隙便为与该感应片20相对应的间隙12。关于调整间隙方法在前述已被提到，此处不再一一赘述。
在上述步骤S22中，保持感应片20不动，使得滚轮转动，若显示机构21在滚轮转动的过程中一直无数值显示，则表明滚轮无变形。
另外，当显示机构21有数值显示时，移动第一滚轮单元10使第一滚轮101完全压在感应片20上，并使得第一滚轮101转动，此时当显示机构21所显示的数值在预设范围内波动，则仍可表明滚轮无变形。其中，所述预设范围为当第一滚轮101完全压在感应片20上时显示机构21显示的数值的-30％-30％，即在上述预设范围内波动时，表明滚轮无变形。而当显示机构21上所显示的数值的波动范围较大时，即不在上述预设范围内波动时，表明滚轮有变形，可对滚轮进行更换，优选对能够上下移动的第一滚轮101进行更换，更换第一滚轮101后，继续选用本实用新型提供的检测滚轮器的滚轮变形的方法进行检测，在检测的过程中，若显示机构21所显示的数值波动范围在上述预设范围内，则滚轮器投入使用，若显示机构21所显示的数值波动范围并不在上述预设范围内，则需要更换相对固定的第二滚轮111。
利用本实用新型提供的检测滚轮器的滚轮变形的方法，能够准确判断出滚轮器中的滚轮是否变形，从而对变形的滚轮给予及时的更换，以保证玻璃基板被安全高效的传送，大大提高了被传送的玻璃基板的可靠性以及生产效率。
以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本实用新型的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本实用新型的思想，其同样应当视为本实用新型所公开的内容。
Claims (10)
1.一种间隙调整装置，其特征在于，该间隙调整装置包括厚度为t的感应片(20)，所述感应片(20)能够置于待调整的间隙中并能够感应形成该间隙的面对所述感应片(20)施加的力，所述间隙调整装置还包括与所述感应片(20)电连接且显示所述感应片(20)的感应结果的显示机构(21)。
2.根据权利要求1所述的间隙调整装置，其特征在于，所述显示机构(21)包括本体(210)和安装于所述本体(210)上的显示器(211)。
3.根据权利要求2所述的间隙调整装置，其特征在于，所述本体(210)的外表面上开设有安装孔(212)，所述感应片(20)插设在所述安装孔(212)中。
4.根据权利要求2所述的间隙调整装置，其特征在于，所述感应片(20)包括衬底(200)以及位于该衬底(200)的一个表面上的力敏电阻(201)，所述力敏电阻(201)与所述显示器(211)连接。
5.根据权利要求4所述的间隙调整装置，其特征在于，所述力敏电阻(201)和所述显示机构(21)通过金属引线(202)连接。
6.根据权利要求5所述的间隙调整装置，其特征在于，所述感应片(20)包括至少覆盖于所述力敏电阻(201)和所述金属引线(202)上的保护层(203)。
7.根据权利要求4所述的间隙调整装置，其特征在于，所述力敏电阻(201)为硒碲合金力敏电阻。
8.根据权利要求1所述的间隙调整装置，其特征在于，所述感应片(20)的厚度t为0.1-1mm。
9.根据权利要求4-7中任意一项所述的间隙调整装置，其特征在于，所述间隙调整装置包括检测所述感应片(20)是否受力的检测电路，该检测电路包括输入端与电源相连的电桥电路(213)、与所述电桥电路(213)的输出端相连的放大器(214)、与所述放大器(214)的输出端相连的DA转换器(215)以及与所述DA转换器(215)相连的显示器(211)，其中：所述电桥电路(213)包括所述力敏电阻(201)、第一固定电阻(2130)、第二固定电阻(2131)以及第三固定电阻(2132)，所述力敏电阻(201)、所述第一固定电阻(2130)、所述第二固定电阻(2131)以及所述第三固定电阻(2132)分别形成四个桥臂，所述电桥电路(213)的一个对角作为所述输入端，另一个对角作为所述输出端。
10.根据权利要求9所述的间隙调整装置，其特征在于，所述感应片(20)的厚度t为0.1-1mm。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720110903.4U Active CN206541088U (zh) | 2017-02-06 | 2017-02-06 | 间隙调整装置 |
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