CN206538472U - 一种多工位式连续式真空镀膜设备 - Google Patents

一种多工位式连续式真空镀膜设备 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种多工位式连续式真空镀膜设备,包括主真空罐、主密封门及能够推动主密封门的主驱动机构,该主真空罐具有第一入料口,该第一入料口能够通过主密封门密封,该主真空罐内设有旋转机构及若干个子真空罐,该若干个子真空罐绕旋转机构的转轴均布且能够随转轴的转动而转动,所述主真空罐内设有若干数量的子密封门及一扇分隔密封门,所述子密封门能够将对应位置的子真空罐进行密封,且分隔密封门能够与正对入料口的子真空罐密封从而能够将主真空罐内的空间与外界分隔开,且子密封门通过第一推动机构推动而与子真空罐密封,所述分隔密封门通过第二推动机构而与子真空罐密封。

Description

一种多工位式连续式真空镀膜设备
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜设备,特别是一种多工位式连续式真空镀膜设备。
背景技术
产品的真空镀膜需要经过多个工序,通常都是针对每一工序采用一种真空镀膜设备,该工序完成后将产品从该镀膜设备中取出,然后将产品放入下一镀膜设备。产品的取出要破真空,而产品的放入要抽真空,因而大大增加了产品的生产时间,从而相应增加了生产成本,因而本申请人设计了一种多工位式的连续式的真空镀膜设备,产品可在真空罐中一次顺序完成所有需要在真空中完成的工序,不仅大大节省生产时间,而且相应减少了成本。
发明内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种多工位式连续式真空镀膜设备。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种多工位式连续式真空镀膜设备,其特征在于:包括主真空罐、主密封门及能够推动主密封门的主驱动机构,该主真空罐具有第一入料口,该第一入料口能够通过主密封门密封,该主真空罐内设有旋转机构及若干个子真空罐,该若干个子真空罐绕旋转机构的转轴均布且能够随转轴的转动而转动,所述主真空罐内设有若干数量的子密封门及一扇分隔密封门,所述子密封门能够将对应位置的子真空罐进行密封,且分隔密封门能够与正对入料口的子真空罐密封从而能够将主真空罐内的空间与外界分隔开,且子密封门通过第一推动机构推动而与子真空罐密封,所述分隔密封门通过第二推动机构而与子真空罐密封,所述分隔密封门中设有第二入料口,所述主密封门上的夹具能够通过第二入料口而将待清洗的产品送入相应的子真空罐。
所述主密封门相对设有两扇,且通过滑轨设置于转盘上,所述主驱动机构设置于转盘上,所述转盘通过电机带动旋转。
所述主驱动机构为气缸。
所述第一推动机构及第二推动机构均为气缸。
所述旋转机构为分度器。
本实用新型的有益效果是:本实用新型公开了一种多工位式连续式真空镀膜设备,本装置在一个主真空罐里面有4个独立的小的子真空罐,各自完成不同的工艺,抽真空、离子清洗、镀膜、镀保护膜,上述过程中抽真空、离子清洗、镀膜、镀保护膜均可同时操作互不影响,因而大大节省生产时间,从而相应减少了成本。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的俯视示意图;
图2是本实用新型的另一俯视示意图;
图3是本实用新型的局部放大示意。
具体实施方式
参照图1至图3,本实用新型公开了一种多工位式连续式真空镀膜设备,包括主真空罐1、主密封门2及能够推动主密封门2的主驱动机构,该主真空罐1具有第一入料口3,该第一入料口3能够通过主密封门2密封,该主真空罐1内设有旋转机构及四个子真空罐,该四个子真空罐绕旋转机构的转轴均布且能够随转轴的转动而转动,所述主真空罐1内设有三扇子密封门及一扇分隔密封门4,所述子密封门能够将对应位置的子真空罐进行密封,且分隔密封门4能够与正对入料口的子真空罐密封从而能够将主真空罐1内的空间与外界分隔开,分隔密封门4中设有第二入料口,且分隔密封门4上连接有一横截面为方形管,该方形管的外侧壁与主真空罐1的第一入料口3的内壁间设有密封用的密封圈,且子密封门通过第一推动机构推动而与子真空罐密封,所述分隔密封门4通过第二推动机构而与子真空罐密封,且方形管能够随第一入料口3内滑动,所述分隔密封门4中设有第二入料口,该第二入料口与方形管连通,所述主密封门2上的夹具5能够通过第二入料口而将待清洗的产品送入相应的子真空罐。
如图所示,所述主密封门2相对设有两扇,且通过滑轨设置于转盘6上,所述主驱动机构设置于转盘6上,所述转盘6通过电机带动旋转。
所述主驱动机构(图中未显示出)为气缸。
所述第一推动机构(图中未显示出)及第二推动机构(图中未显示出)均为气缸。
所述旋转机构(图中未显示出)为分度器。
为了便于阐述原理,我们将四个子真空罐顺序编号为A罐11、B罐12、C罐13、D罐14;将三个子密封门顺序编号为A门21、B门22、C门23,A门21上设置有用于离子清洗的装置,B门22上设置有用于镀膜的装置,C门23上设置有用于镀保护膜的装置。
本设备的工作原理在于:当设备启动后,A罐11位于正对入料口的位置,此时主密封门2及分隔密封门4均打开,此时通过主密封门2带动前端的夹具5通过第一入料口3将产品送入A罐11的同时也将主真空罐1也密封,然后A罐11、B罐12、C罐13、D罐14及主真空罐1同时抽真空,抽真空完成后, 旋转机构带动上述子真空罐旋转九十度,A罐11与A门21正对,A门21通过气缸推动与A罐11密封,此时A罐11内的产品开始离子清洗,此时分隔密封门4与D罐14正对,且分隔密封门4与D罐14密封配合,从而将D罐14与主真空罐1分隔开,然后D罐14破真空,主密封门2退回而打开,分度器带动主密封门2旋转,将另一边装好产品的夹具5转过来,然后气缸推动该主密封门2移动而将主真空罐1密封,从而也将D罐14密封,对D罐14抽真空,当D罐14抽真空后,A罐11内的产品的离子清洗过程也完成,然后分隔密封门4及所有子密封门均打开,此时主真空罐1是密封真空状态的,因而所有子真空罐也是真空状态,此时旋转机构带动上述子真空罐旋转九十度,A罐11与B门22正对,D罐14与A门21正对,C罐13与分隔密封门4正对,然后分隔密封门4与C罐13密封配合,从而将C罐13与主真空罐1分隔开,C罐13破真空方便放入产品的同时主真空罐1一直处于真空状态,而同时A罐11内的产品正在镀膜;同时D罐14内的产品正在离子清洗;当上述完成后,主密封门2密封,而分隔密封门4与所有子密封门打开,旋转机构带动上述子真空罐旋转九十度,同理,此时B罐12放入产品,而C罐13处于离子清洗工序;D罐14处于镀膜工序;A罐11处于镀保护膜工序;然后按照上述过程重复循环。
上述抽真空的机构都为常规的技术制造和安装,因而不再详述其原理及结构。
以上对本实用新型实施例所提供的一种多工位式连续式真空镀膜设备,进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (5)

1.一种多工位式连续式真空镀膜设备,其特征在于:包括主真空罐、主密封门及能够推动主密封门的主驱动机构,该主真空罐具有第一入料口,该第一入料口能够通过主密封门密封,该主真空罐内设有旋转机构及若干个子真空罐,该若干个子真空罐绕旋转机构的转轴均布且能够随转轴的转动而转动,所述主真空罐内设有若干数量的子密封门及一扇分隔密封门,所述子密封门能够将对应位置的子真空罐进行密封,且分隔密封门能够与正对入料口的子真空罐密封从而能够将主真空罐内的空间与外界分隔开,且子密封门通过第一推动机构推动而与子真空罐密封,所述分隔密封门通过第二推动机构而与子真空罐密封,所述分隔密封门中设有第二入料口,所述主密封门上的夹具能够通过第二入料口而将待清洗的产品送入相应的子真空罐。
2.根据权利要求1所述的一种多工位式连续式真空镀膜设备,其特征在于:所述主密封门相对设有两扇,且通过滑轨设置于转盘上,所述主驱动机构设置于转盘上,所述转盘通过电机带动旋转。
3.根据权利要求1所述的一种多工位式连续式真空镀膜设备,其特征在于:所述主驱动机构为气缸。
4.根据权利要求1所述的一种多工位式连续式真空镀膜设备,其特征在于:所述第一推动机构及第二推动机构均为气缸。
5.根据权利要求1所述的一种多工位式连续式真空镀膜设备,其特征在于:所述旋转机构为分度器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110184590A (zh) * 2019-06-26 2019-08-30 苏州卫鹏机电科技有限公司 翻转滑动式腔门结构、等离子真空腔体及等离子处理设备

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