CN206505904U

CN206505904U - 晶边位置调整装置

Info

Publication number: CN206505904U
Application number: CN201720167709.XU
Authority: CN
Inventors: 张治俊; 汤敬计
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp; Semiconductor Manufacturing International Tianjin Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp; Semiconductor Manufacturing International Tianjin Corp
Priority date: 2017-02-23
Filing date: 2017-02-23
Publication date: 2017-09-19
Anticipated expiration: 2027-02-23

Abstract

本实用新型公开了一种晶边位置调整装置，至少一片晶圆放置于一承载盒中，包括：一支撑座，所述承载盒放置于所述支撑座上；一转动组件，所述转动组件安装在所述支撑座上，所述转动组件带动所述晶圆转动。本实用新型通过提供一具有转动组件的晶边位置调整装置，在进行晶边状况检查时，就不再需要操作人员通过手动去转动每片晶圆，而是通过所述转动组件带动所有晶圆的转动，操作人员可以一次性检查完一承载盒中的所有晶圆的晶边状况，这样可以大大提高操作人员的工作效率，并且，所述晶边位置调整装置操作简易、安全，可以避免因人为因素而导致承载盒或者晶圆滑落的风险。

Description

晶边位置调整装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种晶边位置调整装置。

背景技术

在半导体制造过程中，对于晶圆的检查非常普遍，也十分重要。通过对晶圆的检查能够及时发现半导体制造工艺中可能存在的问题，从而可以尽快加以解决，尽量防止半导体制造工艺中的缺漏对于产品的影响；此外，通过对晶圆的检查也能够防止缺陷产品流入市场，保证了产品质量。

在半导体制造过程中，针对晶圆的晶边状况(如：晶边颜色异常、晶边粗糙度异常、晶边存在小洞或晶边破损缺角等等)的检查，通常是操作人员通过目测去检查，如操作人员将每片晶圆的晶边手动转动360度来完成晶边状况的检查。另外，在有些特殊半导体工艺中，晶圆在进入下一流程之前，还需要操作人员手动对位晶圆的特殊位置(如平边)。

然而，目前行业内并无标准的辅助装置去协助产线人员调整晶圆的晶边位置，因此在半导体制造过程中，晶圆的晶边检查会给操作人员带来很多的不便，不仅非常费时费力，而且存在容易造成承载盒或者晶圆滑落等风险，大大降低了工作效率和安全性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种晶边位置调整装置，可以有效的协助操作人员调整晶圆的晶边位置，有利于操作人员更加快速便捷的完成晶圆的晶边检查过程，提高工作效率，增加良好的可靠性和安全性。

为解决上述技术问题及相关问题，本实用新型提供的晶边位置调整装置，至少一片晶圆放置于一承载盒中，包括：

一支撑座，所述承载盒放置于所述支撑座上；

一转动组件，所述转动组件安装在所述支撑座上，所述转动组件带动所述晶圆转动。

可选的，所述转动组件包括滚轮部件，所述滚轮部件安装在所述支撑座上，且位于所述晶圆的下方。

进一步的，所述承载盒具有一下开口，所述滚轮部件位于所述下开口的正下方。

可选的，所述滚轮部件包括至少一个主滚轮，且每个所述主滚轮中均嵌入一个可旋转的主螺杆。

可选的，所述滚轮部件还包括至少一个副滚轮，且每个所述副滚轮中均嵌入一个可旋转的副螺杆。

可选的，在所述晶边位置调整装置中，所述副滚轮转轴与所述主滚轮的转轴相互平行。

可选的，所述滚轮部件还包括至少一对滚珠轴承，所述滚珠轴承固定在所述支撑座上，且每个所述副螺杆的两端均插入所述滚珠轴承中。

进一步的，在所述晶边位置调整装置中，所述副滚轮的直径小于所述主滚轮的直径。

可选的，在所述晶边位置调整装置中，所述副滚轮在所述支撑座上的安装位置高于所述主滚轮在所述支撑座上的安装位置。

进一步的，所述滚轮部件包括一个所述主滚轮和两个所述副滚轮。

可选的，在所述晶边位置调整装置中，两个所述副滚轮分别位于所述主滚轮的两侧。

可选的，在所述晶边位置调整装置中，一个所述主滚轮和两个所述副滚轮贴合所述晶圆的晶边。

可选的，在所述晶边位置调整装置中，所述转动组件还包括一转动控制部件，所述转动控制部件与所述滚轮部件相连且控制所述滚轮部件的转动。

可选的，所述转动控制部件包括一旋转部件、一安装于所述旋转部件上的手柄、以及一分别连接所述主螺杆和所述旋转部件的连接件。

可选的，在所述晶边位置调整装置中，所述手柄通过一螺丝与所述旋转部件相连。

可选的，在所述晶边位置调整装置中，所述连接件为一销或者一螺丝。所述晶边位置调整装置。

进一步的，在所述晶边位置调整装置中，所述支撑座具有一凹槽，所述承载盒的下开口位于所述凹槽中，所述转动组件安装在所述凹槽内。

可选的，在所述晶边位置调整装置中，所述主螺杆的两端均穿过所述凹槽中相对立的两个侧面。

进一步的，在所述晶边位置调整装置中，所述副螺杆的两端均穿过所述相对立的两个侧面。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过提供一具有转动组件的晶边位置调整装置，所述转动组件可以带动晶圆转动。于是，在进行晶边状况检查时，就不再需要操作人员通过手动去转动每片晶圆，而是通过所述转动组件带动所有晶圆的转动，操作人员可以一次性检查完一承载盒中的所有晶圆的晶边状况，这样可以大大提高操作人员的工作效率，并且，所述晶边位置调整装置操作简易、安全，可以避免因人为因素而导致承载盒或者晶圆滑落的风险。

进一步的，所述晶边位置调整装置的转动组件包括滚轮部件，所述滚轮部件包括一个主滚轮和两个副滚轮，两个所述副滚轮位于所述主滚轮的两侧，且所述副滚轮的转轴与所述主滚轮的转轴相互平行，三者都贴合所述晶圆的晶边，即三者形成一个向下的圆弧面，模拟所述晶圆的晶边弧形。因一个所述主滚轮和两个所副滚轮组成的所述滚轮部件具有良好的旋转能力，使得所述转动组件带动所述晶圆旋转更加顺畅，且有利于保护所述晶圆的晶边；也能够进一步提高操作人员的工作效率和降低风险。

附图说明

图1为放置有晶圆的承载盒的示意图；

图2为本实用新型实施例中所述晶边位置调整装置的立体结构图；

图3为本实用新型实施例中所述晶边位置调整装置的俯视图；

图4为本实用新型实施例中所述晶边位置调整装置的前视图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型晶边位置调整装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型的核心思想在于，本实用新型提供的晶边位置调整装置，至少一片晶圆放置于一承载盒中，包括：

一支撑座，所述承载盒放置于所述支撑座上；

以下列举所述晶边位置调整装置的实施例，以清楚说明本实用新型的内容，应当明确的是，本实用新型的内容并不限制于以下实施例，其他通过本领域普通技术人员的常规技术手段的改进亦在本实用新型的思想范围之内。

请参阅图1至图4，其中，图1为放置有晶圆的承载盒(Cassette)的示意图，图2为本实施例中提供的一种晶边位置调整装置的立体结构图，图3为本实施例中所述晶边位置调整装置的俯视图，图4为本实施例中所述晶边位置调整装置的前视图，所述晶边位置调整装置用于调整晶圆的晶边位置，以便于检查晶边状况。如图1所示，至少一片晶圆2放置于一承载盒1中，较佳的，所述承载盒1具有一下开口A(传统的晶边状况检查过程为：操作人员对放置于承载盒1中的每片晶圆2的晶边手动转动360度来完成此检查，如图1中箭头所示)。所述晶边位置调整装置包括：一支撑座30，所述支撑座30用于承载所述承载盒1和晶圆2，因考虑到所述晶圆2和所述承载盒1具有一定的重量，所述支撑座30的材料应该选用耐压的材料，如可以为耐压的树脂材料或金属材料，所述支撑座30的具体结构可依据所述承载盒1的大小和形状(即实际需求)来设计。较佳的，在本实施例中，所述支撑座30可以为一长方体形状，为了进一步稳固所述承载盒1，增加所述晶边位置调整装置的可靠性和安全性，在所述支撑座30的中间设计一凹槽B，检查所述晶圆2的晶边状况时，将所述承载盒1的下开口A放置于所述凹槽B中。

进一步的，所述晶边位置调整装置还包括一转动组件，所述转动组件安装在所述支撑座30上，所述转动组件带动所述晶圆2转动；相应的，在本实施例中，所述转动组件安装于所述支撑座30的凹槽B中。所述转动组件需要要具有良好的旋转能力、能够灵活控制和操作，于是，在本实施例中，优选所述转动组件包括一滚轮部件，为了更好的实现晶边位置的调整，将所述滚轮部件设置于所述下开口A的正下方，所述滚轮部件包括至少一个主滚轮311，且每个所述主滚轮311中均嵌入一个可旋转的主螺杆310，为了使该装置更加牢固耐用，将所述主螺杆310的两端分别穿过所述凹槽B中相对立的两个侧面(如所述凹槽B中的前后两个面)。

较佳的，在本实施例中，为了使所述晶圆2转动的更加平稳和顺畅，所述滚轮部件还包括至少一个副滚轮331，且每个所述副滚轮331中均嵌入一个可旋转的副螺杆330。例如：所述滚轮部件包括一个所述主滚轮311和两个所述副滚轮331，两个所述副滚轮331分别位于所述主滚轮311的两侧，而且，为了使所述晶圆2的晶边受力方向一致，所述副滚轮331的转轴与所述主滚轮311的转轴相互平行，且所述副滚轮331在所述凹槽B中的安装位置要高于所述主滚轮311的安装位置，且使三者都贴合所述晶圆2的晶边，即三者形成一向下的圆弧面；进一步的，所述副滚轮331的直径小于所述主滚轮311的直径，有利于所述转动组件更加流畅的转动。而且，所述主滚轮311通过所述主螺杆310的转动带动其旋转，所述副滚轮331通过所述副螺杆330的转动带动其旋转；更进一步的，每个所述副螺杆330配置一对滚珠轴承332，所述滚珠轴承332固定在所述支撑座30上(具体的，所述滚珠轴承332固定在所述凹槽B的内侧面上)，且每个所述副螺杆330的两端均插入所述滚珠轴承332中，且所述副螺杆330的两端也穿过所述凹槽B中的前后两个面，所述滚珠轴承332可以带动所述副螺杆330的转动。

为了更加方便操作和控制所述转动组件，在本实施例中，所述转动组件还包括一转动控制部件32，所述转动控制部件32与所述滚轮部件相连且控制其转动，较佳的，所述转动控制部件32与所述主螺杆310的一端相连。

在本实施例中，所述转动控制部件32是用于控制所述主螺杆310转动的，为了便于操作，所述转动控制部件32安装于所述支撑座30的正面(即所述凹槽B的前面)，在本实施例中，所述转动控制部件32包括一旋转部件320、一安装于所述旋转部件320上的手柄321、以及一分别连接所述主螺杆310和所述旋转部件320的连接件322。较佳的，所述手柄321选择侧翼安装、采用内握的方式，能够增加使用中良好的可靠性和安全性；所述手柄321即可以顺时针旋转，也可以逆时针旋转，所述手柄321可以通过一内六角螺丝安装在所述旋转部件320上。所述旋转部件320用于承受所述手柄321的旋转力量以通过所述连接件322带动所述主螺杆310旋转。所述连接件322可以为销或者内六角螺丝，将所述旋转部件320和所述主螺杆310相连，所述连接件322起到连接和固定的作用。

这样，通过转动所述手柄321便可带动所述主螺杆310的转动，于是所述主滚轮311就会在所述主螺杆310的带动下进行旋转，以带动晶圆2转动；同时，所述滚珠轴承332可带动所述副螺杆330转动，从而带动所述副滚轮331的转动。因此，在本实施例中的所述晶边位置调整装置中，在所述主滚轮311和所述副滚轮331的共同作用下，所述承载盒1中所有的晶圆2会很稳定的一起进行转动，操作人员只需要控制所述手柄321，就能完成所有所述晶圆2的晶边状况的检查，操作简易方便，大大提高了操作人员的工作效率；并且也能够避免承载盒或者晶圆的滑落风险，增加了操作的可靠性和安全性；此外，所述晶边位置调整装置也可以满足调整所述晶圆2的特殊位置的需求。

综上，本实用新型通过提供一具有转动组件的晶边位置调整装置，所述转动组件可以带动晶圆转动。于是，在进行晶边状况检查时，就不再需要操作人员通过手动去转动每片晶圆，而是通过所述转动组件带动所有晶圆的转动，操作人员可以一次性检查完一承载盒中的所有晶圆的晶边状况，这样可以大大提高操作人员的工作效率，并且，所述晶边位置调整装置操作简易、安全，可以避免因人为因素而导致承载盒或者晶圆滑落的风险。

显然，在上述实施例中仅为本实用新型的较佳实施例而已，在上述晶边位置调整装置的基础上，还能够得出多种类似的晶边位置调整装置，以实现协助操作人员快速便捷的进行晶边位置的调整。因此，上述实施例并不用以限制本实用新型。本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种晶边位置调整装置，至少一片晶圆放置于一承载盒中，其特征在于，包括：

一支撑座，所述承载盒放置于所述支撑座上；

2.如权利要求1所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述转动组件包括一滚轮部件，所述滚轮部件安装在所述支撑座上，且位于所述晶圆的下方。

3.如权利要求2所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述承载盒具有一下开口，所述滚轮部件位于所述下开口的正下方。

4.如权利要求3所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述滚轮部件包括至少一个主滚轮，且每个所述主滚轮中均嵌入一个可旋转的主螺杆。

5.如权利要求4所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述滚轮部件还包括至少一个副滚轮，且每个所述副滚轮中均嵌入一个可旋转的副螺杆。

6.如权利要求5所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述副滚轮的转轴与所述主滚轮的转轴相互平行。

7.如权利要求5所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述滚轮部件还包括至少一对滚珠轴承，所述滚珠轴承固定在所述支撑座上，且每个所述副螺杆的两端均插入所述滚珠轴承中。

8.如权利要求5所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述副滚轮的直径小于所述主滚轮的直径。

9.如权利要求5所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述副滚轮在所述支撑座上的安装位置高于所述主滚轮在所述支撑座上的安装位置。

10.如权利要求5所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述滚轮部件包括一个所述主滚轮和两个所述副滚轮。

11.如权利要求10所述的晶边位置调整装置，其特征在于，两个所述副滚轮分别位于所述主滚轮的两侧。

12.如权利要求11所述的晶边位置调整装置，其特征在于，一个所述主滚轮和两个所述副滚轮贴合所述晶圆的晶边。

13.如权利要求4至12任意一项所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述转动组件还包括一转动控制部件，所述转动控制部件与所述滚轮部件相连且控制所述滚轮部件的转动。

14.如权利要求13所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述转动控制部件包括一旋转部件、一安装于所述旋转部件上的手柄、以及一分别连接所述主螺杆和所述旋转部件的连接件。

15.如权利要求14所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述手柄通过一螺丝与所述旋转部件相连。

16.如权利要求14所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述连接件为一销或者一螺丝。

17.如权利要求5至12任意一项所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述支撑座具有一凹槽，所述承载盒的下开口位于所述凹槽中，所述转动组件安装在所述凹槽内。

18.如权利要求17所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述主螺杆的两端均穿过所述凹槽中相对立的两个侧面。

19.如权利要求18所述的晶边位置调整装置，其特征在于，所述副螺杆的两端均穿过所述相对立的两个侧面。