CN206459545U - 一种硅片线切割设备的热交换器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片线切割设备的热交换器，包括前护板、后护板，所述前护板与后护板之间设有散热片，所述前护板上部设有热水入口和冷水出口，所述前护板下部设有冷水入口和热水出口，所述前后护板之间通过固定螺丝连接，所述冷水入口、热水出口、热水入口和冷水出口上分别设有温度传感器。本实用新型硅片线切割设备的热交换器，体积小，热交换有效面积大，热交换效率高，便于安装，温度传感器可随时检测进水和出水的温度，便于控制。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片线切割技术领域，特别涉及一种硅片线切割设备的热交换器。
背景技术
传统的硅片线切割设备的热交换器，如图1所示，为圆柱状热交换器，上面设有竖直设立的热交换孔，体积大，热交换有效面积小，热交换效率低且不便于安装。
实用新型内容
为解决现有技术和实际情况中存在的上述问题，本实用新型提供了一种硅片线切割设备的热交换器包括前护板、后护板，所述前护板与后护板之间设有散热片，所述前护板上部设有热水入口和冷水出口，所述前护板下部设有冷水入口和热水出口，所述前后护板之间通过固定螺丝连接，所述冷水入口、热水出口、热水入口和冷水出口上分别设有温度传感器。
本实用新型硅片线切割设备的热交换器，体积小，热交换有效面积大，热交换效率高，便于安装，温度传感器可随时检测进水和出水的温度，便于控制。
附图说明
图1是现有技术的圆柱状热交换器的结构示意图。
图2是本实用新型实施例的一种硅片线切割设备的热交换器的结构示意图。
具体实施方式
如图2所示，一种硅片线切割设备的热交换器，包括前护板3、后护板4，所述前护板3与后护板4之间设有散热片2，所述前护板3上部设有热水入口6和冷水出口5，所述前护板3下部设有冷水入口7和热水出口8，所述前后护3、4板之间通过螺栓9和螺母10连接，所述冷水入口7、热水出口8、热水入口6和冷水出口5上分别设有温度传感器。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种硅片线切割设备的热交换器，其特征在于，包括前护板、后护板，所述前护板与后护板之间设有散热片，所述前护板上部设有热水入口和冷水出口，所述前护板下部设有冷水入口和热水出口，所述前后护板之间通过固定螺丝连接，所述冷水入口、热水出口、热水入口和冷水出口上分别设有温度传感器。
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Publications (1)
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| CN206459545U true CN206459545U (zh) | 2017-09-01 |
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN206459545U (zh) |
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2017
- 2017-01-22 CN CN201720080512.2U patent/CN206459545U/zh active Active
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
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