CN206385274U - 一种单晶炉摄像机构安装支架结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶炉摄像机构安装支架结构，包括炉体固定装置、左右移动装置、上下移动装置、前后移动装置、旋转调节装置和摄像机构；炉体固定装置与炉体观察窗可拆卸连接，左右移动装置包设有左右移动装置卡块的括水平连接板；上下移动装置包括滑动连接的竖直连接板和前后移动装置连接板；前后移动装置包括第一前后移动装置和第二前后移动装置；旋转调节装置包括第一旋转调节装置和第二旋转调节装置；摄像机构包括第一摄像机和第二摄像机；本实用新型能够实现摄像机构多角度方位调整，保证摄像机构对准观察点以实时监控单晶生长状态；同时，本实用新型还具有模块化的特点，便于维护更换，同时适应于多种规格的观察窗。

Description

一种单晶炉摄像机构安装支架结构

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉摄像机构安装支架结构。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并使用直拉法生长无错位单晶的设备。现有的单晶炉主要由提拉头、副室、炉盖、炉筒、下炉筒、底座机架、坩埚下传动装置和热场等组成。热场包括压环、保温盖、保温罩、石墨坩埚、石英坩埚、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、螺栓等。单晶炉一般采用成像方法获得直径反馈信号，现有的炉盖上开设有观察窗，利用摄像头通过观察窗直接采集晶棒图像。现有的单晶炉往往采用双摄像头，一个长焦镜头聚焦在液面中心，用于控制籽晶生长，一个短焦镜头聚焦在晶棒外缘，控制晶棒生长。现有的单晶炉摄像机构往往通过简单的支架直接固定在炉盖上，而唯一的观察窗面积又较小，随着设备使用时间摄像机角度极易发生偏转垂落，导致摄像机角度无法对准观察点。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶炉摄像机构安装支架结构，能够实现摄像机构多角度方位调整，保证摄像机构对准观察点以实时监控单晶生长状态；同时，本实用新型还具有模块化的特点，便于维护更换，同时适应于多种规格的观察窗。

本实用新型采用下述技术方案：

一种单晶炉摄像机构安装支架结构，包括炉体固定装置、左右移动装置、上下移动装置、前后移动装置、旋转调节装置和摄像机构；

所述的炉体固定装置与炉体观察窗可拆卸连接，炉体固定装置上设置有左右移动装置连接块，左右移动装置连接块上开设有左右移动装置卡槽；

所述的左右移动装置包括水平连接板，水平连接板的下表面设置有与左右移动装置卡槽相匹配的左右移动装置卡块；水平连接板的上表面沿水平连接板的左右方向设置有左右移动滑槽，左右移动滑槽内滑动连接有左右移动滑块，左右移动滑块由左右移动驱动电机驱动，左右移动驱动电机设置在水平连接板上；

所述的上下移动装置包括滑动连接的竖直连接板和前后移动装置连接板，竖直连接板的前侧表面沿竖直连接板的上下方向设置有上下移动滑槽，前后移动装置连接板的后侧表面设置有上下移动滑块，上下移动滑块设置在上下移动滑槽内，前后移动装置连接板由上下移动驱动电机驱动，上下移动驱动电机设置在竖直连接板上；前后移动装置连接板的下侧表面沿前后移动装置连接板的前后方向分别设置有第一前后移动装置滑槽和第二前后移动装置滑槽；

所述的前后移动装置包括第一前后移动装置和第二前后移动装置，第一前后移动装置包括第一倒U形移动框和第二倒U形移动框，第一倒U形移动框的顶板的上表面设置有第一倒U形移动框移动块，第一倒U形移动框移动块设置在第一前后移动装置滑槽内，第一倒U形移动框由第一前后移动驱动电机驱动，第一倒U形移动框的两个侧板中部开设有第一旋转调节装置转轴孔；第二倒U形移动框的顶板的上表面设置有第二倒U形移动框移动块，第二倒U形移动框移动块设置在第二前后移动装置滑槽内，第二倒U形移动框由第二前后移动驱动电机驱动，第二倒U形移动框的两个侧板中部开设有第二旋转调节装置转轴孔；第一前后移动驱动电机和第二前后移动驱动电机均设置在前后移动装置连接板上；

所述的旋转调节装置包括第一旋转调节装置和第二旋转调节装置；第一旋转调节装置包括第一摄像机安装座，第一摄像机安装座的左右两侧均设置有第一旋转调节装置转轴，第一旋转调节装置转轴设置于第一旋转调节装置转轴孔内，第一旋转调节装置由第一旋转调节电机驱动，第一旋转调节电机的输出轴与第一旋转调节装置转轴同轴连接；第二旋转调节装置包括第二摄像机安装座，第二摄像机安装座的左右两侧均设置有第二旋转调节装置转轴，第二旋转调节装置转轴设置于第二旋转调节装置转轴孔内，第二旋转调节装置由第二旋转调节电机驱动，第二旋转调节电机的输出轴与第二旋转调节装置转轴同轴连接；

所述的摄像机构包括第一摄像机和第二摄像机，第一摄像机可拆卸设置在第一摄像机安装座内，第二摄像机可拆卸设置在第二摄像机安装座内。

炉体固定装置包括铰接的第一弧形夹板和第二弧形夹板，第一弧形夹板的铰接端侧面中部开设有水平槽，第二弧形夹板的铰接端设置有铰接板，铰接板位于水平槽内，第一弧形夹板的活动端和第二弧形夹板的活动端均设置有固定板，固定板上设置有螺栓，左右移动装置连接块设置于第一弧形夹板的铰接端上表面。

第一弧形夹板和第二弧形夹板的内表面均设置有橡胶层。

左右移动装置连接块为倒T形连接块，左右移动装置卡槽为倒T形卡槽。

水平连接板两端均设置有挡板，每个挡板上均设置有轴承，左右移动驱动电机采用丝杠步进电机，丝杠步进电机的螺杆穿过左右移动滑块且两端位于轴承内，丝杠步进电机的外部驱动螺母与左右移动滑块固定。

上下移动驱动电机采用丝杠步进电机。

第一倒U形移动框移动块和第二倒U形移动框移动块为T形移动块， 第一前后移动装置滑槽和第二前后移动装置滑槽为T形滑槽。

第一前后移动驱动电机和第二前后移动驱动电机均采用丝杠步进电机。

第一旋转调节装置转轴通过轴承设置于第一旋转调节装置转轴孔内，第二旋转调节装置转轴通过轴承设置于第二旋转调节装置转轴孔内，第一旋转调节电机和第二旋转调节电机均采用步进式旋转电机。

第一摄像机安装座和第二摄像机安装座上均设置有摄像机连接线穿孔。

本实用新型在使用时，能够实现第一摄像机和第二摄像机在前后、左右、上下及倾角的调整，保证摄像机构对准观察点以实时监控单晶生长状态。本实用新型中，炉体固定装置与炉体观察窗可拆卸连接，便于安装或拆卸。左右移动装置可通过左右移动装置卡块与左右移动装置卡槽实现与炉体固定装置的可拆卸连接，与竖直连接板固定的左右移动滑块也能够与左右移动滑槽内可拆卸连接，竖直连接板与前后移动装置连接板也能够通过上下移动滑槽和上下移动滑块实现可拆卸连接；前后移动装置中的第一倒U形移动框可通过第一倒U形移动框移动块和第一前后移动装置滑槽实现与前后移动装置连接板的可拆卸连接，前后移动装置中的第二倒U形移动框可通过第二倒U形移动框移动块和第二前后移动装置滑槽实现与前后移动装置连接板的可拆卸连接，第一摄像机可拆卸设置在第一摄像机安装座内，第二摄像机可拆卸设置在第二摄像机安装座内。上述设计保证了本实用新型的模块话设计，便于组装拆卸，当某模块发生故障是进行更换对应模块即可，降低使用成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为炉体固定装置的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本实用新型作以详细的描述：

如图1和图2所示，本实用新型所述的单晶炉摄像机构安装支架结构，包括炉体固定装置、左右移动装置、上下移动装置、前后移动装置、旋转调节装置和摄像机构。

所述的炉体固定装置与炉体观察窗可拆卸连接，便于安装或拆卸，且能够适应于不同规格的观察窗。炉体固定装置上设置有左右移动装置连接块1，左右移动装置连接块1上开设有左右移动装置卡槽。

由于现有炉体上设置的观察窗外壳多为圆柱形，因此在本实施例中，炉体固定装置包括铰接的第一弧形夹板2和第二弧形夹板3，第一弧形夹板2的铰接端侧面中部开设有水平槽4，第二弧形夹板3的铰接端设置有铰接板5，铰接板5位于水平槽4内，第一弧形夹板2的活动端和第二弧形夹板3的活动端均设置有固定板6，固定板6上设置有螺栓7。使用者可通过第一弧形夹板2和第二弧形夹板3夹紧观察窗外壳，然后利用螺栓7将第一弧形夹板2和第二弧形夹板3的固定板6进行连接，达到紧固的目的。为了保证炉体固定装置与观察窗外壳的可靠连接，本实施例中第一弧形夹板2和第二弧形夹板3的内表面均设置有橡胶层，既能起到防滑作用，同时也可达到隔热效果。左右移动装置连接块1可设置于第一弧形夹板2的铰接端上表面。

所述的左右移动装置包括水平连接板8，水平连接板8的下表面设置有与左右移动装置卡槽相匹配的左右移动装置卡块9；左右移动装置可通过左右移动装置卡块9与左右移动装置卡槽实现与炉体固定装置的可拆卸连接。本实施例中，左右移动装置连接块1可采用倒T形连接块，左右移动装置卡槽采用相匹配的倒T形卡槽，保证卡接的可靠性。水平连接板8的上表面沿水平连接板8的左右方向设置有左右移动滑槽10，左右移动滑槽10内滑动连接有左右移动滑块11，左右移动滑块11由左右移动驱动电机驱动在左右移动滑槽10内实现往复运动，左右移动驱动电机设置在水平连接板8上。

本实施例中，水平连接板8两端均设置有挡板12，每个挡板12上均设置有轴承，左右移动驱动电机采用丝杠步进电机13，丝杠步进电机13的螺杆14穿过左右移动滑块11且螺杆14两端位于轴承内，丝杠步进电机13的外部驱动螺母与左右移动滑块11固定。当丝杠步进电机13的螺杆14转动时，将驱动与丝杠步进电机13的外部驱动螺母固定的左右移动滑块11往复运动，带动上下移动装置、前后移动装置、旋转调节装置和摄像机构实现左右往复运动。

上下移动装置包括滑动连接的竖直连接板15和前后移动装置连接板16，竖直连接板15的前侧表面沿竖直连接板15的上下方向设置有上下移动滑槽17，前后移动装置连接板16的后侧表面设置有上下移动滑块18，上下移动滑块18设置在上下移动滑槽17内，前后移动装置连接板16由上下移动驱动电机19驱动沿上下移动滑槽17往复运动。上下移动驱动电机19设置在竖直连接板15上，上下移动驱动电机19可采用丝杠步进电机。前后移动装置连接板16的下侧表面沿前后移动装置连接板16的前后方向分别设置有第一前后移动装置滑槽和第二前后移动装置滑槽。

所述的前后移动装置包括第一前后移动装置和第二前后移动装置，第一前后移动装置包括第一倒U形移动框20和第二倒U形移动框21，第一倒U形移动框20的顶板的上表面设置有第一倒U形移动框移动块22，第一倒U形移动框移动块22设置在第一前后移动装置滑槽内，第一倒U形移动框20由第一前后移动驱动电机23驱动。第二倒U形移动框21的顶板的上表面设置有第二倒U形移动框移动块24，第二倒U形移动框移动块24设置在第二前后移动装置滑槽内，第二倒U形移动框21由第二前后移动驱动电机25驱动。本实施例中，第一倒U形移动框移动块22和第二倒U形移动框移动块24均为T形移动块， 第一前后移动装置滑槽和第二前后移动装置滑槽均为相匹配的T形滑槽，能够保证第一前后移动装置和第二前后移动装置在倒置的情况下不发生脱落。第一前后移动驱动电机23和第二前后移动驱动电机25均采用丝杠步进电机，第一前后移动驱动电机23和第二前后移动驱动电机25均设置在前后移动装置连接板16上。第一倒U形移动框20和第二倒U形移动框21能够在第一前后移动驱动电机23和第二前后移动驱动电机25的作用下，分别沿第一前后移动装置滑槽和第二前后移动装置滑槽前后往复运动。

第一倒U形移动框20的两个侧板中部开设有第一旋转调节装置转轴孔，第二倒U形移动框21的两个侧板中部开设有第二旋转调节装置转轴孔。

所述的旋转调节装置包括第一旋转调节装置和第二旋转调节装置；第一旋转调节装置包括第一摄像机安装座26，第一摄像机安装座26的左右两侧均设置有第一旋转调节装置转轴27，第一旋转调节装置转轴27设置于第一旋转调节装置转轴孔内，第一旋转调节装置由第一旋转调节电机28驱动，第一旋转调节电机28的输出轴与第一旋转调节装置转轴27同轴连接；第二旋转调节装置包括第二摄像机安装座29，第二摄像机安装座29的左右两侧均设置有第二旋转调节装置转轴30，第二旋转调节装置转轴30设置于第二旋转调节装置转轴孔内，第二旋转调节装置由第二旋转调节电机31驱动，第二旋转调节电机31的输出轴与第二旋转调节装置转轴30同轴连接。本实施例中，第一旋转调节装置转轴27通过轴承设置于第一旋转调节装置转轴孔内，第二旋转调节装置转轴30通过轴承设置于第二旋转调节装置转轴孔内，第一旋转调节电机28和第二旋转调节电机31均采用步进式旋转电机。第一旋转调节电机28的输出轴能够带动第一旋转调节装置转轴27转动，从而通过第一旋转调节装置转轴27带动第一摄像机安装座26实现在第一旋转调节装置转轴27圆周方向的旋转，第二旋转调节电机31的输出轴能够带动第二旋转调节装置转轴30转动，从而通过第二旋转调节装置转轴30带动第二摄像机安装座29实现在第二旋转调节装置转轴30圆周方向的旋转。

所述的摄像机构包括第一摄像机32和第二摄像机33，第一摄像机32可拆卸设置在第一摄像机安装座26内，第二摄像机33可拆卸设置在第二摄像机安装座29内。为了便于连线，第一摄像机安装座26和第二摄像机安装座29上均设置有摄像机连接线穿孔。

本实用新型在使用时，能够实现第一摄像机32和第二摄像机33在前后、左右、上下及倾角的调整，保证摄像机构对准观察点以实时监控单晶生长状态。本实用新型中，炉体固定装置与炉体观察窗可拆卸连接，便于安装或拆卸。左右移动装置可通过左右移动装置卡块9与左右移动装置卡槽实现与炉体固定装置的可拆卸连接，与竖直连接板15固定的左右移动滑块11也能够与左右移动滑槽10内可拆卸连接，竖直连接板15与前后移动装置连接板16也能够通过上下移动滑槽17和上下移动滑块18实现可拆卸连接；前后移动装置中的第一倒U形移动框20可通过第一倒U形移动框移动块22和第一前后移动装置滑槽实现与前后移动装置连接板16的可拆卸连接，前后移动装置中的第二倒U形移动框21可通过第二倒U形移动框移动块24和第二前后移动装置滑槽实现与前后移动装置连接板16的可拆卸连接，第一摄像机可拆卸设置在第一摄像机安装座26内，第二摄像机可拆卸设置在第二摄像机安装座29内。上述设计保证了本实用新型的模块话设计，便于组装拆卸，当某模块发生故障是进行更换对应模块即可，降低使用成本。

Claims (10)

1.一种单晶炉摄像机构安装支架结构，其特征在于：包括炉体固定装置、左右移动装置、上下移动装置、前后移动装置、旋转调节装置和摄像机构；

所述的炉体固定装置与炉体观察窗可拆卸连接，炉体固定装置上设置有左右移动装置连接块，左右移动装置连接块上开设有左右移动装置卡槽；

所述的左右移动装置包括水平连接板，水平连接板的下表面设置有与左右移动装置卡槽相匹配的左右移动装置卡块；水平连接板的上表面沿水平连接板的左右方向设置有左右移动滑槽，左右移动滑槽内滑动连接有左右移动滑块，左右移动滑块由左右移动驱动电机驱动，左右移动驱动电机设置在水平连接板上；

所述的上下移动装置包括滑动连接的竖直连接板和前后移动装置连接板，竖直连接板的前侧表面沿竖直连接板的上下方向设置有上下移动滑槽，前后移动装置连接板的后侧表面设置有上下移动滑块，上下移动滑块设置在上下移动滑槽内，前后移动装置连接板由上下移动驱动电机驱动，上下移动驱动电机设置在竖直连接板上；前后移动装置连接板的下侧表面沿前后移动装置连接板的前后方向分别设置有第一前后移动装置滑槽和第二前后移动装置滑槽；

所述的前后移动装置包括第一前后移动装置和第二前后移动装置，第一前后移动装置包括第一倒U形移动框和第二倒U形移动框，第一倒U形移动框的顶板的上表面设置有第一倒U形移动框移动块，第一倒U形移动框移动块设置在第一前后移动装置滑槽内，第一倒U形移动框由第一前后移动驱动电机驱动，第一倒U形移动框的两个侧板中部开设有第一旋转调节装置转轴孔；第二倒U形移动框的顶板的上表面设置有第二倒U形移动框移动块，第二倒U形移动框移动块设置在第二前后移动装置滑槽内，第二倒U形移动框由第二前后移动驱动电机驱动，第二倒U形移动框的两个侧板中部开设有第二旋转调节装置转轴孔；第一前后移动驱动电机和第二前后移动驱动电机均设置在前后移动装置连接板上；

所述的旋转调节装置包括第一旋转调节装置和第二旋转调节装置；第一旋转调节装置包括第一摄像机安装座，第一摄像机安装座的左右两侧均设置有第一旋转调节装置转轴，第一旋转调节装置转轴设置于第一旋转调节装置转轴孔内，第一旋转调节装置由第一旋转调节电机驱动，第一旋转调节电机的输出轴与第一旋转调节装置转轴同轴连接；第二旋转调节装置包括第二摄像机安装座，第二摄像机安装座的左右两侧均设置有第二旋转调节装置转轴，第二旋转调节装置转轴设置于第二旋转调节装置转轴孔内，第二旋转调节装置由第二旋转调节电机驱动，第二旋转调节电机的输出轴与第二旋转调节装置转轴同轴连接；

所述的摄像机构包括第一摄像机和第二摄像机，第一摄像机可拆卸设置在第一摄像机安装座内，第二摄像机可拆卸设置在第二摄像机安装座内。

2.根据权利要求1所述的单晶炉摄像机构安装支架结构，其特征在于：炉体固定装置包括铰接的第一弧形夹板和第二弧形夹板，第一弧形夹板的铰接端侧面中部开设有水平槽，第二弧形夹板的铰接端设置有铰接板，铰接板位于水平槽内，第一弧形夹板的活动端和第二弧形夹板的活动端均设置有固定板，固定板上设置有螺栓，左右移动装置连接块设置于第一弧形夹板的铰接端上表面。

3.根据权利要求2所述的单晶炉摄像机构安装支架结构，其特征在于：第一弧形夹板和第二弧形夹板的内表面均设置有橡胶层。

4.根据权利要求1所述的单晶炉摄像机构安装支架结构，其特征在于：左右移动装置连接块为倒T形连接块，左右移动装置卡槽为倒T形卡槽。

5. 根据权利要求1所述的单晶炉摄像机构安装支架结构，其特征在于： 水平连接板两端均设置有挡板，每个挡板上均设置有轴承，左右移动驱动电机采用丝杠步进电机，丝杠步进电机的螺杆穿过左右移动滑块且两端位于轴承内，丝杠步进电机的外部驱动螺母与左右移动滑块固定。

6.根据权利要求1所述的单晶炉摄像机构安装支架结构，其特征在于：上下移动驱动电机采用丝杠步进电机。

7.根据权利要求1所述的单晶炉摄像机构安装支架结构，其特征在于：第一倒U形移动框移动块和第二倒U形移动框移动块为T形移动块， 第一前后移动装置滑槽和第二前后移动装置滑槽为T形滑槽。

8.根据权利要求1所述的单晶炉摄像机构安装支架结构，其特征在于：第一前后移动驱动电机和第二前后移动驱动电机均采用丝杠步进电机。

9.根据权利要求1所述的单晶炉摄像机构安装支架结构，其特征在于：第一旋转调节装置转轴通过轴承设置于第一旋转调节装置转轴孔内，第二旋转调节装置转轴通过轴承设置于第二旋转调节装置转轴孔内，第一旋转调节电机和第二旋转调节电机均采用步进式旋转电机。

10.根据权利要求1所述的单晶炉摄像机构安装支架结构，其特征在于：第一摄像机安装座和第二摄像机安装座上均设置有摄像机连接线穿孔。