CN206330925U - 硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置 - Google Patents
硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206330925U CN206330925U CN201621474423.8U CN201621474423U CN206330925U CN 206330925 U CN206330925 U CN 206330925U CN 201621474423 U CN201621474423 U CN 201621474423U CN 206330925 U CN206330925 U CN 206330925U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sliding beam
- mass defect
- fixed seat
- silicon rod
- sliding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 31
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 24
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 24
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 230000001788 irregular Effects 0.000 title claims abstract description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 15
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 5
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012372 quality testing Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置，其包括底座、物料固定座、固定杆、导向机构、滑动梁和质量缺陷探测仪，在底座顶部固定设有物料固定座，在物料固定座两侧的底座顶部分别固定设有一根竖直设置的固定杆；在两个导向机构之间上下滑动设有滑动梁，在滑动梁外部滑动设有滑动块，质量缺陷探测仪的检测探头侧部与滑动块固定连接；在滑动梁上方固定设有与滑动梁平行设置的刻度尺，在滑动块上固定设有指针。优点：刻度尺与滑动梁始终平行，且指针与检测针的中心线在一条直线上，通过读取指针在刻度尺上所指刻度即可直接得知缺陷位置，读数方便，避免人工测量所造成的读数误差，提高测量的准确性。
Description
技术领域：
本实用新型涉及硅棒质量检测技术领域，具体地说涉及一种硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置。
背景技术：
改良西门子法是生产多晶硅的主流方法，其生产周期约为100小时左右，在生产过程中轻微的问题都可能使硅产品产生质量缺陷带，影响多晶硅电性能指标。为判断产生质量缺陷带的原因，需要对质量缺陷位置进行准确测量，但是，由改良西门子法生产的多晶硅棒产品长度一般在2m以上，无法对整根硅棒进行质量检测，因此，需要用碳化钨锤将多晶硅破碎成小块硅料，再用质量缺陷探测仪对硅料截面进行检测。在检测过程中，需要一只手握着缺陷探测仪的检测探头对截面进行检测，当检测到某点存在质量缺陷时，另一只手握直尺测量缺陷点到硅料边缘的距离，以判定质量缺陷点发生的位置；但是，由于多晶硅的硬脆性，破碎的硅料截面会形成不规则的截断面，在使用直尺测量质量缺陷位置时，视线很难与所测位置垂直，常存在较大的误差，同一位置不同检测人员读数差别高达2mm，影响质量缺陷原因的判定。
实用新型内容：
本实用新型的目的在于提供一种提高测量的准确性的硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置。
本实用新型由如下技术方案实施：硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置，其包括底座、物料固定座、固定杆、导向机构、滑动梁和质量缺陷探测仪，在所述底座顶部固定设有所述物料固定座，在所述物料固定座两侧的所述底座顶部分别固定设有一根竖直设置的固定杆；在每根所述固定杆与所述物料固定座相邻的一侧下部均水平固定设有一块支撑板，在每块所述支撑板顶部均固定设有一个所述导向机构；在两个所述导向机构之间上下滑动设有所述滑动梁，在所述滑动梁外部滑动设有滑动块，所述质量缺陷探测仪的检测探头侧部与所述滑动块固定连接；在所述滑动梁上方固定设有与所述滑动梁平行设置的刻度尺，在所述滑动块上固定设有指针，所述指针的中心线与所述检测针的中心线在一条直线上。
进一步的，所述物料固定座包括四块竖直设置的挡板，四块所述挡板依次首尾相接呈口字型结构；在任意三块所述挡板上均垂直螺接有至少两个螺栓；没有螺接所述螺栓的所述挡板相对于所述刻度尺垂直设置，且其内壁与所述刻度尺上的零刻度线在一个平面上。
进一步的，所述导向机构包括套管和弹簧，在所述套管管壁上开设有与所述固定杆相对设置的两个长孔，所述滑动梁两端分别穿过相邻的两个所述长孔，在所述滑动梁下方的所述套管内设有所述弹簧。
进一步的，在两根所述固定杆相对的侧壁上沿纵向开设有限位槽，所述滑动梁两端分别滑动设置在相邻的所述限位槽内。
本实用新型的优点：刻度尺与滑动梁始终平行，且指针与检测针的中心线在一条直线上，通过读取指针在刻度尺上所指刻度即可直接得知缺陷位置，读数方便，避免人工测量所造成的读数误差，提高测量的准确性。
附图说明：
图1为本实用新型的整体结构示意图。
图2为图1的A-A剖视图。
底座1、物料固定座2、挡板2-1、螺栓2-2、固定杆3、限位槽3-1、导向机构4、套管4-1、长孔4-1-1、弹簧4-2、滑动梁5、质量缺陷探测仪6、检测探头6-1、检测针6-1-1、支撑板7、滑动块8、刻度尺9、指针10。
具体实施方式：
如图1和图2所示，硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置，其包括底座1、物料固定座2、固定杆3、导向机构4、滑动梁5和质量缺陷探测仪6，质量缺陷探测仪6可以是电阻检测装置或射线检测装置，目前正在使用的是苏州晶格电子有限公司生产的M-3手持式电阻率测试仪，用于测试单晶硅电阻；在底座1顶部固定设有物料固定座2，物料固定座2包括四块竖直设置的挡板2-1，四块挡板2-1依次首尾相接呈口字型结构；在任意三块挡板2-1上均垂直螺接有两个螺栓2-2；通过调节各个螺栓2-2在对应挡板2-1上的螺接位置可以使物料固定座2适用于固定不同尺寸的硅棒；且通过螺栓2-2夹持硅棒来代替人工扶持，可以解决测试过程中因硅棒发生倾斜而引起读数不准确的问题；没有螺接螺栓2-2的挡板2-1相对于刻度尺9垂直设置，且其内壁与刻度尺9上的零刻度线在一个平面上；
在物料固定座2两侧的底座1顶部分别固定设有一根竖直设置的固定杆3；在两根固定杆3相对的侧壁上沿纵向开设有限位槽3-1，滑动梁5两端分别滑动设置在相邻的限位槽3-1内；在每根固定杆3与物料固定座2相邻的一侧下部均水平固定设有一块支撑板7，在每块支撑板7顶部均固定设有一个导向机构4；在两个导向机构4之间上下滑动设有滑动梁5，导向机构4包括套管4-1和弹簧4-2，在套管4-1管壁上开设有与固定杆3相对设置的两个长孔4-1-1，滑动梁5两端分别穿过相邻的两个长孔4-1-1，在滑动梁5下方的套管4-1内设有弹簧4-2；弹簧4-2对滑动梁5有一向上的力，在向滑动梁5施加向下的压力时，弹簧4-2压缩蓄力；当在对滑动梁5施加的下压力消除时，弹簧4-2会给予滑动梁5一个向上的反作用力，使滑动梁5恢复至原位置；
在滑动梁5外部滑动设有沿滑动梁5长度方向滑动设置滑动块8，滑动块8呈C型；质量缺陷探测仪6的检测探头6-1侧部与滑动块8固定连接，且检测探头6-1的检测针6-1-1向下设置，滑动块8沿滑动梁5移动的同时可带动检测探头6-1与滑动块8同向移动；在滑动梁5上方固定设有与滑动梁5平行设置的刻度尺9，在滑动块8上固定设有指针10，指针10的中心线与检测针6-1-1的中心线在一条直线上；在检测探头6-1的检测针6-1-1沿着硅棒表明移动检测过程中，若质量缺陷探测仪6显示硅棒存在质量缺陷时，通过读取指针10所指刻度尺9上的读数即可获取质量缺陷位置。
使用说明：首先，将待测硅棒待测面向上放入物料固定座2，使待测硅棒侧部与未螺接螺栓2-2的挡板2-1相切，确保待测硅棒垂直后；然后，调节其余三个挡板2-1上的螺栓2-2，来确保待测硅棒竖直立设在物料固定座2内，防止待测硅棒晃动；接着，下压滑动梁5直至检测针6-1-1与待测面接触，停止下压滑动梁5；最后，推动滑动块8由待测面一端项另一端移动进行检测，当质量缺陷探测仪6显示被侧位置存在质量缺陷后，直接读取并记录指针10在刻度尺9上所指读数即可。
本申请除了可以用于检测硅料不规则截面之外，同样适用于其他刚性棒状不规则截面的检测；以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置，其特征在于，其包括底座、物料固定座、固定杆、导向机构、滑动梁和质量缺陷探测仪，在所述底座顶部固定设有所述物料固定座，在所述物料固定座两侧的所述底座顶部分别固定设有一根竖直设置的所述固定杆；在每根所述固定杆与所述物料固定座相邻的一侧下部均水平固定设有一块支撑板，在每块所述支撑板顶部均固定设有一个所述导向机构；在两个所述导向机构之间上下滑动设有所述滑动梁，在所述滑动梁外部滑动设有滑动块，所述质量缺陷探测仪的检测探头侧部与所述滑动块固定连接；在所述滑动梁上方固定设有与所述滑动梁平行设置的刻度尺，在所述滑动块上固定设有指针，所述指针的中心线与所述检测探头检测针的中心线在一条直线上。
2.根据权利要求1所述的硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置，其特征在于，所述物料固定座包括四块竖直设置的挡板，四块所述挡板依次首尾相接呈口字型结构；在任意三块所述挡板上均垂直螺接有至少两个螺栓；没有螺接所述螺栓的所述挡板相对于所述刻度尺垂直设置，且其内壁与所述刻度尺上的零刻度线在一个平面上。
3.根据权利要求1所述的硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置，其特征在于，所述导向机构包括套管和弹簧，在所述套管管壁上开设有与所述固定杆相对设置的两个长孔，所述滑动梁两端分别穿过相邻的两个所述长孔，在所述滑动梁下方的所述套管内设有所述弹簧。
4.根据权利要求3所述的硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置，其特征在于，在两根所述固定杆相对的侧壁上沿纵向开设有限位槽，所述滑动梁两端分别滑动设置在相邻的所述限位槽内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621474423.8U CN206330925U (zh) | 2016-12-29 | 2016-12-29 | 硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621474423.8U CN206330925U (zh) | 2016-12-29 | 2016-12-29 | 硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206330925U true CN206330925U (zh) | 2017-07-14 |
Family
ID=59293915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201621474423.8U Expired - Fee Related CN206330925U (zh) | 2016-12-29 | 2016-12-29 | 硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206330925U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108196029A (zh) * | 2018-03-02 | 2018-06-22 | 绵阳金泰机械设备制造有限公司 | 一种金属零件缺陷检测系统及修复方法 |
| CN115825352A (zh) * | 2022-12-09 | 2023-03-21 | 南京博克纳自动化系统有限公司 | 一种探伤检测设备 |
| CN116165340A (zh) * | 2022-12-28 | 2023-05-26 | 杭州中为光电技术有限公司 | 一种硅棒在线检测系统及检测方法 |
-
2016
- 2016-12-29 CN CN201621474423.8U patent/CN206330925U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108196029A (zh) * | 2018-03-02 | 2018-06-22 | 绵阳金泰机械设备制造有限公司 | 一种金属零件缺陷检测系统及修复方法 |
| CN115825352A (zh) * | 2022-12-09 | 2023-03-21 | 南京博克纳自动化系统有限公司 | 一种探伤检测设备 |
| CN115825352B (zh) * | 2022-12-09 | 2024-03-26 | 南京博克纳自动化系统有限公司 | 一种探伤检测设备 |
| CN116165340A (zh) * | 2022-12-28 | 2023-05-26 | 杭州中为光电技术有限公司 | 一种硅棒在线检测系统及检测方法 |
| CN116165340B (zh) * | 2022-12-28 | 2023-09-29 | 杭州中为光电技术有限公司 | 一种硅棒在线检测系统及检测方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN206330925U (zh) | 硅棒不规则截断面质量缺陷位置检测装置 | |
| CN202002786U (zh) | 桥梁挠度测试用仪器 | |
| CN203642896U (zh) | 线位移传感器在线校准夹具 | |
| CN201993210U (zh) | 一种桥梁挠度测试用下拉式仪表支架 | |
| CN207717524U (zh) | 一种混凝土抗折试验机 | |
| CN104154844A (zh) | 特殊扣油套管的内螺纹密封面直径测量装置及其测量方法 | |
| CN209231362U (zh) | 一种简易水流流速流向试验测量装置 | |
| CN106500561A (zh) | 齿轮综合跳动检查仪 | |
| CN201237496Y (zh) | 一种电阻应变式直径测量装置 | |
| CN105547554B (zh) | 一种用于测量小型螺旋翼升力和扭矩的装置及方法 | |
| CN104457565A (zh) | 一种缺陷尺寸测量装置和方法 | |
| CN103284406B (zh) | 勾心纵向刚度检测方法 | |
| CN105737718A (zh) | 一种工件孔与机床导轨平行度检测装置 | |
| CN204007433U (zh) | 特殊扣油套管的内螺纹密封面直径测量装置 | |
| CN206862815U (zh) | 非金属硬度计多功能校准夹具 | |
| CN105388215A (zh) | 一种钢板超声波检测缺陷位置记录装置 | |
| CN105277166A (zh) | 一种立式轨道垂直度和平面度的测量装置及其测量方法 | |
| CN205102763U (zh) | 一种平面度检测治具 | |
| CN213599976U (zh) | 一种检测构件外形尺寸的卡尺 | |
| CN211824199U (zh) | 一种带孔工件内径的检测装置 | |
| CN208505199U (zh) | 瓶口内径检测仪 | |
| CN208313228U (zh) | 一种便携式管道外径测量装置 | |
| CN209446051U (zh) | Gps静态测高仪 | |
| CN105319234A (zh) | 一种单缝衍射测量金属线膨胀系数的装置 | |
| CN219589750U (zh) | 一种便于固定的超声波流量计 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20170714 |