CN206156322U - 一种多晶硅片用夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅片用夹具，包括：圆形支架、抽气管和吸盘，所述抽气管安装在所述圆形支架上；所述圆形支架顶端设有圆孔，所述抽气管贯穿所述圆孔，所述抽气管外壁设有齿条，所述圆孔上端安装有电机，所述电机上安装有齿轮；所述吸盘与所述抽气管相连接，所述吸盘安装在所述抽气管底端；所述圆形支架侧面安装有若干勾爪。通过上述方式，本实用新型一种多晶硅片用夹具，该夹具能够有效的将加工时的多晶硅片进行黏吸，防止了普通机械夹持件会对多晶硅片夹持造成多晶硅片的损坏。

Description

一种多晶硅片用夹具

技术领域

本实用新型涉及太阳能设备领域，具体涉及一种多晶硅片用夹具。

背景技术

现在随着科技的发展，使得在一些装置上常常会用到太阳能多晶硅片，由于多晶硅片能够在极小的面积上，集成数千万的晶体管，工程精细极高，特别是在现在的微电子技术领域，航空航天、工业、农业以及商业上也被广泛应用。

对于现在生产太阳能多晶硅片的方法中，常常需要对多晶硅片在生产时进行转移进行进一步加工，但是现在转移多晶硅片的夹具过于粗糙，仅仅是通过机械的夹持件进行夹持转移，这样会对多晶硅片的内部结构造成进一步的损害，损坏率高，不仅会增加成本，还会使得制备的工期受到影响。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种多晶硅片用夹具。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：一种多晶硅片用夹具，包括：圆形支架、抽气管和吸盘，所述抽气管安装在所述圆形支架上；

所述圆形支架顶端设有圆孔，所述抽气管贯穿所述圆孔，所述抽气管外壁设有齿条，所述圆孔上端安装有电机，所述电机上安装有齿轮；

所述吸盘与所述抽气管相连接，所述吸盘安装在所述抽气管底端；

所述圆形支架侧面安装有若干勾爪。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述齿条与所述齿轮相配合。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述勾爪内侧设有一层橡胶层。

本实用新型的有益效果是：本实用新型一种多晶硅片用夹具，该夹具能够有效的将加工时的多晶硅片进行黏吸，防止了普通机械夹持件会对多晶硅片夹持造成多晶硅片的损坏。

附图说明

图1是本实用新型一种多晶硅片用夹具的结构示意图。

附图中各部件的标记如下：1、圆形支架；2、抽气管；3、吸盘；4、圆孔；5、齿条；6、电机；7、齿轮；8、勾爪；9、橡胶层。

具体实施方式

请参阅图1，本实用新型实施例包括：一种多晶硅片用夹具，包括：圆形支架1、抽气管2和吸盘3，所述抽气管2安装在所述圆形支架1上；

所述圆形支架1顶端设有圆孔4，所述抽气管2贯穿所述圆孔4，所述圆孔4用于所述抽气管2的通过。

所述抽气管2外壁设有齿条5，所述圆孔4上端安装有电机6，所述电机6上安装有齿轮7，所述齿条5与所述齿轮7相配合，使得所述抽气管2可以上下的移动，从而将被所述吸盘3吸住的多晶硅片提起。

所述吸盘3与所述抽气管2相连接，所述吸盘3安装在所述抽气管2底端，所述抽气管2通过对所述吸盘3和多晶硅片上表面形成的空间内抽气，从而将多晶硅片吸起。

所述圆形支架1侧面安装有若干勾爪8，所述勾爪8用于对吸起的多晶硅片侧面进行夹紧固定。

所述勾爪8内侧设有一层橡胶层9，所述橡胶层9可以避免所述勾爪8对多晶硅片夹持造成多晶硅片的损坏。

与现有技术相比，本实用新型一种多晶硅片用夹具，该夹具能够有效的将加工时的多晶硅片进行黏吸，防止了普通机械夹持件会对多晶硅片夹持造成多晶硅片的损坏。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (3)

1.一种多晶硅片用夹具，其特征在于，包括：圆形支架、抽气管和吸盘，所述抽气管安装在所述圆形支架上；

所述圆形支架顶端设有圆孔，所述抽气管贯穿所述圆孔，所述抽气管外壁设有齿条，所述圆孔上端安装有电机，所述电机上安装有齿轮；

所述吸盘与所述抽气管相连接，所述吸盘安装在所述抽气管底端；

所述圆形支架侧面安装有若干勾爪。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片用夹具，其特征在于：所述齿条与所述齿轮相配合。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片用夹具，其特征在于：所述勾爪内侧设有一层橡胶层。