CN202695414U - 一种真空吸笔 - Google Patents
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Abstract
一种真空吸笔,涉及太阳能电池片生产的技术领域,尤其涉及取放硅片的辅助工具,包括吸管和吸盘,吸管的一端管壁上设置气孔,所述吸管与吸盘之间通过软管连接,所述气孔设置在吸管连接软管的一端。本实用新型的吸盘与吸管之间通过软管进行软连接,当吸笔吸住硅片与石墨舟或石英舟接触时,软管部分会卸掉相当大一部分作用力,而硅片本身承受的作用力就会很小,能够降低碎片,提高产品合格率。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片生产的技术领域,尤其涉及取放硅片的辅助工具。
背景技术
随着经济建设的快速发展,微电子技术得到了迅猛地发展,在硅片制造业中,最重要的就是产品合格率。由于硅片很薄、很脆弱、很精密,在生产、搬运、包装的过程中,如果用手直接拿硅片,易破片,并且硅片表面留下手指印或灰尘造成污染,表面的绒面结构容易被破坏,影响硅片的性能。为了避免这种情况,采用真空吸笔,但现有的真空吸笔采用硬连接,当吸笔吸住硅片在石墨舟和石英舟取放时,碰到舟的作用力过大就容易造成硅片破碎,导致产品报废率较高。
发明内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种可降低碎片的真空吸笔。
本实用新型的目的是这样实现的:一种真空吸笔,包括吸管和吸盘,吸管的一端管壁上设置气孔,所述吸管与吸盘之间通过软管连接,所述气孔设置在吸管连接软管的一端。
本实用新型的吸盘与吸管之间通过软管进行软连接,当吸笔吸住硅片与石墨舟或石英舟接触时,软管部分会卸掉相当大一部分作用力,而硅片本身承受的作用力就会很小,能够降低碎片,提高产品合格率。
附图说明
图1为本实用新型的一种结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,为真空吸笔,包括吸管1和吸盘4,吸管1与吸盘4之间通过软管3连接,吸管1连接软管3的一端管壁上设置气孔2。
Claims (1)
1.一种真空吸笔,包括吸管和吸盘,吸管的一端管壁上设置气孔,其特征在于:所述吸管与吸盘之间通过软管连接,所述气孔设置在吸管连接软管的一端。
Priority Applications (1)
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CN 201220302907 CN202695414U (zh) | 2012-06-27 | 2012-06-27 | 一种真空吸笔 |
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CN 201220302907 CN202695414U (zh) | 2012-06-27 | 2012-06-27 | 一种真空吸笔 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
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2012
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GR01 | Patent grant | ||
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