CN206114535U - 一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统 - Google Patents
一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统，所述系统包括发射垂直激光束的半导体激光器、微悬臂梁阵列、光电探测器、计算机。本实用新型利用介质阻挡放电产生的不同梯度的等离子体对高分子微悬臂梁阵列进行修饰，根据修饰后的微悬臂梁阵列的变化情况，可以实现对其表面上不同生化信息进行高速度、高灵敏度、稳定性等进行实时检测。本实用新型结构简单，操作方便，激光器发出的光照射到不同梯度的等离子体修饰的微悬臂梁阵列尖端上，激光束发出的光射到微悬臂梁上后被光电探测器接收，计算机计算和处理光电探测器上的输出信号。该系统实现经过不同梯度等离子体修饰后的微梁对不同待测物质的实时检测，灵敏度高，效率高，检测物质的性质及其变化规律，使微悬臂梁的应用更加广泛。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种检测系统，更具体地涉及一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统。
背景技术
微悬臂梁是MEMS中一个应用非常广泛的结构，微悬臂梁传感检测技术是在原子力显微镜(AFM)和微机电系统(MEMS)出现后迅速发展起来的一种新的传感方法，微梁传感器利用微梁表面上发生的反应，根据微梁表面应力发生的改变以及微梁产生弯曲变形的参数进行实时测量，具有使用便捷、高灵敏度、无需标记等优点，在生物医疗领域、化学领域等具有重大应用前景。
近三十年来，低温等离子体技术发展很快，在机械工业领域也得到了广泛的应用。形成低温等离子体的方法很多，常用的方法有直接辉光放电、射频辉光放电、微波辉光放电等。等离子体技术在高分子材料上的应用广泛，具有省能源，无公害，能满足节能和环保的需求，时间短，效率高的优点，在近几年来，人们对它的兴趣越来越浓，在理论研究、实验方法、生产实践上都有很大的进展。
在公开号(201520045745.X)中，采用的是单根微悬臂梁，不能更清晰的显示出经改性修饰的微悬臂梁与不经改性修饰的微悬臂梁的区别。目前，这项传感技术向着大尺度、高通量、平行阵列等方向发展，这就需要至少检测两根微梁的响应信号。因此有必要开发一种易于观察梯度变化、操作简单的微悬臂梁阵列检测系统。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对现有检测系统存在的技术问题，提出了一种不仅可以用等离子体修饰而且可以检测不同梯度下微梁变化规律的基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统。
本实用新型拟采用以下技术方案：
一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统，其特征是所述系统包括激光器(1)、微悬臂梁阵列(2)、等离子体出口喷枪(3)、光电探测器(4)、计算机(5)、支撑台(6)。激光器(1)发出的光照射到经不同梯度的等离子体修饰的微悬臂梁尖端上，经微悬臂梁尖端反射后被光电探测器(4)接收，传输给计算机(5)，经计算机(5)进行记录和处理，显示在计算机屏幕上。所述激光器是波长为632nm-780nm的半导体激光器。光电探测器，所述光电探测器为位置敏感传感器PSD。微悬臂梁阵列，所述微悬臂梁阵列为高分子材料特制梁，利用不同梯度的等离子体对微梁阵列进行修饰。
有益效果：
本实用新型系统光路结构简单，容易搭建。
采用微悬臂梁阵列进行扫描，检测系统灵敏度高，扫描速度快，处理效率高。
等离子体是由交流高电压介质阻挡放电产生，调节电极电压可以改变不同梯度的等离子体。高分子微悬臂梁阵列用不同梯度的等离子体修饰，可以检测出在不同梯度下微悬臂梁的变化规律，可以用于检测高分子材料有何性质特点。
本实用新型操作简单，方便实用。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为微悬臂梁阵列结构示意图。
其中，(1)激光器，(2)微悬臂梁阵列，(3)等离子体出口喷枪，(4)光电探测器，(5)计算机，(6)支撑台。
具体实施方式
下面结合图1、图2来进一步说明本实用新型的技术方案。图1、图2所示的一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统，所述检测系统由激光器(1)，微悬臂梁阵列(2)，等离子体出口喷枪(3)，光电探测器(4)，计算机(5)，支撑台(6)构成，其特征是激光器(1)发出的光照射到经不同梯度的等离子体修饰后的每根微悬臂梁自由尖端上，经微悬臂梁反射后被光电探测器(4)接收，计算机(5)记录和处理光电探测器(4)上的输出信号，并且在计算机屏幕上显示结果，便于观察。
其特征2是：不同梯度的等离子体修饰每根微悬臂梁自由端位置一致，使用同一激光束对微悬臂梁阵列进行扫描，保证微悬臂梁阵列上每根微悬臂梁光斑一致。
其特征3是：调节电极电压，等离子体出口喷枪(3)发射出不同梯度的等离子体，不同梯度的等离子体修饰，可以检测出在不同梯度下微悬臂梁阵列的变化规律，可以用于检测高分子材料有何性质特点，操作简单，灵敏度高，效率高。
Claims (3)
1.一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统，由激光器(1)，微悬臂梁阵列(2)，等离子体出口喷枪(3)，光电探测器(4)，计算机(5)，支撑台(6)构成，其特征是激光器(1)发出的光照射到经不同梯度的等离子体修饰后的每根微悬臂梁自由尖端上，经微悬臂梁反射被光电探测器(4)接收，计算机(5)记录和处理光电探测器(4)上的输出信号，并在计算机屏幕上显示结果，便于观察。
2.根据权利要求1所述的一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统，其特征是调节电极电压，等离子体出口喷枪(3)发射出不同梯度的等离子体，可以检测出在不同梯度下微悬臂梁阵列的变化规律，可以用于检测高分子材料有何性质特点，操作简单，灵敏度高，效率高。
3.根据权利要求1所述的一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统，其特征是不同梯度的等离子体修饰每根微悬臂梁自由端位置一致，使用同一激光束对微悬臂梁阵列进行扫描，保证微悬臂梁阵列上每根微悬臂梁光斑一致。
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| CN201621062995.5U CN206114535U (zh) | 2016-09-19 | 2016-09-19 | 一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统 |
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| CN (1) | CN206114535U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110207868A (zh) * | 2019-06-19 | 2019-09-06 | 安徽理工大学 | 一种基于微悬臂阵列传感技术的微纳光控致动器的制备及检测方法 |
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2016
- 2016-09-19 CN CN201621062995.5U patent/CN206114535U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN110207868A (zh) * | 2019-06-19 | 2019-09-06 | 安徽理工大学 | 一种基于微悬臂阵列传感技术的微纳光控致动器的制备及检测方法 |
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