CN206098367U - 传输装置和蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种传输装置，包括传输台和分离机构，所述传输台上设置有粘性层，所述粘性层包括用于粘附基板的粘性表面；所述分离机构用于将粘附在所述粘性层上的基板与所述粘性层分离；所述传输装置还包括设置在所述分离机构上的至少一个作用力检测器件，所述作用力检测器件用于检测所述基板与所述粘性层分离时所述基板与所述分离机构之间的作用力。相应地，本实用新型还提供一种蒸镀设备。本实用新型能够便于操作人员确定何时更换粘性层。

Description

传输装置和蒸镀设备

技术领域

本实用新型涉及显示装置的制造领域，具体涉及一种传输装置和蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(OLED)的主流制备工艺是蒸镀工艺，为了提高膜厚的均匀性，目前的蒸镀方式为：利用基板承载机构固定好基板，与掩膜板对位后，匀速经过各个装有不同材料的蒸镀源上方，以在基板上形成有机发光器件。大尺寸蒸镀设备一般采用使基板待形成有机发光器件的表面朝下的方式进行传送，为了克服大尺寸基板的重量和自身的弯曲量等因素，在承载机构上帖附粘性垫，从而粘住基板进行基板传输，在完成蒸镀工艺后再将基板与粘性垫分离。

但是，在将基板与粘性垫分离过程中，粘性垫上很容易沉积颗粒物等杂质，影响粘性衬垫的粘性，一旦粘性垫粘性降低，容易造成粘结基板传输过程中基片掉落而破损。因此，需要过一段时间对粘性垫统一进行更换，但是，更换衬垫的间隔时间无法确定，如果间隔时间过长，导致破片风险太高；如果间隔时间过短，又浪费了成本。

因此，如何确定更换粘性垫的时间成为本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种传输装置和蒸镀设备，以便于操作人员确定何时更换衬垫，从而降低破片风险同时降低成本。

为了解决上述技术问题之一，本实用新型提供一种传输装置，包括传输台和分离机构，所述传输台上设置有粘性层，所述粘性层包括用于粘附基板的粘性表面；所述分离机构用于将粘附在所述粘性层上的基板与所述粘性层分离；所述传输装置还包括设置在所述分离机构上的至少一个作用力检测器件，所述作用力检测器件用于检测所述基板与所述粘性层分离时所述基板与所述分离机构之间的作用力。

优选地，所述粘性层包括多个彼此间隔的粘性垫；

所述分离机构包括多个分离部，每个分离部均对应至少一个所述粘性垫，所述分离部用于将所述基板与相应的粘性垫分离；

每个所述分离部上均设置有所述作用力检测器件。

优选地，所述分离部为柱状结构，所述传输台上设置有与所述分离部一一对应的通孔，所述分离部能够在相应的通孔内升降，以向粘附在所述粘性垫上的基板施压直至所述基板与所述相应的粘性垫分离；

所述作用力检测器件包括压力传感器，所述压力传感器设置在所述分离部的用于朝向所述基板的一端。

优选地，所述粘性垫为条状，所述传输台上对应于所述粘性垫两端的位置均设置有所述通孔，每个分离部所对应的粘性垫包括与所述分离部所对应的通孔相邻的粘性垫。

优选地，所述分离部的用于朝向所述基板的一端还设置有缓冲层，所述作用力检测器件设置在所述缓冲层和所述分离部之间。

优选地，所述分离机构还包括基底，多个所述分离部均设置在所述基底上。

优选地，所述传输台包括粘结区，所述粘结区用于与所述基板的非显示区对应，所述通孔和所述粘性垫均位于所述粘结区。

优选地，所述传输装置还包括：

控制器，所述控制器与每个所述作用力检测器件均电连接，用于在所述粘性层多次与基板分离时，获取并记录每个作用力检测器件多次所测得的作用力，并在至少一个作用力检测器件连续预定次测得与所述粘性层对应的作用力逐渐减小或逐渐增大时，生成报警控制信号；

报警器，与所述控制器相连，用于根据所述报警控制信号发出报警信号。

优选地，所述控制器还用于获取每个作用力检测器件的位置，并在任意一个作用力检测器件连续预定次测得的作用力逐渐减小或逐渐增大时，生成与该作用力检测器件的位置相对应的位置提醒信号。

相应地，本实用新型还提供一种蒸镀设备，包括上述传输装置。

本实用新型的传输装置中，所述分离机构每次将基板与粘性层分离时，作用力检测器件能够检测到基板与分离机构之间的压力，从而根据所述作用力判断粘性层的粘性是否异常，以进一步判断是否要更换新的粘性层，因此，通过作用力检测器件能够确定何时需要更换粘性层；并且，分离机构的每个分离部上均设置有作用力检测器件，从而可以根据每个作用力检测器件测得的作用力判断异常位置，从而有针对性地对异常位置处的粘性垫进行更换，进而节省时间，降低成本。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的实施例中提供的传输装置的结构示意图；

图2是本实用新型的实施例中贴附有基板的传输台的示意图

图3是本实用新型的实施例中传输台的仰视图；

图4是本实用新型的实施例中分离机构、作用力检测器件和缓冲层的结构示意图；

图5是本实用新型的实施例中传输装置的工作过程示意图。

其中，附图标记为：

10、传输台；11、通孔；12、粘结区；13、非粘结区；20、基板；30、分离机构；31、分离部；32、基底；40、作用力检测器件；41、导线；50、粘性层；51、粘性垫；60、缓冲层。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

本实用新型提供一种传输装置，用于传输基板20。如图1所示，所述传输装置包括传输台10、分离机构30和设置在分离机构30上的至少一个作用力检测器件40。传输台10上设置有粘性层50，粘性层50包括用于粘附基板20的粘性表面。分离机构30用于将粘附在所述粘性层上的基板20与粘性层50分离。作用力检测器件40用于检测基板20与粘性层50分离时基板20与分离机构30之间的作用力。

所述传输装置尤其适用于生产显示装置的蒸镀设备中，在蒸镀时，基板20通过粘性层50固定在传输台10的下表面，传输台10带动基板20在各个蒸镀源上方传输，而分离机构30可以设置在预定的分离位置；蒸镀结束后，传输台10到达所述分离位置，从而通过分离机构30将基板20与粘性层50分离。随着粘性层50与基板20分离次数的增加，粘性层50的粘性表面上沉积的杂质也会相应增多，从而使得粘性层50的粘性降低，而本实用新型中，分离机构30上的作用力检测器件40能够检测出基板20与粘性层50分离时的作用力，该作用力越大，则表明粘性层50的粘性越大；作用力越小，则表明粘性层50的粘性越小；因此，操作人员可以根据作用力检测器件40检测到的作用力确定何时更换粘性层50，以防止更换粘性层50的间隔时间过长而导致的基板20掉落，并防止更换粘性层50时间过短而导致的成本增加，从而在降低破片风险的同时减低生产成本。

为了判断作用力检测器件40检测的作用力是否异常，以根据该作用力判断是否需要更换粘性层50，在实际生产中，可以预先通过实验的方式确定一个标准作用力范围，即，当前一张基板20在与粘性层50分离时，基板20与粘性层50之间的作用力在该标准作用力范围时，下一张基板20不会因为粘性过小而掉落，也不会因为粘性过大而在分离时破损。当作用力检测器件50检测到的作用力超出该标准作用力范围时，表明检测到的作用力异常，即粘性层50的粘性异常，此时需要更换粘性层50。或者，也可以通过数据分析的方式确定粘性层50是否需要更换，具体地，可以记录作用力检测器件40记录的多次作用力，当作用力检测器件40连续N次检测到的作用力(N的值也可以预先设置)逐渐降低或逐渐增加时，表明粘性层50的粘性有异常的趋势，这时，需要对粘性层50进行更换。

其中，如图1至图3所示，粘性层50包括多个彼此间隔的粘性垫51。这时，如图1和图4所示，分离机构30可以包括多个分离部31，每个分离部31均对应至少一个粘性垫51，分离部31用于将基板20与相应的粘性垫51分离。每个分离部31上均设置有作用力检测器件40。因此，当任意一个作用力检测器件40检测到的作用力出现异常时，可以对所有的粘性垫51统一更换，以保证基板20不会掉落；也可以仅更换该作用力检测器件40所在的分离部31所对应的粘性垫51，其他粘性垫51不更换，以节省时间并降低成本。

分离部31可以采用不同的结构和方式使基板20与粘性层50分离，作为本实用新型的一种具体实施方式，结合图1至图4所示，分离部31为柱状结构，传输台10上设置有与分离部31一一对应的通孔11，分离部31能够在相应的通孔11内升降，以向粘附在粘性垫51上的基板20施压直至基板20与相应的粘性垫51分离。作用力检测器件40包括压力传感器，所述压力传感器设置在分离部31的用于朝向基板20的一端，以在将基板20与粘性层50分离时，检测基板20与分离部31之间的压力。所述压力传感器具体可以采用诸如欧姆龙E8F2等高精度传感器。

进一步具体地，如图3所示，粘性垫51为条状，传输台10上对应于粘性垫51两端的位置均设置有通孔11，每个分离部31所对应的粘性垫51包括与该分离部31所对应的通孔11相邻的粘性垫51。例如，在图3所示的传输台10上，每相邻两个粘性垫51之间均设置有一个通孔11，即每个通孔11与两个或三个粘性垫51相邻，也即，每个分离部31穿过相应的通孔11时与两个或三个粘性垫51相邻，这时，当其中一个分离部31上的压力传感器检测到的压力异常时，为了降低生产成本，可以将与该分离部31相邻的两个或三个粘性垫51更换掉。应当理解的是，某一粘性垫51与某一个通孔11“相邻”是指，该粘性垫51与该通孔11之间没有其他的通孔11或粘性垫51。当然，粘性垫51也可以为其他形状，粘性垫51和通孔11也可以按照其他方式进行分布，只要可以根据其他分布方式确定分离部31对应的粘性垫51，从而在作用力检测器件40检测到异常的作用力时，可以确定需要更换的粘性垫51即可。

进一步地，如图1和图4所示，分离部31的用于朝向基板20的一端还设置有缓冲层60，作用力检测器件40设置在缓冲层60和分离部31之间。缓冲层60可以为具有一定弹性的橡胶或树脂等材料制成，从而在分离部31向基板20施压时，防止对基板20造成损伤。

进一步地，如图1和图4所示，分离机构30还包括基底32，多个分离部31均设置在基底32上。通过基底32的升降，带动多个分离部31同时升降，以使得基板20的不同位置同时与粘性层50分离，防止破片。

如上文所述，所述传输装置尤其适用于生产显示装置的蒸镀设备中，相应地，基板20包括显示区和非显示区。为了防止基板20的显示区在传输过程中受到损伤而影响显示装置的显示效果，优选地，如图3所示，传输台10包括粘结区12，所述粘结区12用于与基板20的非显示区对应，如图3中，虚线框内为与基板20的显示区对应的非粘结区13，虚线框外为粘结区12。通孔11和粘性垫51均位于粘结区12，从而使得粘性垫51和分离部31仅与基板20的非显示区接触，而不会对基板20的显示区造成损伤。

进一步地，所述传输装置还包括控制器和报警器(图中未示出)。所述控制器与每个作用力检测器件40均电连接，用于在粘性层50多次与基板20分离时，获取并记录每个作用力检测器件40多次所测得的作用力，并在至少一个作用力检测器件40连续预定次测得与粘性层50对应的作用力逐渐减小或逐渐增大时，生成报警控制信号。所述报警器与所述控制器相连，用于根据所述报警控制信号发出报警信号，从而提醒操作人员对粘性层50进行更换。其中，可以通过实验的方式得到所述预定次具体为多少次，即，当连续N次测得的作用力逐渐减小或增大时，传输台10传输的第N+1个基板20很容易发生掉落，或者在将第N+1个基板20与粘性层50分离时，基板20很容易发生破损，这时，所述预定次可以为N次。本实用新型中，所述控制器可以采用三菱Fx系列的PLC控制器。

需要说明的是，上述“记录每个作用力检测器件40多次所测得的作用力”以及“作用力检测器件40连续预定次测得与粘性层50对应的作用力”均是针对同一个传输台10上的粘性层50而言的，“多次所测得的作用力”是指，对于同一个粘性层50而言，该粘性层50连续多次与基板20分离时所产生的作用力。在实际生产中，为了提高生产效率，所述传输装置通常包括多个传输台10，多个传输台10依次到达分离机构30所在的位置，从而利用同一个分离机构30对多个传输台10上的基板20进行分离动作。这时，为了区分出不同粘性层50与基板20分离时所产生的作用力，可以对每个传输台10预先进行编号，从而使得控制器获取每一个粘性层50与基板20多次分离时，作用力检测器件40相应检测到的多个作用力。

如上所述，还可以根据作用力检测器件40所检测到的作用力与预设的标准作用力范围进行对比，以判断粘性层50的粘性是否异常。相应地，控制器用于将每个作用力检测器件40所测得的作用力均与所述标准作用力范围进行比较，并在至少一个作用力检测器件40检测到的作用力超出所述标准作用力范围时，生成所述报警控制信号，从而使得报警器根据所述报警控制信号发出所述报警信号，进而提醒操作人员对粘性垫进行更换。

如图4中所示，每个作用力检测器件40通过导线41与控制器相连，为了便于分离部31在通孔11中的升降，可以将导线41设置在分离部31内部；当然，也可以将导线41设置在分离部31外部；或者不设置导线，而通过无线的方式进行信号传输。

进一步地，所述控制器还用于获取每个作用力检测器件40的位置，并在任意一个作用力检测器件40连续预定次测得的作用力逐渐减小或逐渐增大时，生成与该作用力检测器件40的位置相对应的位置提醒信号，以使得操作人员根据该位置提醒信息确定超过作用力发生异常的作用力检测器件40的位置，从而对相应的粘性垫51进行更换。作用力检测器件40的位置可以为相应分离部31所穿过的通孔11在传输台10上的坐标位置，也可以为作用力检测器件40的编号，只要可以判断出具体是哪一个作用力检测器件40检测到的作用力发生异常即可。所述位置提醒信号可以是在显示屏上显示的文字信息，或者是通过播放器所播放的声音信息，也可以为其他信息，只要操作人员能够根据该位置提醒信号确定是哪一个作用力检测器件40检测到的作用力发生异常即可。

下面结合图1和图5介绍所述传输装置的工作过程。对于任意一个传输台10而言：

S1、该传输台10带动基板20进行传输。

S2、当传输台10到达分离机构30所在位置时，分离机构30的多个分离部31一一穿过传输台10上相应的通孔10，以将基板20顶起，同时，控制器获取并记录每个压力传感器的位置及测得的压力。

S3、控制器判断每个压力传感器的压力是否异常。当至少一个压力传感器检测到的压力异常时，进行步骤S4；否则，进行步骤S5。第一种判断方式：当压力传感器测得连续预定次测得的压力为逐渐减小或逐渐增大时，判定压力出现异常，并获取异常位置；否则，判定压力为正常。第二种判断方式：当前压力超出标准压力范围时，判定压力出现异常，并获取异常位置；否则，判定压力为正常。

S4、控制器生成报警控制信号和位置提醒信号；报警器发出报警信号以提醒操作人员。此时，操作人员可以根据所述位置提醒信号对相应位置的粘性垫进行更换，或者对该传输台上的所有粘性垫均进行更换。

S5、不更换粘性层，继续使用该传输台10。

作为本实用新型的另一方面，还提供一种蒸镀设备，包括上述传输装置。所述蒸镀设备还包括多个蒸镀源，传输装置用于带动所述基板在多个蒸镀源上方传输。

通过以上描述可以看出，本实用新型的传输装置中，分离机构每次将基板与粘性层分离时，作用力检测器件能够检测到基板与分离机构之间的压力，从而根据所述作用力判断粘性层的粘性是否异常，以进一步判断是否要更换新的粘性层，因此，通过作用力检测器件能够确定何时需要更换粘性层；并且，分离机构的每个分离部上均设置有作用力检测器件，从而可以根据每个作用力检测器件测得的作用力判断异常位置，从而有针对性地对异常位置处的粘性垫进行更换，进而节省时间，降低成本。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种传输装置，包括传输台和分离机构，所述传输台上设置有粘性层，所述粘性层包括用于粘附基板的粘性表面；所述分离机构用于将粘附在所述粘性层上的基板与所述粘性层分离；其特征在于，

所述传输装置还包括设置在所述分离机构上的至少一个作用力检测器件，所述作用力检测器件用于检测所述基板与所述粘性层分离时所述基板与所述分离机构之间的作用力。

2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述粘性层包括多个彼此间隔的粘性垫；

所述分离机构包括多个分离部，每个分离部均对应至少一个所述粘性垫，所述分离部用于将所述基板与相应的粘性垫分离；

每个所述分离部上均设置有所述作用力检测器件。

3.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述分离部为柱状结构，所述传输台上设置有与所述分离部一一对应的通孔，所述分离部能够在相应的通孔内升降，以向粘附在所述粘性垫上的基板施压直至所述基板与所述相应的粘性垫分离；

所述作用力检测器件包括压力传感器，所述压力传感器设置在所述分离部的用于朝向所述基板的一端。

4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述粘性垫为条状，所述传输台上对应于所述粘性垫两端的位置均设置有所述通孔，每个分离部所对应的粘性垫包括与所述分离部所对应的通孔相邻的粘性垫。

5.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述分离部的用于朝向所述基板的一端还设置有缓冲层，所述作用力检测器件设置在所述缓冲层和所述分离部之间。

6.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述分离机构还包括基底，多个所述分离部均设置在所述基底上。

7.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述传输台包括粘结区，所述粘结区用于与所述基板的非显示区对应，所述通孔和所述粘性垫均位于所述粘结区。

8.根据权利要求2至7中任意一项所述的传输装置，其特征在于，所述传输装置还包括：

控制器，所述控制器与每个所述作用力检测器件均电连接，用于在所述粘性层多次与基板分离时，获取并记录每个作用力检测器件多次所测得的作用力，并在至少一个作用力检测器件连续预定次测得与所述粘性层对应的作用力逐渐减小或逐渐增大时，生成报警控制信号；

报警器，与所述控制器相连，用于根据所述报警控制信号发出报警信号。

9.根据权利要求8所述的传输装置，其特征在于，所述控制器还用于获取每个作用力检测器件的位置，并在任意一个作用力检测器件连续预定次测得的作用力逐渐减小或逐渐增大时，生成与该作用力检测器件的位置相对应的位置提醒信号。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任意一项所述的传输装置。