CN206074511U - 一种动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置 - Google Patents

Abstract

一种动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置，结构为：抽气装置的第一复合分子泵的出气端与第二复合分子泵的进气端连接；第二复合分子泵的出气端连接机械泵的进气端；复合分子泵与前级阀之间连接有电阻规；气体校准的进气装置的超高真空针阀的进气端依次通过气体质量流量计、进气阀、储气罐和减压阀连接气瓶的出气端；流导的流导与超高真空截止阀并联连接，流导构成超高真空截止阀的旁通管路，流导的两端与超高真空截止阀的两端分别对应连接；流导单元的进气端连接测量室；流导单元的出气端连接第二复合分子泵的进气端；测量室、壳体破拆装置和传动机构室都装在平台上；壳体破拆装置连接在测量室和传动机构室之间；测量室连接有质谱仪和真空计。

Description

一种动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置

技术领域

本实用新型属于真空测试技术领域，具体是一种动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置。

背景技术

随着科学技术的发展，微型的MEMS器件、传感器、激光器、陀螺仪及其他小微型的电真空器件的真空封装封离技术逐渐成熟，而这些器件在工作一段时间后，器件内的真空环境逐渐变差，严重影响了器件的使用寿命和可靠性，而真空环境变差主要原因是电真空器件工作期间的漏放气。能够对器件工作一段时间后器件内部的残余气体进行有效的定性和定量分析，对真空器件材料选择及真空封装封离工艺有着重要的指导作用。传统的真空器件残余气体的采集和分析需要在真空环境下进行，局限于对大型电真空器件进行分析。而对于小微型的电真空器件，诸如：微型机电系统、微型电真空器件、激光器、传感器、陀螺仪等由于器件微小，不能够直接在器件上安装真空计及四级杆质谱仪，不能够进行残余气体分析。如果能够为小微型的真空器件直接创造真空测试环境，在真空环境下对器件进行破拆采集残余气体，且对于残余气体量较大的器件，能够采用动态的分析手段，并且需要一种新的结构，能够对可能出现的气体进行校准，从而从跟本上解决了对小微型器件残气分析手段的盲区，且通过校准提高了所测数据的准确度。

发明内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提出一种动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置，包括平台、抽气装置、气体校准的进气装置、流导单元、测量室、壳体破拆装置和传动机构室；

所述抽气装置包括机械泵、第一复合分子泵和第二复合分子泵；第一复合分子泵的进气端即为抽气装置的进气端；第一复合分子泵的出气端与第二复合分子泵的进气端连接；第二复合分子泵的出气端通过前级阀连接机械泵的进气端；复合分子泵与前级阀之间连接有电阻规；

所述气体校准的进气装置的结构为：超高真空针阀的进气端依次通过气体质量流量计、进气阀、储气罐和减压阀连接气瓶的出气端；超高真空针阀的出气端即为气体校准的进气装置的出气端；在超高真空针阀的出气端上连接有超高真空放气阀；所述气体校准的进气装置外设有加热套；

所述流导单元包括超高真空截止阀、流导和超高真空电离真空计；所述流导与超高真空截止阀并联连接，流导构成超高真空截止阀的旁通管路，所述流导的两端与超高真空截止阀的两端分别对应连接；所述超高真空截止阀与流导的进气连接端即为流导单元的进气端，所述超高真空截止阀与流导的出气连接端即为流导单元的出气端；在流导单元的出气端上连接有超高真空电离真空计；流导单元外设有加热套；

流导单元的进气端通过一超高真空金属截止阀连接测量室；所述流导单元的出气端连接第二复合分子泵的进气端；

所述测量室、壳体破拆装置和传动机构室都装在平台上，测量室和传动机构室都装有测温装置；壳体破拆装置连接在测量室和传动机构室之间；测量室外套有第一烘箱；传动机构室外套有第二烘箱；

测量室和传动机构室是密闭的，测量室连接有质谱仪和真空计；

所述壳体破拆装置包括真空室、击针系统和固定支座；固定支座在真空室内，击针系统连接在真空室上，固定支座和击针系统位置对应；

所述击针系统包括真空波纹管、破拆击针、旋转开关、传动螺杆、传动块、击针支座、平面轴承和密封连接件；

所述真空室的壁上设有开口，第一法兰焊接在该开口上；真空波纹管的首端密封焊接环形的密封连接件，环形的密封连接件的外缘与第一法兰的孔内壁密贴，且二者滑配连接(相互滑动)；平面轴承的固定部分与第二法兰固定连接；第一、第二法兰可拆卸连接(通过螺栓可拆卸连接)；

所述击针支座的外壁与真空波纹管的内壁配合(是密贴状态)，且真空波纹管的末端密封焊接击针支座；击针支座首端固定连接传动块，击针支座的末端连接破拆击针；传动块的外壁与真空波纹管的内壁配合(是密贴状态)；破拆击针的尖端指向样品固定装置；

传动块内设有螺孔；所述传动螺杆设有外螺纹，该螺纹与螺孔的内螺纹对应，传动螺杆与螺孔连接；传动螺杆的末端指向击针支座，传动螺杆的首端连接旋转开关；传动螺杆与平面轴承的转动部分连接，传动螺杆的首部伸出平面轴承，且连接旋转开关；

传动螺杆、螺孔、平面轴承、真空波纹管、第一法兰和第二法兰，它们的中心轴线重合，所述破拆击针的尖端也在该中心轴线上；

所述固定支座包括固定支座、样品固定滑台和无磁导轨；固定支座固定连接在真空室内；无磁导轨的一端连接在固定支座上；样品固定滑台滑动连接在无磁导轨上；在样品固定滑台上连接有滑动驱动装置；

所述的测量室和传动机构室连接在所述真空室的两端；无磁导轨的另一端伸入传动机构室内。

所述壳体破拆装置中：所述滑动驱动装置包括永久磁铁；与永久磁铁对应的还包括用于操作者手持的手动磁铁；手动磁铁在真空室外。

或者是所述壳体破拆装置中：所述滑动驱动装置包括本身的材质是铁磁性材料(例如为铁、镍、钴、可伐合金等)的样品固定滑台，还包括对应的用于操作者手持的手动磁铁；手动磁铁在真空室外。

所述壳体破拆装置中：

所述第一、第二法兰标准的CF刀口法兰，两个法兰之间通过紫铜密封连接；

所述真空波纹管垂直于真空室上开口所在平面。

所述真空室是真空管道；真空管道的首尾两端分别设有真空法兰；真空波纹管的轴线垂直于真空管道的轴线；

无磁导轨的材质为玻璃、陶瓷或无磁性的金属材料；在工程实践中，也可以采用弱磁性的金属材料。

所述测量室设有玻璃视窗，玻璃视窗的视野范围涵盖壳体破拆装置。

所述第一烘箱为可升降式；第一烘箱的底面设有开口的；平台上设有与第一烘箱开口端对应的密封结构；第一烘箱降到平台上的状态下，第一烘箱的开口端与平台密闭连接；第一烘箱连接有升降机构。

所述真空计是B-A型超高真空电离计，所述的质谱仪为四级杆质谱仪。

所述的气瓶内部贮存有校准气体，校准气体的压力符合测试校准要求。

所述的超高真空截止阀、超高真空金属截止阀、超高真空微调阀、超高真空放气阀都为全金属密封的金属阀；

测量室、样品传动机构室以及所有真空管路的材质都为304或316L不锈钢材质；

所有真空管路的两端连接设有标准的CF真空刀口法兰，相应的部件与真空管路通过法兰结构与真空管路连接，法兰之间通过紫铜密封连接。

保证了真空系统的材料的放气率和漏率。

还包括上位工控计算机；

所述的测温装置是电子温度传感器，它的数据输出端连接工控计算机的数据输入端；

所述的真空计是电子式真空计，它的数据输出端连接工控计算机的数据输入端；

所述的电阻规是电子式电阻规真空计，电阻规真空计的数据输出端连接工控计算机的数据输入端；

所述的前级阀是电磁气动阀，它的控制信号输入端都连接工控计算机的控制信号输出端；

所述的第一、二烘箱和加热套的温控器控制信号输入端都连接工控计算机的控制信号输出端；

所述的机械泵、第一复合分子泵和第二复合分子泵的开关输入信号连接工控计算机的信号输出端；

所述的第一烘箱升降机构的开关输入信号连接工控计算机的信号输出端；

所述的质谱仪的数据输出端连接工控计算机的数据输入端；

所述的气体质量流量计的控制输入信号连接工控计算机的控制信号输出端。

对于壳体破拆装置：

由于测试环境是超高真空的环境，所以破拆过程不能影响到真空环境，并且要操作方便。为此，壳体破拆装置作为整体外接在测试系统中，由于本装置自身动作并不剧烈，密封效果好，避免了对测试系统的真空环境带来负面影响。

进一步的，所述密封连接件是密封法兰(例如CF刀口密封法兰)；真空波纹管与开口之间连接是通过第一密封法兰；平面轴承与真空波纹管的首端连接是通过第二密封法兰；第一、二密封法兰之间可拆卸连接(通过螺栓可拆卸连接)，且第一、二密封法兰之间设有密封圈(例如紫铜垫圈刀口密封)。

通过可拆装的特定密封结构，使击针系统便于使用、维护，且密封效果好，同时采用波纹管焊接密封，尽可能减小对真空环境的影。

传动螺杆的制作、使用和安装更为便捷。

可以方便地更换易损件破拆击针，而不拆装整体结构，尽量减少拆装对整体结构密封性带来的影响。

壳体破拆装置作为整体方便地拆装于测试系统。

壳体破拆装置的原理是，破拆装置的底下安装有击针，通过旋转开关带动传动螺杆转动推动传动块前进和后退，从而控制真空波纹管的伸缩，进一步的控制击针的前进和后退。本装置作为整体外接在测试系统中，由于本装置自身动作并不剧烈，密封效果好，尽可能小地对测试系统的真空环境带来负面影响。破拆的对象的材料可以是金属、陶瓷、玻璃。击针材料为金属，硬度高且耐磨，耐高温。

本装置可以破拆陶瓷、金属及玻璃等材料为管壳的电真空器件，对于壁厚的管壳需要将管壳通过超声波打孔或机械钻孔的方式将壁厚磨薄后，再放入真空室进行破拆测试。

本动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置的技术特点：

1、本系统采用动态流导法针对电真空器件残余气体的性能分析，主要测试电真空器件经过一段时间工作后，真空器件内残余气体的气体成分和总的气体量。

2、本系统适用于采用计算机自动采集并且处理数据，可在短时间内采集超高真空电离计和质谱仪的变化数据，通过计算处理得出测量结果。

3、主要组成部分由超高真空抽气系统、真空测量室、真空测量室、四级质谱仪、超高真空电离真空计、样品磁力传动机构，样品破拆装置、多个加热装置及辅助的电气控制单元组成。

4、系统整体真空管路及真空室采用304或316L不锈钢材料，接口均为真空刀口法兰密封，极限真空优于5×10^-8pa

5、系统采用超高真空金属波纹管为主体的击针破拆装置，可以破拆陶瓷、金属及玻璃等材料为管壳的电真空器件，对于壁厚的管壳需要将管壳通过超声波打孔或机械钻孔的方式将壁厚磨薄后，再放入真空室进行破拆测试。

6、测量室采用玻璃封接，破拆时透过玻封的玻璃视窗可以进行可视化操作。

7、通过使用磁力传动机构转移切换样品在传动机构室与测量室位置，可以切换加热器对真空室所有的本底都能进行烘烤除气，提高本底真空度，同时避免了对样品的烘烤。

附图说明

图1是本实施例的结构原理示意图；

图2是本例的电真空器件的壳体破拆装置结构原理示意图；

图1中，101机械泵、102第一分子泵、103前级阀、104第二分子泵、105电阻规、106超高真空放气阀、107超高真空截止阀、108超高真空电离真空计、109流导、110加热套、111超高真空金属截止阀、112测量室(用于连接质谱仪和真空计，并通过真空管路与壳体破拆装置连接)、113样品磁力机构传动室(传动机构室)、114样品磁力机构传动室加热器(第二烘箱)、115质谱仪、116真空计、117第一烘箱、118测量室、119固定支座、120壳体破拆装置、121超高真空针阀、122气体质量流量计、123进气阀、124储气罐、125减压阀、126气瓶；

图2中：真空室201、击针系统202、固定支座203、真空波纹管204、破拆击针205、旋转开关206、传动螺杆207、平面轴承208、传动块209、固定支座210、样品固定滑台211、无磁导轨212、永久磁铁213、手动磁铁214、CF刀口密封法兰215、紫铜垫圈刀口密封216、传动螺杆217、传动螺杆螺纹218、测试样品219、击针支座220。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型进一步说明：

如图1，一种动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置，包括平台、抽气装置、气体校准的进气装置、流导单元、测量室、壳体破拆装置和传动机构室；

所述抽气装置包括机械泵、第一复合分子泵和第二复合分子泵；第一复合分子泵的进气端即为抽气装置的进气端；第一复合分子泵的出气端与第二复合分子泵的进气端连接；第二复合分子泵的出气端通过前级阀连接机械泵的进气端；复合分子泵与前级阀之间连接有电阻规；

所述气体校准的进气装置的结构为：超高真空针阀的进气端依次通过气体质量流量计、进气阀、储气罐和减压阀连接气瓶的出气端；超高真空针阀的出气端即为气体校准的进气装置的出气端；在超高真空针阀的出气端上连接有超高真空放气阀；所述气体校准的进气装置外设有加热套；

所述流导单元包括超高真空截止阀、流导和超高真空电离真空计；所述流导与超高真空截止阀并联连接，流导构成超高真空截止阀的旁通管路，所述流导的两端与超高真空截止阀的两端分别对应连接；所述超高真空截止阀与流导的进气连接端即为流导单元的进气端，所述超高真空截止阀与流导的出气连接端即为流导单元的出气端；在流导单元的出气端上连接有超高真空电离真空计；流导单元外设有加热套；

流导单元的进气端通过一超高真空金属截止阀连接测量室；所述流导单元的出气端连接第二复合分子泵的进气端；

所述测量室、壳体破拆装置和传动机构室都装在平台上，测量室和传动机构室都装有测温装置；壳体破拆装置连接在测量室和传动机构室之间；测量室外套有第一烘箱；传动机构室外套有第二烘箱；

测量室和传动机构室是密闭的，测量室连接有质谱仪和真空计。

如图2，所述壳体破拆装置包括真空室、击针系统和固定支座；固定支座在真空室内，击针系统连接在真空室上，固定支座和击针系统位置对应；

所述击针系统包括真空波纹管、破拆击针、旋转开关、传动螺杆、传动块、击针支座、平面轴承和密封连接件；

所述真空室的壁上设有开口，第一法兰焊接在该开口上(工程中，可以在该开口上设法兰固定支座，第一法兰焊接在该法兰固定支座上)；真空波纹管的首端密封焊接环形的密封连接件，环形的密封连接件的外缘与第一法兰的孔内壁密贴，两者滑配连接；平面轴承的固定部分与第二法兰固定连接；第一、第二法兰可拆卸连接(本例中，通过螺栓可拆卸连接)；

所述击针支座的外壁与真空波纹管的内壁密贴，且真空波纹管的末端密封焊接击针支座；击针支座首端固定连接传动块，击针支座的末端连接破拆击针；传动块的外壁与真空波纹管的内壁密贴；破拆击针的尖端指向样品固定装置；

传动块内设有螺孔；所述传动螺杆设有外螺纹，该螺纹与螺孔的内螺纹对应，传动螺杆与螺孔连接；传动螺杆的末端指向击针支座，传动螺杆的首端连接旋转开关；传动螺杆与平面轴承的转动部分连接，传动螺杆的首部伸出平面轴承，且连接旋转开关；

传动螺杆、螺孔、平面轴承、真空波纹管、第一法兰和第二法兰，它们的中心轴线重合，所述破拆击针的尖端也在该中心轴线上；

所述固定支座包括固定支座、样品固定滑台和无磁导轨；固定支座固定连接在真空室内；无磁导轨的一端连接在固定支座上；样品固定滑台滑动连接在无磁导轨上；在样品固定滑台上连接有滑动驱动装置；

所述的测量室和传动机构室连接在所述真空室的两端；无磁导轨的另一端伸入传动机构室内。

所述壳体破拆装置中：所述滑动驱动装置包括永久磁铁；与永久磁铁对应的还包括用于操作者手持的手动磁铁；手动磁铁在真空室外。

或者是所述壳体破拆装置中：所述滑动驱动装置包括本身的材质是铁磁性材料(例如为铁、镍、钴、可伐合金等)的样品固定滑台，还包括对应的用于操作者手持的手动磁铁；手动磁铁在真空室外。

所述壳体破拆装置中：

所述第一、第二法兰标准的CF刀口法兰，两个法兰之间通过紫铜密封连接；

所述真空波纹管垂直于真空室上开口所在平面。

所述真空室是真空管道；真空管道的首尾两端分别设有真空法兰；真空波纹管的轴线垂直于真空管道的轴线；

样品固定滑台本身的材质是铁磁性材料；无磁导轨的材质为玻璃、陶瓷或无磁性的金属材料，也可以采用弱磁性的金属材料。

所述测量室设有玻璃视窗，玻璃视窗的视野范围涵盖壳体破拆装置。

所述第一烘箱为可升降式；第一烘箱的底面设有开口的；平台上设有与第一烘箱开口端对应的密封结构；第一烘箱降到平台上的状态下，第一烘箱的开口端与平台密闭连接；第一烘箱连接有升降机构。

所述真空计是B-A型超高真空电离计，所述的质谱仪为四级杆质谱仪。

所述的气瓶内部贮存有校准气体，校准气体的压力符合测试校准要求。

所述的超高真空截止阀、超高真空金属截止阀、超高真空微调阀、超高真空放气阀都为全金属密封的金属阀；

测量室、样品传动机构室以及所有真空管路的材质都为304或316L不锈钢材质；

所有真空管路的两端连接设有标准的CF真空刀口法兰，相应的部件与真空管路通过法兰结构与真空管路连接，法兰之间通过紫铜密封连接。

保证了真空系统的材料的放气率和漏率。

还包括上位工控计算机；

所述的测温装置是电子温度传感器，它的数据输出端连接工控计算机的数据输入端；

所述的真空计是电子式真空计，它的数据输出端连接工控计算机的数据输入端；

所述的电阻规是电子式电阻规真空计，电阻规真空计的数据输出端连接工控计算机的数据输入端；

所述的前级阀是电磁气动阀，它的控制信号输入端都连接工控计算机的控制信号输出端；

所述的第一、二烘箱和加热套的温控器控制信号输入端都连接工控计算机的控制信号输出端；

所述的机械泵、第一复合分子泵和第二复合分子泵的开关输入信号连接工控计算机的信号输出端；

所述的第一烘箱升降机构的开关输入信号连接工控计算机的信号输出端；

所述的质谱仪的数据输出端连接工控计算机的数据输入端；

所述的气体质量流量计的控制输入信号连接工控计算机的控制信号输出端。

本系统装置的测试步骤：

1、将所测材料样品固定放置在119样品传动机构室内的样品固定滑台上。

2、打开101机械泵，打开103前级阀、107、111超高真空截止阀，对真空进行预抽气。

3、当系统真空真空度优于10pa(即105电阻规读数)，打开102分子泵及104分子泵对系统抽真空，当真空度优于5×10^-4pa时(即电离真空计116的读数)，降下烘箱117，设定加温曲线，缓慢升温至300摄氏度，保温10小时，对真空系统、测量室和测量室进行烘烤除气。加热套110对进气管路也进行烘烤除气，除气温度150℃。

4、烘烤完毕后，关闭烘箱117电源，阶段性缓慢升起烘箱117，直至降温到120摄氏度，完全升起烘箱，降至常温后，通过磁力机构传动，将材料样品从113样品传动机构室内转移到118测量室内的固定支座上，此时打开烘箱114电源对113传动机构室进行烘烤除气，烘烤温度450摄氏度，烘烤4个小时后，关闭烘箱114电源、关闭加热套110电源。对113样品传动机构室降温至室温。对真空系统持续抽真空除气，直至本底真空和漏率达到测试要求。

5、对超高真空电离真空计108、(电离)真空计116及质谱仪115进行电离除气。

6、除气完毕后，关闭超高真空截止阀111，测真空系统漏率。

7、漏率测量完毕后，打开超高真空截止阀111，关闭超高真空截止阀107，通过流导对系统进行抽气，直至达到极限真空，此时开启115质谱计，并记录下质谱计115，超高真空电离计116的数据，超高真空电离计108的数据。通过数据记录得出真空系统放气的气体成分，通过流导109的两端压强差乘以流导值，得出真空系统本底的平均放气速率，带入气体成分比例和不同气体的修正系数得出不同成分气体的放气速率，以上本底的放气率和本底不同气体的放气率的数据留作残余气体计算时修正用。

8、在测量室118内，通过破拆装置120对固定在119固定支座上的样品进行破拆，破拆后，记录下随时间变化，质谱仪115、超高真空电离计116、超高真空电离计108的数据。测得器件破拆后释放出来的残余气体成分。在一段时间内流导109两端的压强差的平均值乘以这段时长计算出这段时间内的放气量，通过积分得出在测试结束时总的放气量。作为修正的放气率乘以测试总时间长得出本底在这段时间内的放气量。总的放气量减去本底的放气量就可以得出残余气体的放气量，还可以通过带入修正数据得出不同气体的放气量。

Claims (10)

1.一种动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置，其特征是包括平台、抽气装置、气体校准的进气装置、流导单元、测量室、壳体破拆装置和传动机构室；

所述抽气装置包括机械泵、第一复合分子泵和第二复合分子泵；第一复合分子泵的进气端即为抽气装置的进气端；第一复合分子泵的出气端与第二复合分子泵的进气端连接；第二复合分子泵的出气端通过前级阀连接机械泵的进气端；复合分子泵与前级阀之间连接有电阻规；

所述气体校准的进气装置的结构为：超高真空针阀的进气端依次通过气体质量流量计、进气阀、储气罐和减压阀连接气瓶的出气端；超高真空针阀的出气端即为气体校准的进气装置的出气端；在超高真空针阀的出气端上连接有超高真空放气阀；所述气体校准的进气装置外设有加热套；

所述流导单元包括超高真空截止阀、流导和超高真空电离真空计；所述流导与超高真空截止阀并联连接，流导构成超高真空截止阀的旁通管路，所述流导的两端与超高真空截止阀的两端分别对应连接；所述超高真空截止阀与流导的进气连接端即为流导单元的进气端，所述超高真空截止阀与流导的出气连接端即为流导单元的出气端；在流导单元的出气端上连接有超高真空电离真空计；流导单元外设有加热套；

流导单元的进气端通过一超高真空金属截止阀连接测量室；所述流导单元的出气端连接第二复合分子泵的进气端；

所述测量室、壳体破拆装置和传动机构室都装在平台上，测量室和传动机构室都装有测温装置；壳体破拆装置连接在测量室和传动机构室之间；测量室外套有第一烘箱；传动机构室外套有第二烘箱；

测量室和传动机构室是密闭的，测量室连接有质谱仪和真空计；

所述壳体破拆装置包括真空室、击针系统和固定支座；固定支座在真空室内，击针系统连接在真空室上，固定支座和击针系统位置对应；

所述击针系统包括真空波纹管、破拆击针、旋转开关、传动螺杆、传动块、击针支座、平面轴承和密封连接件；

所述真空室的壁上设有开口，第一法兰焊接在该开口上；真空波纹管的首端密封焊接环形的密封连接件，环形的密封连接件的外缘与第一法兰的孔内壁密贴，且二者滑配连接；平面轴承的固定部分与第二法兰固定连接；第一、第二法兰可拆卸连接；

所述击针支座的外壁与真空波纹管的内壁配合，且真空波纹管的末端密封焊接击针支座；击针支座首端固定连接传动块，击针支座的末端连接破拆击针；传动块的外壁与真空波纹管的内壁配合；破拆击针的尖端指向样品固定装置；

传动块内设有螺孔；所述传动螺杆设有外螺纹，该螺纹与螺孔的内螺纹对应，传动螺杆与螺孔连接；传动螺杆的末端指向击针支座，传动螺杆的首端连接旋转开关；传动螺杆与平面轴承的转动部分连接，传动螺杆的首部伸出平面轴承，且连接旋转开关；

传动螺杆、螺孔、平面轴承、真空波纹管、第一法兰和第二法兰，它们的中心轴线重合，所述破拆击针的尖端也在该中心轴线上；

所述固定支座包括固定支座、样品固定滑台和无磁导轨；固定支座固定连接在真空室内；无磁导轨的一端连接在固定支座上；样品固定滑台滑动连接在无磁导轨上；在样品固定滑台上连接有滑动驱动装置；

所述的测量室和传动机构室连接在所述真空室的两端；无磁导轨的另一端伸入传动机构室内。

2.根据权利要求1所述的分析系统装置，其特征是所述壳体破拆装置中：

所述滑动驱动装置包括永久磁铁；与永久磁铁对应的还包括用于操作者手持的手动磁铁；手动磁铁在真空室外。

3.根据权利要求1所述的分析系统装置，其特征是所述壳体破拆装置中：所述滑动驱动装置包括本身的材质是铁磁性材料的样品固定滑台，还包括对应的用于操作者手持的手动磁铁；手动磁铁在真空室外。

4.根据权利要求1所述的分析系统装置，其特征是所述壳体破拆装置中：

所述第一、第二法兰标准的CF刀口法兰，两个法兰之间通过紫铜密封连接；

所述真空波纹管垂直于真空室上开口所在平面；

所述真空室是真空管道；真空管道的首尾两端分别设有真空法兰；真空波纹管的轴线垂直于真空管道的轴线。

5.根据权利要求1所述的分析系统装置，其特征是所述测量室设有玻璃视窗，玻璃视窗的视野范围涵盖壳体破拆装置。

6.根据权利要求1所述的分析系统装置，其特征是所述第一烘箱为可升降式；第一烘箱的底面设有开口的；平台上设有与第一烘箱开口端对应的密封结构；第一烘箱降到平台上的状态下，第一烘箱的开口端与平台密闭连接；

第一烘箱连接有升降机构。

7.根据权利要求1所述的分析系统装置，其特征是所述真空计是B-A型超高真空电离计，所述的质谱仪为四级杆质谱仪。

8.根据权利要求1所述的分析系统装置，其特征是所述的气瓶内部贮存有校准气体，校准气体的压力符合测试校准要求。

9.根据权利要求1所述的分析系统装置，其特征是所述的超高真空截止阀、超高真空金属截止阀、超高真空微调阀、超高真空放气阀都为全金属密封的金属阀；

测量室、样品传动机构室以及所有真空管路的材质都为304或316L不锈钢材质；

所有真空管路的两端连接设有标准的CF真空刀口法兰，相应的部件与真空管路通过法兰结构与真空管路连接，法兰之间通过紫铜密封连接。

10.根据权利要求1所述的分析系统装置，其特征是还包括上位工控计算机；

所述的测温装置是电子温度传感器，它的数据输出端连接工控计算机的数据输入端；

所述的真空计是电子式真空计，它的数据输出端连接工控计算机的数据输入端；

所述的电阻规是电子式电阻规真空计，电阻规真空计的数据输出端连接工控计算机的数据输入端；

所述的前级阀是电磁气动阀，它的控制信号输入端都连接工控计算机的控制信号输出端；

所述的第一、二烘箱和加热套的温控器控制信号输入端都连接工控计算机的控制信号输出端；

所述的机械泵、第一复合分子泵和第二复合分子泵的开关输入信号连接工控计算机的信号输出端；

所述的第一烘箱升降机构的开关输入信号连接工控计算机的信号输出端；

所述的质谱仪的数据输出端连接工控计算机的数据输入端；

所述的气体质量流量计的控制输入信号连接工控计算机的控制信号输出端。