CN206064194U - 一种多组分混合气体配制装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多组分混合气体配制装置，包括配气柜、参照气瓶、混合气瓶以及若干个组分气瓶，配气柜上设置有若干个组分气瓶接口、一个混合气瓶接口、真空计以及一个参照气瓶接口，每个组分气瓶接口相应地通过第一软管与组分气瓶连接，混合气瓶接口通过第二软管与混合气瓶连接，参照气瓶接口通过第三软管与参照气瓶连接，每个组分气瓶接口、混合气瓶接口和参照气瓶接口均设置有压力表和阀门，真空计与混合气瓶接口连接并检测混合气瓶的真空度。本多组分混合气体配制装置利用配气柜、组分气瓶以及混合气瓶进行气体配制工序，同时使用参照气瓶的压力值计量微量组分的质量，本实用新型的操作方便，能够有效地提高气体配制的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体配制领域，尤其是涉及一种多组分混合气体配制装置。
背景技术
工业气体行业中需要配制多组分混合气体，需要专用装置。目前，多数地方使用简单管道架进行配制，由于主管道尺寸较大配气误差大，控制阀门与主管道连接难以固定，阀门容易松动，发生漏气现象。并且现有装置操作繁琐，压力表、真空压力表组装数量受限制，需频繁更换。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型提供了一种多组分混合气体配制装置。
本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种多组分混合气体配制装置，包括配气柜、参照气瓶、混合气瓶以及若干个组分气瓶，所述配气柜上设置有若干个组分气瓶接口、一个混合气瓶接口、真空计以及一个参照气瓶接口，所述每个组分气瓶接口相应地通过第一软管与所述组分气瓶连接，所述混合气瓶接口通过第二软管与所述混合气瓶连接，所述参照气瓶接口通过第三软管与所述参照气瓶连接，所述每个组分气瓶接口、混合气瓶接口和参照气瓶接口均设置有一压力表和一阀门，所述压力表用于检测对应的组分气瓶、混合气瓶或参照气瓶的压力值，所述真空计与混合气瓶接口连接并检测混合气瓶的真空度。
作为上述方案的进一步改进，所述第一软管、第二软管和第三软管均采用金属软管。
作为上述方案的进一步改进，所述真空计采用热电偶真空计。
作为上述方案的进一步改进，所述压力表、阀门和真空计均位于配气柜同一侧面板。
作为上述方案的进一步改进，所述若干个压力表排成一排，所述若干个阀门相应地排成一排，所述压力表设置在所述阀门的上方。
本实用新型的有益效果是：本多组分混合气体配制装置利用配气柜、组分气瓶以及混合气瓶进行气体配制工序，同时使用参照气瓶的压力值计量微量组分的质量，本实用新型的操作方便，能够有效地提高气体配制的效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单说明。显然，所描述的附图只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得的其他设计方案和附图：
图1为本实用新型较佳实施例的结构示意图。
具体实施方式
以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。
参照图1，一种多组分混合气体配制装置，包括配气柜1、参照气瓶、混合气瓶以及若干个组分气瓶，所述配气柜1上设置有若干个组分气瓶接口2、一个混合气瓶接口3、真空计4以及一个参照气瓶接口5。
其中，所述每个组分气瓶接口2相应地通过第一软管与所述组分气瓶连接，所述混合气瓶接口3通过第二软管与所述混合气瓶连接，所述参照气瓶接口5通过第三软管与所述参照气瓶连接。所述每个组分气瓶接口2、混合气瓶接口3和参照气瓶接口5均设置有一压力表6和一阀门7，所述压力表6用于检测对应的组分气瓶、混合气瓶或参照气瓶的压力值。优选的，所述第一软管、第二软管和第三软管均采用金属软管。并且通过参照所述参照气瓶的压力值，计量微量组分的质量。
所述真空计4与混合气瓶接口3连接并检测混合气瓶的真空度。优选的，所述真空计4采用热电偶真空计。
所述压力表6、阀门7和真空计4均位于配气柜1同一侧面板。所述若干个压力表6排成一排，所述若干个阀门7相应地排成一排，所述压力表6设置在所述阀门7的上方，方便操作者的使用和观察。
所述上述实施例是对本实用新型的上述内容作进一步的说明，但不应将此理解为本实用新型上述主题的范围仅限于上述实施例，凡基于上述内容所实现的技术均属于本实用新型的范围。
Claims (5)
1.一种多组分混合气体配制装置，包括配气柜（1）、参照气瓶、混合气瓶以及若干个组分气瓶，其特征在于：所述配气柜（1）上设置有若干个组分气瓶接口（2）、一个混合气瓶接口（3）、真空计（4）以及一个参照气瓶接口（5），所述每个组分气瓶接口（2）相应地通过第一软管与所述组分气瓶连接，所述混合气瓶接口（3）通过第二软管与所述混合气瓶连接，所述参照气瓶接口（5）通过第三软管与所述参照气瓶连接，所述每个组分气瓶接口（2）、混合气瓶接口（3）和参照气瓶接口（5）均设置有一压力表（6）和一阀门（7），所述压力表（6）用于检测对应的组分气瓶、混合气瓶或参照气瓶的压力值，所述真空计（4）与混合气瓶接口（3）连接并检测混合气瓶的真空度。
2.根据权利要求1所述的一种多组分混合气体配制装置，其特征在于：所述第一软管、第二软管和第三软管均采用金属软管。
3.根据权利要求1所述的一种多组分混合气体配制装置，其特征在于：所述真空计（4）采用热电偶真空计。
4.根据权利要求1所述的一种多组分混合气体配制装置，其特征在于：所述压力表（6）、阀门（7）和真空计（4）均位于配气柜（1）同一侧面板。
5.根据权利要求4所述的一种多组分混合气体配制装置，其特征在于：所述若干个压力表（6）排成一排，所述若干个阀门（7）相应地排成一排，所述压力表（6）设置在所述阀门（7）的上方。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620999784.8U CN206064194U (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 一种多组分混合气体配制装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620999784.8U CN206064194U (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 一种多组分混合气体配制装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206064194U true CN206064194U (zh) | 2017-04-05 |
Family
ID=58435020
Family Applications (1)
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| CN201620999784.8U Active CN206064194U (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 一种多组分混合气体配制装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN206064194U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110207010A (zh) * | 2019-07-08 | 2019-09-06 | 深圳融科半导体装备有限公司 | 一种移动式供气柜 |
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2016
- 2016-08-30 CN CN201620999784.8U patent/CN206064194U/zh active Active
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