CN206057790U - 一种滚轮紫外线软压印装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种大滚轮紫外线软压印装置，用于对衬底表面的压印胶进行压印，其包括：滚轮，在滚轮内部设有紫外线光源，且紫外线光源发出的紫外光能从滚轮射出；软膜模板，其设置于滚轮的外表面，且在软膜模板上设有压印图形，用于对衬底表面的压印胶进行压印。本实用新型一种大滚轮紫外线软压印装置结构简单，可以有效实现大范围的纳米压印，效率高，效果好。

Description

一种滚轮紫外线软压印装置

技术领域

本实用新型涉及微纳米器件制作技术领域，具体涉及一种滚轮紫外线软压印装置。

背景技术

微纳米器件制作工艺，为近十多年来兴起的随着光电子应用领域，通讯领域，生物探测领域的发展需要而诞生的高新技术。即在半导体，金属及其它各种材料上，根据应用需要，制作出尺寸在微米级或纳米级的结构，此结构结合材料本身的特性，具有独特的应用。微纳米器件制作的主要工艺流程，包括电子束写版技术，紫外光写版技术，离子体蚀刻技术，金属蒸镀技术等。

纳米压印技术，是微纳米器件制作工艺中的一个重要技术，纳米压印技术最早由Stephen Y Chou教授在1995年率先提出，这是一种不同与传统光刻技术的全新图形转移技术。纳米压印技术的定义为：不使用光线或者辐照使光刻胶感光成形，而是直接在硅衬底或者其它衬底上利用物理学的机理构造纳米尺寸图形，与传统光刻技术相比，具有显著的有优点。

紫外线压印技术为纳米压印技术中的一种，紫外线压印技术是通过在压印胶中掺入光敏物质使得压印胶在紫外光照后可以固化从而实现室温压印的纳米压印技术。现有的大滚轮紫外线压印装置如图1所示，其将压印胶2附在衬底1上，利用滚轮3线性滚压软压印模，将软压印模4上的压印图形压印到衬底表面的压印胶2上，再使用外置的紫外线光源5对压印胶2进行充分曝光。其操作步骤繁琐，效率低下，不适合大范围的生产及应用。

故一种结构简单，效率高的大滚轮紫外线软压印装置亟待提出。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提出了一种大滚轮紫外线软压印装置，该装置结构简单，可以有效实现大范围的纳米压印，效率高，效果好。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种大滚轮紫外线软压印装置，用于对衬底表面的压印胶进行压印，其包括：

滚轮，在滚轮内部设有紫外线光源，且紫外线光源发出的紫外光能从滚轮射出；

软膜模板，其设置于滚轮的外表面，且在软膜模板上设有压印图形，用于对衬底表面的压印胶进行压印。

本实用新型一种大滚轮紫外线软压印装置结构简单，成本低，其将软膜模板设置于滚轮的表面，将紫外线光源设置于滚轮内部。滚轮滚动，将软膜模板上的压印图形压印到衬底表面的压印胶上，同时，滚轮内部的紫外线光源对其进行充分曝光。

利用本实用新型压印速度更快、操作更便捷，压印效果好，适合大工艺的生产。

在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

作为优选的方案，滚轮由透明材质制成。

采用上述优选的方案，便于紫外光从滚轮射出到压印胶上。

作为优选的方案，滚轮由石英制成。

采用上述优选的方案，强度好，透光性好。

作为优选的方案，在滚轮的内部设有空腔，紫外线光源通过支架设置于该空腔内。

采用上述优选的方案，透光性好。

作为优选的方案，紫外线光源设置于滚轮的圆心。

采用上述优选的方案，紫外光从滚轮均匀射出。

作为优选的方案，在紫外线光源相背离压印胶的一侧设有反光板。

采用上述优选的方案，便于将紫外光集中到滚轮与压印胶的接触部分。

作为优选的方案，在反光板上设有向背离压印胶方向凹陷的凹曲面。

采用上述优选的方案，便于将紫外光集中到滚轮与压印胶的接触部分。

附图说明

图1为传统紫外线压印装置的结构示意图。

图2为本实用新型实施例提供的大滚轮紫外线软压印装置的结构示意图之一。

图3为本实用新型实施例提供的大滚轮紫外线软压印装置的结构示意图之一。

其中：1衬底、2压印胶、3滚轮、4软膜模板、5紫外线光源、6空腔、7支架、8反光板、9传送板。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。

为了达到本实用新型的目的，一种大滚轮紫外线软压印装置的其中一些实施例中，

一种大滚轮紫外线软压印装置，用于对衬底1表面的压印胶2进行压印，其包括：滚轮3和软膜模板4。衬底1通过传送板9进行传送。

在滚轮3内部设有紫外线光源5，且紫外线光源5发出的紫外光能从滚轮3射出，软膜模板4设置于滚轮3的外表面，且在软膜模板4上设有压印图形，用于对衬底1表面的压印胶2进行压印。

滚轮3由透明材质制成，便于紫外光从滚轮3射出到压印胶2上。在本实施例中，滚轮3由石英制成，强度好，透光性好。

在滚轮3的内部设有空腔6，紫外线光源5通过支架7设置于该空腔6内。空腔6的设置使得其透光性好。

本实用新型一种大滚轮3紫外线软压印装置结构简单，成本低，其将软膜模板4设置于滚轮3的表面，将紫外线光源5设置于滚轮3内部。滚轮3滚动，将软膜模板4上的压印图形压印到衬底1表面的压印胶2上，同时，滚轮3内部的紫外线光源5对其进行充分曝光。

利用本实用新型直接滚压衬底1表面的压印胶2，压印速度更快、操作更便捷，压印效果好，适合大工艺的生产。

为了进一步地优化本实用新型的实施效果，在另外一些实施方式中，其余特征技术相同，不同之处在于，紫外线光源5设置于滚轮3的圆心。

采用上述优选实施例的方案，紫外光从滚轮3均匀射出。

为了进一步地优化本实用新型的实施效果，在另外一些实施方式中，其余特征技术相同，不同之处在于，在紫外线光源5相背离压印胶2的一侧设有反光板8。

进一步，在反光板8上设有向背离压印胶2方向凹陷的凹曲面。

采用上述优选实施例的方案，便于将紫外光集中到滚轮3与压印胶2的接触部分。

以上的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种大滚轮紫外线软压印装置，用于对衬底表面的压印胶进行压印，其特征在于，其包括：

滚轮，在所述滚轮内部设有紫外线光源，且所述紫外线光源发出的紫外光能从所述滚轮射出；

软膜模板，其设置于所述滚轮的外表面，且在所述软膜模板上设有压印图形，用于对所述衬底表面的压印胶进行压印。

2.根据权利要求1所述的大滚轮紫外线软压印装置，其特征在于，所述滚轮由透明材质制成。

3.根据权利要求2所述的大滚轮紫外线软压印装置，其特征在于，所述滚轮由石英制成。

4.根据权利要求1-3任一项所述的大滚轮紫外线软压印装置，其特征在于，在所述滚轮的内部设有空腔，所述紫外线光源通过支架设置于该空腔内。

5.根据权利要求4所述的大滚轮紫外线软压印装置，其特征在于，所述紫外线光源设置于所述滚轮的圆心。

6.根据权利要求5所述的大滚轮紫外线软压印装置，其特征在于，在所述紫外线光源相背离所述压印胶的一侧设有反光板。

7.根据权利要求6所述的大滚轮紫外线软压印装置，其特征在于，在所述反光板上设有向背离所述压印胶方向凹陷的凹曲面。