CN206052136U - 一种镀膜装置用修正板 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其为一种镀膜装置用修正板，包括镀膜装置，所述镀膜装置的内腔下壁设置有蒸发源，所述蒸发源两侧对称设有支撑柱，且所述支撑柱固定连接于镀膜装置内腔下壁且插入内腔下壁中，两个所述支撑柱上均套设有转动柱，所述转动柱与支撑柱转动连接，所述转动柱在靠近支撑柱的表面设有啮合齿，两个所述转动柱在远离支撑柱一端分别铰接有第一修正板和第二修正板，电动伸缩杆完全伸出，可以使两块修正板起升到几乎垂直的角度，减小遮挡面积；通过两个伺服电机的控制，可以使两块修正板能够在转动柱的带动下在水平面内完成移动，可以很方便的改变修正板的遮挡面积，操作简便。

Description

一种镀膜装置用修正板

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种镀膜装置用修正板。

背景技术

现有的蒸镀设备一般包括一个蒸镀源及一个设置于蒸镀源上方用来承载镀膜基材的基片架，我们可以理解为由于各种镀膜基材采用的蒸镀源的蒸发速率、蒸镀的沉积速率及镀膜基材的形状不同，各种镀膜基材对镀膜修正板的遮挡面积的要求也不同，一种镀膜基板一般需采用对应的一种镀膜修正板，镀膜修正板的通用性差，所以目前需要一种可以调控遮挡面积的修正板。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题在于克服现有技术的缺陷，提供一种镀膜装置用修正板。所述镀膜装置用修正板具有可分别调控、修正范围广等特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种镀膜装置用修正板，包括镀膜装置，所述镀膜装置的内腔下壁设置有蒸发源，所述蒸发源两侧对称设有支撑柱，且所述支撑柱固定连接于镀膜装置内腔下壁且插入内腔下壁中，两个所述支撑柱上均套设有转动柱，所述转动柱与支撑柱转动连接，所述转动柱在靠近支撑柱的表面设有啮合齿，两个所述转动柱在远离支撑柱一端分别铰接有第一修正板和第二修正板，且所述第一修正板与第二修正板相向交错设置，两个所述转动柱在靠近蒸发源的一面均铰接有电动伸缩杆，且两个所述电动伸缩杆的另一端均分别铰接于第一修正板和第二修正板靠近蒸发源的一面，两个所述转动柱在远离蒸发源的一侧均设有伺服电机，且所述伺服电机均通过输出轴固定连接有齿轮，两个所述齿轮均分别与啮合齿相配合，所述镀膜装置侧壁设有控制面板。

优选的，所述第一修正板和第二修正板之间活动连接，且所述第一修正板和第二修正板转动时均朝着与另一块修正板相反的方向转动。

优选的，所述支撑柱处于转动柱内部的表面均设有防滑层。

优选的，两个所述电动伸缩杆分别电性连接于控制面板，两个所述伺服电机均分别电性连接于控制面板，且所述控制面板上设有两个伸缩杆控制开关和两个电机开关。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置有两个相互配合的修正板，来增加覆盖面积，并且在两个修正板的下表面均铰接有电动伸缩杆，通过电动伸缩杆的伸缩来使得第一修正板和第二修正板可以升起和下落，原始状态下第一修正板与第二修正板均水平放置，电动伸缩杆完全伸出，可以使两块修正板起升到几乎垂直的角度，减小遮挡面积；当需要修正板在水平面上移动时，通过两个伺服电机的控制，带动对应的齿轮啮合，可以使两块修正板能够在转动柱的带动下在水平面内完成移动，增大或者减小遮挡面积，通过这两个装置的分别调控，可以很方便的改变修正板的遮挡面积，操作简便；第一修正板和第二修正板之间活动连接，可以在连接时完全遮挡住蒸发源，且第一修正板和第二修正板转动时均朝着与另一块修正板相反的方向转动，更加方便两块修正板的转动，容易调控；支撑柱处于转动柱内部的表面均设有防滑层，可以使得转动柱在转动时减少因为支撑柱表面光滑而产生多余的转动角度；两个电动伸缩杆分别电性连接于控制面板，两个伺服电机均分别电性连接于控制面板，且控制面板上设有两个伸缩杆控制开关和两个电机开关，可以使得两个电动伸缩杆和两个伺服电机均可以单独完成调控，不受其它几个的影响，能够更加精准的达到所需遮挡效果。

附图说明

图1为本实用新型结构正视示意图；

图2为本实用新型结果俯视示意图。

图中：1镀膜装置、2蒸发源、3支撑柱、4转动柱、41啮合齿、5第一修正板、6第二修正板、7电动伸缩杆、8伺服电机、9输出轴、10齿轮、11控制面板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：

一种镀膜装置用修正板，包括镀膜装置1，镀膜装置1的内腔下壁设置有蒸发源2，蒸发源2两侧对称设有支撑柱3，且支撑柱3固定连接于镀膜装置1内腔下壁且插入内腔下壁中，两个支撑柱3上均套设有转动柱4，转动柱4与支撑柱3转动连接，支撑柱3处于转动柱4内部的表面均设有防滑层，可以使得转动柱4在转动时减少因为支撑柱3表面光滑而产生多余的转动角度。

转动柱4在靠近支撑柱3的表面设有啮合齿41，两个转动柱4在远离支撑柱3一端分别铰接有第一修正板5和第二修正板6，且第一修正板5与第二修正板6相向交错设置，第一修正板5和第二修正板6之间活动连接，可以在连接时完全遮挡住蒸发源2，且第一修正板5和第二修正板6转动时均朝着与另一块修正板相反的方向转动，更加方便两块修正板的转动，容易调控。

两个转动柱4在靠近蒸发源2的一面均铰接有电动伸缩杆7，且两个电动伸缩杆7的另一端均分别铰接于第一修正板5和第二修正板6靠近蒸发源2的一面，两个转动柱4在远离蒸发源2的一侧均设有伺服电机8，且伺服电机8均通过输出轴9固定连接有齿轮10，两个齿轮10均分别与啮合齿41相配合。

镀膜装置1侧壁设有控制面板11，两个电动伸缩杆7分别电性连接于控制面板11，两个伺服电机8均分别电性连接于控制面板11，且控制面板11上设有两个伸缩杆控制开关和两个电机开关，可以使得两个电动伸缩杆7和两个伺服电机8均可以单独完成调控，不受其它几个的影响，能够更加精准的达到所需遮挡效果。

通过电动伸缩杆7的伸缩来使得第一修正板5和第二修正板6可以升起和下落，原始状态下第一修正板5与第二修正板6均水平放置，电动伸缩杆7完全伸出，可以使两块修正板起升到几乎垂直的角度，减小遮挡面积；当需要修正板在水平面上移动时，通过两个伺服电机8的控制，带动对应的齿轮啮合，可以使两块修正板能够在转动柱4的带动下在水平面内完成移动，增大或者减小遮挡面积，通过这两个装置的分别调控，可以很方便的改变修正板的遮挡面积，操作简便。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种镀膜装置用修正板，包括镀膜装置(1)，所述镀膜装置(1)的内腔下壁设置有蒸发源(2)，其特征在于：所述蒸发源(2)两侧对称设有支撑柱(3)，且所述支撑柱(3)固定连接于镀膜装置(1)内腔下壁且插入内腔下壁中，两个所述支撑柱(3)上均套设有转动柱(4)，所述转动柱(4)与支撑柱(3)转动连接，所述转动柱(4)在靠近支撑柱(3)的表面设有啮合齿(41)，两个所述转动柱(4)在远离支撑柱(3)一端分别铰接有第一修正板(5)和第二修正板(6)，且所述第一修正板(5)与第二修正板(6)相向交错设置，两个所述转动柱(4)在靠近蒸发源(2)的一面均铰接有电动伸缩杆(7)，且两个所述电动伸缩杆(7)的另一端均分别铰接于第一修正板(5)和第二修正板(6)靠近蒸发源(2)的一面，两个所述转动柱(4)在远离蒸发源(2)的一侧均设有伺服电机(8)，且所述伺服电机(8)均通过输出轴(9)固定连接有齿轮(10)，两个所述齿轮(10)均分别与啮合齿(41)相配合，所述镀膜装置(1)侧壁设有控制面板(11)。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜装置用修正板，其特征在于：所述第一修正板(5)和第二修正板(6)之间活动连接，且所述第一修正板(5)和第二修正板(6)转动时均朝着与另一块修正板相反的方向转动。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜装置用修正板，其特征在于：所述支撑柱(3)处于转动柱(4)内部的表面均设有防滑层。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜装置用修正板，其特征在于：两个所述电动伸缩杆(7)分别电性连接于控制面板(11)，两个所述伺服电机(8)均分别电性连接于控制面板(11)，且所述控制面板(11)上设有两个伸缩杆控制开关和两个电机开关。