CN206028184U - 一种传送轮清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种传送轮清洁装置，包括：包含清洁层的清洁轮和支架，所述清洁轮固定在所述支架上，所述支架被固定在机体上，其中：所述清洁轮上的清洁层与所述传送轮相接触，所述清洁轮在所述传送轮转动时被带动转动，所述清洁层在所述清洁轮转动时对所述传送轮进行清洁。这样，传送轮在转动时，可以带动清洁轮一起转动，清洁轮在转动的过程中，清洁轮上的清洁层可以清洁并除去传送轮上粘附的污垢，使得传送轮在传送后续基板时，后续基板上不会附着污垢，进而有效提高基板的质量。

Description

一种传送轮清洁装置

技术领域

本实用新型涉及一种清洁装置，尤其涉及一种传送轮清洁装置。

背景技术

剥离技术作为一种工艺技术，一般分为三个步骤：首先，在基板的衬底上涂光刻胶，通过曝光和显影制成图形；其次，在覆盖光刻胶的基板上淀积金属膜；最后，使用不侵蚀金属膜的溶剂除去光刻胶。这样，可以实现光刻胶与基板的剥离。

通常，在除去基板上的光刻胶时，基板需要在传送轮的带动下依次进入剥离区和水洗区，在剥离区，使用剥离液喷淋基板，以除去基板上的光刻胶，在水洗区，使用纯净水对基板上残留的光刻胶或者其他物质进行清洗，最终得到除去光刻胶的基板。

但是，在实际应用中，剥离区与水洗区是相连的，也就是说，基板在传送轮的带动下，直接由剥离区进入水洗区。基板在由剥离区进入水洗区时，基板将携带少量的剥离区的剥离液，这些剥离液在被带入到水洗区后，将与水洗区中的纯净水发生化学反应，生成污垢，这些污垢将粘附在水洗区的传送轮上，这样，粘附有污垢的传送轮在传送后续的基板时，传送轮上的污垢将会附着在后续的基板上。由于附着在基板上的污垢无法被清洗掉，将在基板上产生痕迹，导致基板的质量下降。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种传送轮清洁装置，用于解决粘附有污垢的传送轮在传送基板时，污垢会附着在基板上，由于基板上的污垢无法 被清洗掉，将在基板上产生痕迹，导致基板的质量下降的问题。

本实用新型提供了一种传送轮清洁装置，其特征在于，包括：支架，设置在所述支架上的清洁轮，所述支架被固定在设有传送轮的机体上，其中：所述清洁轮设有清洁层，所述清洁轮上的清洁层与所述传送轮相接触，所述清洁轮在所述传送轮转动时被带动转动，所述清洁层在所述清洁轮转动时对所述传送轮进行清洁。

优选地，所述支架包括第一支杆和第二支杆，其中：

所述第一支杆的第一端被固定在所述机体上，所述第一支杆的第二端与所述第二支杆的第一端连接；

所述第二支杆的第二端与所述清洁轮连接。

优选地，所述第二支杆的一端与所述第一支杆连接，包括：

所述第二支杆的第二端与所述第一支杆的第一端活动连接，以调整所述清洁轮与所述传送轮的相对位置，使得所述清洁轮与所述传送轮相接触，其中，所述清洁轮与所述第二支杆连接。

优选地，所述传送轮与所述清洁轮相外切。

优选地，所述清洁轮上的清洁层所使用的材料为耐腐蚀性材料。

优选地，所述清洁层以可拆卸的方式固定在所述清洁轮的表面。

本实用新型技术方案的有益效果如下：

本实用新型实施例提供了一种传送轮清洁装置，该清洁装置包括：包含清洁层的清洁轮和支架，所述清洁轮固定在所述支架上，所述支架被固定在机体上，其中：所述清洁轮上的清洁层与所述传送轮相接触，所述清洁层在所述传送轮转动时被带动转动，所述清洁层在所述清洁轮转动时对所述传送轮进行清洁。这样，传送轮在转动时，可以带动清洁轮一起转动，清洁轮在转动的过程中，清洁轮上的清洁层可以清洁并除去传送轮上粘附的污垢，使得传送轮在传送后续基板时，后续基板上不会附着污垢，进而有效提高基板的质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种传送轮清洁装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种传送轮清洁装置与传送轮的相对位置关系的示意图。

具体实施方式

为了实现本实用新型的目的，本实用新型实施例提供了一种传送轮清洁装置，包括：包含清洁层的清洁轮和支架，所述清洁轮固定在所述支架上，所述支架被固定在机体上，其中：所述清洁轮上的清洁层与所述传送轮相接触，所述清洁轮在所述传送轮转动时被带动转动，所述清洁层在所述清洁轮转动时对所述传送轮进行清洁。这样，传送轮在转动时，可以带动清洁轮一起转动，清洁轮在转动的过程中，清洁轮上的清洁层可以清洁并除去传送轮上粘附的污垢，使得传送轮在传送后续基板时，后续基板上不会附着污垢，进而有效提高基板的质量。

下面结合说明书附图对本实用新型的各个实施例作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型实施例提供的一种传送轮清洁装置的结构示意图，该装置包括：包含清洁层111的清洁轮11和支架12，所述清洁轮11固定在所述支架12上，所述支架12被固定在机体上，其中：

所述清洁轮11上的清洁层111与所述传送轮相接触，所述清洁轮在所述 传送轮转动时被带动转动，所述清洁层在所述传送轮转动时对所述传送轮进行清洁。

在对带有光刻胶的基板进行剥离和清洗的过程中，在剥离区和水洗区的机体上都安装有传送轮，这些传送轮可以带动基板依次进入剥离区和水洗区，此时，可以在水洗区安装所述传送轮清洁装置，并对所述水洗区的传送轮进行清洁。

具体地，所述清洁装置可以包含清洁轮11和支架12，其中，所述清洁轮可以是圆形的清洁轮，也可以是其他形状的清洁轮，这里不做具体限定。

所述清洁轮11可以包含清洁层111，所述清洁轮11可以固定在所述支架12上，所述支架12可以被固定在所述机体上。

所述清洁层111可以与所述水洗区的传送轮相接触，在所述水洗区的传送轮转动时，所述清洁轮11可以被带动转动，这样，在所述清洁轮11转动的过程中，所述清洁轮11包含的清洁层111可以实现对所述水洗区的传送轮的清洁，并除去所述传送轮上附着的污垢。

在本实用新型实施例中，所述传送轮在带动所述清洁轮11转动时，可以通过与所述清洁轮11之间的摩擦力带动所述清洁轮11转动，也可以通过其他方式带动所述清洁轮11转动，这里不做具体限定。

需要说明的是，在本实用新型实施例中，所述清洁轮11可以在所述传送轮传送基板的过程中，对所述传送轮进行清洁，也可以在所述传送轮不传送基板时(即所述传送轮处于非工作状态时)，通过控制所述传送轮转动，对所述传送轮进行清洁，这里不做具体限定。

优选地，所述支架12包括第一支杆121和第二支杆122，其中：

所述第一支杆121的第一端被固定在所述机体上，所述第一支杆121的第二端与所述第二支杆122的第一端连接；

所述第二支杆122的第二端与所述清洁轮11连接。

如图1所示，所述支架12可以分为两部分，一部分为第一支杆121，另一 部分为第二支杆122。

需要说明的是，这里的“第一”和“第二”是为了便于区分所述支架12包含的两部分支杆，没有其他特殊含义。

在本实用新型实施例中，所述第一支杆121和所述第二支杆122分别包含两个端。

如图1所示，所述第一支杆121可以被固定在所述机体上，其中，可以将所述第一支杆121与所述机体连接的那一端称为所述第一支杆121的第一端，将所述第一支杆121与所述第二支杆122连接的那一端称为所述第一支杆121的第二端，即所述第一支杆121的第一端被固定在所述机体上，所述第一支杆121的第二端与所述第二支杆122的第一端连接。

对于所述第二支杆122，所述第二支杆122分别与所述第一支杆121以及所述清洁轮11连接，其中，可以将所述第二支杆122与所述第一支杆121连接的那一端称为所述第二支杆122的第一端，将所述第二支杆122与所述清洁轮11连接的那一端称为所述第二支杆122的第二端连接，即所述第二支杆122的第一端与所述第一支杆121的第二端连接，所述第二支杆122的第二端与所述清洁轮11连接。

优选地，所述第一支杆121的第二端与所述第二支杆122的第一端连接，包括：

所述第一支杆121的第二端与所述第二支杆122的第一端活动连接，以调整所述清洁轮11与所述传送轮的相对位置，使得所述清洁轮11与所述传送轮相接触，其中，所述清洁轮11与所述第二支杆122连接。

在实际应用中，在将所述传送轮清洁装置固定在所述水洗区的机台上时，可能存在所述清洁轮11与所述水洗区的传送轮没有相互接触的情况，为了使所述清洁轮11与所述水洗区的传送轮相互接触，可以使所述第一支杆121的第二端与所述第二支杆122的第一端活动连接。

在本实用新型实施例中，所述活动连接可以是螺栓连接，也可以是其他活 动连接的方式，不做具体限定。

例如，所述第一支杆121的第二端与所述第二支杆122的第一端之间的连接可以是螺栓连接，此时，可以将螺栓拆卸，并转动所述第二支杆122，并在转动所述第二支杆122的过程中，使得所述清洁轮11与所述水洗区的传送轮相接触，在确定所述清洁轮11与所述水洗区的传送轮相接触时，使用所述螺栓将所述第二支杆122的第一端固定在所述第一支杆121的第二端。

优选地，所述传送轮与所述清洁轮11相外切。

在本实用新型实施例中，所述传送轮与所述清洁轮11之间的相对位置，可以是所述传送轮与所述清洁轮11相外切，这样，可以使得所述传送轮更容易带动所述清洁轮11转动，提高所述清洁轮11对所述传送轮的清洁效率。

在本实用新型实施例中，所述清洁轮11上的清洁层111所使用的材料可以为耐腐蚀性材料。

由于所述剥离区的剥离液具有腐蚀性，剥离液在进入到水洗区时，会腐蚀水洗区的清洁轮11包含的所述清洁层111，因此，所述清洁层111所使用的材料可以为耐腐蚀性的材料，这样，可以避免所述清洁层111被剥离液腐蚀，延长所述清洁层111的使用寿命。

可选地，所述清洁层111以可拆卸的方式固定在所述清洁轮11的表面。

将所述清洁层111以可拆卸的方式固定在所述清洁轮11的表面，这样，在清洁层111发生破损时，可以将所述清洁层111从所述清洁轮11上拆卸下来，并更换所述清洁层111。

在本实用新型实施例中，还可以根据实际情况，或者按照设定时间周期定期更换所述清洁层111，这里不做具体限定，所述设定时间周期可以根据实际情况确定。

图2为本实用新型实施例提供的一种传送轮清洁装置与传送轮的相对位置关系的示意图，其中，21代表传送轮，22代表机体，23代表传送轮清洁装置，其中，所述机体可以是位于水洗区的机体。

如图2所示，在机体上固定有三组传送轮，每组传送轮包含4个所述传送轮21，每两组传送轮之间固定有一组传送轮清洁装置，每一组传送轮清洁装置包含4个所述传送轮清洁装置23。

需要说明的是，在本实用新型实施例中，为了便于两组传送轮之间的传送轮清洁装置对两组传送轮进行清洁，每一个所述传送轮清洁装置23可以包含两个清洁轮，如图2所述，每个清洁轮分别与相邻的传送轮相接触，且每一个清洁轮与相邻的传送轮相外切。

针对其中一个传送轮清洁装置23，在传送轮转动的过程中，所述传送轮清洁装置23包含的两个清洁轮可以分别被与其相接触的传送轮带动转动，这样，所述传送轮清洁装置23包含的两个清洁轮可以分别清洁与其相接触的传送轮。

在实际应用中，机体上可以固定有多组传送轮以及多组传送轮清洁装置，可以根据机体上固定的传送轮的具体数量确定传送轮清洁装置的数量，其中，每两组传送轮之间的传送轮清洁装置的数量与每组传送轮包含的传送轮的个数一致。

本实用新型实施例提供的一种传送轮清洁装置，包括：包含清洁层的清洁轮和支架，所述清洁轮固定在所述支架上，所述支架被固定在机体上，其中：所述清洁轮上的清洁层与所述传送轮相接触，所述清洁轮在所述传送轮转动时被带动转动，所述清洁层在所述清洁轮转动时对所述传送轮进行清洁。这样，传送轮在转动时，可以带动清洁轮一起转动，清洁轮在转动的过程中，清洁轮上的清洁层可以清洁并除去传送轮上粘附的污垢，使得传送轮在传送后续基板时，后续基板上不会附着污垢，进而有效提高基板的质量。

本实用新型是参照根据本实用新型实施例的方法、装置(设备)的流程图和/或方框图来描述的。尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (6)

1.一种传送轮清洁装置，其特征在于，包括：支架，设置在所述支架上的清洁轮，所述支架被固定在设有传送轮的机体上，其中：所述清洁轮设有清洁层，所述清洁轮上的清洁层与所述传送轮相接触，所述清洁轮在所述传送轮转动时被带动转动，所述清洁层在所述清洁轮转动时对所述传送轮进行清洁。

2.如权利要求1所述的传送轮清洁装置，其特征在于，所述支架包括第一支杆和第二支杆，其中：

所述第一支杆的第一端被固定在所述机体上，所述第一支杆的第二端与所述第二支杆的第一端连接；

所述第二支杆的第二端与所述清洁轮连接。

3.如权利要求2所述的传送轮清洁装置，其特征在于，所述第一支杆的第二端与所述第二支杆的第一端连接，包括：

所述第一支杆的第二端与所述第二支杆的第一端活动连接，以调整所述清洁轮与所述传送轮的相对位置，使得所述清洁轮与所述传送轮相接触，其中，所述清洁轮与所述第二支杆连接。

4.如权利要求1至3任一项所述的传送轮清洁装置，其特征在于，所述传送轮与所述清洁轮相外切。

5.如权利要求1所述的传送轮清洁装置，其特征在于，所述清洁轮上的清洁层所使用的材料为耐腐蚀性材料。

6.如权利要求5所述的传送轮清洁装置，其特征在于，所述清洁层以可拆卸的方式固定在所述清洁轮的表面。