CN206015145U - 一种用于放置多晶硅料的放置筒和多晶硅料清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于放置多晶硅料的放置筒，包括筒体和密封盖，筒体具有多个孔洞，筒体的左端或右端具有开口，开口与密封盖连接。除此之外，本实用新型还公开了一种多晶硅料清洗装置，包括如上述所述的用于放置多晶硅料的放置筒和放置有清洗酸液的密封浸泡池，所述多晶硅料清洗筒横向放置在所述密封浸泡池内。所述用于放置多晶硅料的放置筒和多晶硅料清洗装置，通过将多晶硅料放置在筒体内，在进行硅料清洗时，只要将筒体放置在浸泡池内，即可完成对硅料的清洗，完成清洗后，将筒体从浸泡池中取出后，浸泡池中的酸液还可以继续使用，使得清洗池中的酸液能够被重复利用，减少了酸液的使用量和后续酸液处理的费用，降低了成本。

Description

一种用于放置多晶硅料的放置筒和多晶硅料清洗装置

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭领域，特别是涉及一种用于放置多晶硅料的放置筒和多晶硅料清洗装置。

背景技术

多晶铸锭技术的竞争，其实际上就是硅片质量和生产成本的竞争。而硅料纯度直接决定了硅片的质量，因此，在硅料清洗过程中如何使硅料清洗效果最佳同时降低清洗成本的硅料清洗方法则显得尤为重要。

目前，需要浸泡除杂的硅料在浸泡过程只是使用酸液浸泡一定的时间，而该过程中未对硅料进行搅拌，或者搅拌幅度较小，由于部分硅料较小，硅料和硅料之间接触比较紧密，且清洗量大，酸液未能和硅料充分接触，进而导致硅料浸泡效果不佳，进而影响多晶铸锭质量。而一次使用后的酸洗被当做废液排出，增加了酸液的使用量和清洗成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于放置多晶硅料的放置筒和多晶硅料清洗装置，提高酸液的利用效率，减轻清洗压力和搬运压力。。

为解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种用于放置多晶硅料的放置筒，包括筒体和密封盖，所述筒体具有多个孔洞，所述筒体的左端或右端具有开口，所述开口与所述密封盖连接。

其中，所述筒体通过连接杆与所述密封盖连接。

其中，还包括底部设置于所述筒体上的旋转轴。

其中，所述旋转轴设置于所述筒体的两端或中央。

其中，还包括与所述旋转轴的顶端连接的电机。

其中，所述筒体的纵截面为圆形。

其中，多个所述孔洞在所述筒体上周向分布。

其中，所述筒体的两端的直径大于中央的直径。

除此之外，本实用新型实施例还提供了一种多晶硅料清洗装置，包括如上述所述的用于放置多晶硅料的放置筒和放置有清洗酸液的密封浸泡池，所述多晶硅料清洗筒横向放置在所述密封浸泡池内。

本实用新型实施例所提供的用于放置多晶硅料的放置筒和多晶硅料清洗装置，与现有技术相比，具有以下优点：

本实用新型实施例所提供的用于放置多晶硅料的放置筒，包括筒体和密封盖，所述筒体具有多个孔洞，所述筒体的左端或右端具有开口，所述开口与所述密封盖连接。

除此之外，本实用新型实施例公开的多晶硅料清洗装置，包括如上述所述的用于放置多晶硅料的放置筒和放置有清洗酸液的密封浸泡池，所述多晶硅料清洗筒横向放置在所述密封浸泡池内。

所述用于放置多晶硅料的放置筒和多晶硅料清洗装置，通过将多晶硅料放置在筒体内，在进行硅料清洗时，只要将筒体放置在浸泡池内，即可完成对硅料的清洗，完成清洗后，将筒体从浸泡池中取出后，浸泡池中的酸液还可以继续使用，使得清洗池中的酸液能够被重复利用，减少了酸液的使用量和后续酸液处理的费用，降低了成本。同时，在多晶硅料的清洗和搬运过程中，只需要将多晶硅料放置在筒体内即可，减轻了工作人员的清洗和搬运压力，使工作人员不易受到酸液挥发出的酸性气体的侵害，提高了工作安全性，提高了工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例所提供的用于放置多晶硅料的放置筒的一种实施方式的纵截面示意图。

具体实施方式

正如背景技术部分所述，现有技术目前的硅料浸泡酸洗过程的主要缺点：

硅料浸泡过程中，一般不会对硅料进行搅拌，这样就导致了在浸泡过程中酸液浓度不均，由于不进行搅拌，硅料在浸泡槽内不会翻腾，硅料之间相互挤压，部分接触紧密的硅料就不能被充分浸泡，杂质不能被充分去除，清洗效果不佳；

部分公司在清洗过程中会对浸泡硅料进行简单的人工手动搅拌，这样挥发出的酸雾和搅拌过程中溅出的酸液会侵害操作人员，造成人员伤害，而且搅拌效果不佳；

酸液单次使用后会作为废液被排放，大大增加了酸液的使用量，造成极大浪费，并且提高了后续酸液处理的费用，增加了公司的生产成本。

基于此，本实用新型实施例提供了一种用于放置多晶硅料的放置筒，包括筒体和密封盖，所述筒体具有多个孔洞，所述筒体的左端或右端具有开口，所述开口与所述密封盖连接。

除此之外，本实用新型实施例还提供了一种多晶硅料清洗装置，包括如上述所述的用于放置多晶硅料的放置筒和放置有清洗酸液的密封浸泡池，所述多晶硅料清洗筒横向放置在所述密封浸泡池内。

综上所述，本实用新型实施例所提供的用于放置多晶硅料的放置筒和多晶硅料清洗装置，通过将多晶硅料放置在筒体内，在进行硅料清洗时，只要将筒体放置在浸泡池内，即可完成对硅料的清洗，完成清洗后，将筒体从浸泡池中取出后，浸泡池中的酸液还可以继续使用，使得清洗池中的酸液能够被重复利用，减少了酸液的使用量和后续酸液处理的费用，降低了成本。同时，在多晶硅料的清洗和搬运过程中，只需要将多晶硅料放置在筒体内即可，减轻了工作人员的清洗和搬运压力，使工作人员不易受到酸液挥发出的酸性气体的侵害，提高了工作安全性，提高了工作效率。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广。因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。

请参考图1，图1为本实用新型实施例所提供的用于放置多晶硅料的放置筒的一种实施方式的纵截面示意图。

在一种具体方式中，所述用于放置多晶硅料的放置筒，包括筒体10和密封盖20，所述筒体10具有多个孔洞，所述筒体10的左端或右端具有开口，所述开口与所述密封盖20连接。

所述用于放置多晶硅料的放置筒，通过将多晶硅料放置在筒体10内，在进行硅料清洗时，只要将筒体10放置在浸泡池内，即可完成对硅料的清洗，完成清洗后，将筒体10从浸泡池中取出后，浸泡池中的酸液还可以继续使用，使得清洗池中的酸液能够被重复利用，减少了酸液的使用量和后续酸液处理的费用，降低了成本。同时，在多晶硅料的清洗和搬运过程中，只需要将多晶硅料放置在筒体10内即可，减轻了工作人员的清洗和搬运压力，使工作人员不易受到酸液挥发出的酸性气体的侵害，提高了工作安全性，提高了工作效率。

需要说明的是，本实用新型对筒体10上的孔洞的尺寸不做具体限定，可以根据不同的硅料的尺寸设计不同的孔洞的大小，当然筒体10上的最大的空洞要小于最小的硅料，这样才不至于将硅料漏出。

此外，还可以在最初设计时将筒体10上的空洞设计的较大一些，在进行较小尺寸的硅料清洗和搬运时，设计一层可以卷曲的板包裹在所述筒体10上，卷曲板上的空洞覆盖筒体10的孔洞，卷曲板上的空洞小于需要搬运或清洗的硅料的尺寸，这样设计只需要设计一个筒体10，多个卷曲板，即可完成对多个不同尺寸的硅料的搬运和清洗。

密封盖20的作用是在将硅料放置进行筒体10后，防止硅料从筒体10中漏出，密封盖20可以是内嵌入筒体10的端口，使用螺栓连接，也可以是采用法兰连接，或者是所述筒体10通过连接杆30与所述密封盖20连接。

为加快清洗速度，现有技术中会对硅料进行搅拌，但是在本实用新型实施例中由于硅料是内置于筒体10内的，直接搅拌非常不方便，而搅拌的原理是只要酸液和硅料发生相对运动即可，类似于洗衣机的工作原理，洗衣机内的水与衣料发生相对运动，实现水流对衣物的冲刷。基于此，所述用于放置多晶硅料的放置筒还包括底部设置于所述筒体10上的旋转轴。

需要说明的是，所述旋转轴可以是带动筒体10的其所在的平面内进行水平转动，可以进行滚动，两种方式都可以使酸液与硅料发生相对运动，达到搅拌的效果，但是很明显，在滚动的过程中，硅料会发生发幅度的翻滚，搅拌的效果更好。

在本实用新型中筒体10的转动可以是进行造整个圆周的转动或滚动，即始终是一个方向转动或滚动，即始终是顺时针或逆时针，也可以是在一定的小范围内来回进行滚动或转动，前者的运动范围较大，需要的酸液浸泡池的体积较大，后者的运动范围较小，而且由于来回周期性的滚动或者转动，置于筒体10内的硅料容易发生大幅度的翻滚，清洗效果更好一些。

一般所述旋转轴设置于所述筒体10的两端或中央，在对筒体10进行水平转动时，转动轴设置在筒体10的任意位置均可，转动轴设置在筒体10的两端时，转动的范围较大，在转动角速度不变时，硅料与酸液的相对速度较大，清洗效果较好，将转动轴设置在筒体10的中央时，容易保持平衡，容易实现较高的转动角速度，筒体10的运动范围小。

而如果要实现筒体10的滚动，一般还是将转动轴设置在筒体10的两端。

由于对筒体10实现转动一般为人工带动或者机械带动，人工带动成本高，效率低，一般为机械带动，使用电极带动，即所述用于放置多晶硅料的放置筒还包括与所述旋转轴的顶端连接的电机。

本实用新型对电极及其功率不做具体限定。

为减少或避免筒体10的转动或者滚动对酸液浸泡池的损伤，所述筒体10的纵截面为圆形。

为使得筒体10内的酸液始终能够与浸泡池中的酸液交流，多个所述孔洞在所述筒体10上周向分布。

需要说明的是，本实用新型对筒体10上的空洞的数量以及具体的排布方式不做具体限定。

为使得筒体10在转动或滚动中，孔洞不与浸泡池接触，保持空洞两侧的酸液的流动，所述筒体10的两端的直径大于中央的直径。

除此之外，本实用新型实施例还提供了一种多晶硅料清洗装置，包括如上述所述的用于放置多晶硅料的放置筒和放置有清洗酸液的密封浸泡池，所述多晶硅料清洗筒横向放置在所述密封浸泡池内。

由于多晶硅料清洗装置具有上述的用于放置多晶硅料的放置筒，具有相同的效果，本实用新型在此不做赘述。

综上所述，本实用新型实施例所提供的用于放置多晶硅料的放置筒和多晶硅料清洗装置，通过将多晶硅料放置在筒体内，在进行硅料清洗时，只要将筒体放置在浸泡池内，即可完成对硅料的清洗，完成清洗后，将筒体从浸泡池中取出后，浸泡池中的酸液还可以继续使用，使得清洗池中的酸液能够被重复利用，减少了酸液的使用量和后续酸液处理的费用，降低了成本。同时，在多晶硅料的清洗和搬运过程中，只需要将多晶硅料放置在筒体内即可，减轻了工作人员的清洗和搬运压力，使工作人员不易受到酸液挥发出的酸性气体的侵害，提高了工作安全性，提高了工作效率。

以上对本实用新型所提供的用于放置多晶硅料的放置筒和多晶硅料清洗装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (9)

1.一种用于放置多晶硅料的放置筒，其特征在于，包括筒体和密封盖，所述筒体具有多个孔洞，所述筒体的左端或右端具有开口，所述开口与所述密封盖连接。

2.如权利要求1所述的用于放置多晶硅料的放置筒，其特征在于，所述筒体通过连接杆与所述密封盖连接。

3.如权利要求2所述的用于放置多晶硅料的放置筒，其特征在于，还包括底部设置于所述筒体上的旋转轴。

4.如权利要求3所述的用于放置多晶硅料的放置筒，其特征在于，所述旋转轴设置于所述筒体的两端或中央。

5.如权利要求4所述的用于放置多晶硅料的放置筒，其特征在于，还包括与所述旋转轴的顶端连接的电机。

6.如权利要求5所述的用于放置多晶硅料的放置筒，其特征在于，所述筒体的纵截面为圆形。

7.如权利要求6所述的用于放置多晶硅料的放置筒，其特征在于，多个所述孔洞在所述筒体上周向分布。

8.如权利要求7所述的用于放置多晶硅料的放置筒，其特征在于，所述筒体的两端的直径大于中央的直径。

9.一种多晶硅料清洗装置，其特征在于，包括如权利要求1-8任意一项所述的用于放置多晶硅料的放置筒和放置有清洗酸液的密封浸泡池，所述多晶硅料清洗筒横向放置在所述密封浸泡池内。