CN205990235U - 一种锗烷提纯系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种锗烷提纯系统,涉及气体分配领域,包括主管道、至少一锗烷源和至少一收集装置,主管道上依次串联有二氧化碳吸收装置,4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置,二氧化碳吸收装置、4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置的进气口和出气口均配设有隔离阀,主管道靠近二氧化碳吸收装置的一端与锗烷源相连接,靠近粉尘过滤装置的一端与收集装置相连接。本实用新型的有益效果:可以系统的,有效的去除锗烷中的二氧化碳、双锗烷、三锗烷、N2、水分、粉尘等杂质,达到提纯锗烷的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体分配领域,更具体的讲是一种锗烷提纯系统。
背景技术
锗烷为剧毒、可分解爆炸物质,因此对整个生产工艺流程设备材质的选择和处理方面有一定的难度,特别是对反应系统的密闭性和尾气的处理更应该重视。锗烷气体在生产的过程中,会产生各种杂质,犹如二氧化碳,双锗烷,三锗烷,N2和水分等,为了获得更高纯度的气体锗烷,就需要有好的除杂提纯装置,而目前并没有一种较为系统的,有效的,灵活多变的提纯装置。
发明内容
本实用新型提供一种锗烷提纯系统,目的在于解决现有工业生产出来的锗烷含多种杂质,而目前并没有一种较为有效的,系统的,灵活多变的锗烷提纯装置的问题。
本实用新型采用如下技术方案:
一种锗烷提纯系统,包括主管道、二氧化碳吸收装置,4A分子筛装置、13X分子筛装置、粉尘过滤装置、至少一锗烷源和至少一收集装置,所述二氧化碳吸收装置,4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置依次串联于主管道上,所述二氧化碳吸收装置、4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置的进气口和出气口均配设有隔离阀,主管道靠近二氧化碳吸收装置的一端与锗烷源相连接,靠近粉尘过滤装置的一端与收集装置相连接。
进一步,还包括复数个带隔离阀的分支管道,所述二氧化碳吸收装置、4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置各自的进气口与出气口均通过所述分支管道相连接。
进一步,所述二氧化碳吸收装置,4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置均可拆卸地连接于主管道。
进一步,所述收集装置为气体钢瓶。
进一步,所述锗烷源为锗烷汇流排。
进一步,所述二氧化碳吸收装置,4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置均设有压力表。
由上述对本实用新型结构的描述可知,本实用新型具有如下优点:
其一、本实用新型包括主管道、至少一锗烷源和至少一收集装置,主管道上依次串联有二氧化碳吸收装置,4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置,二氧化碳吸收装置、4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置的进气口和出气口均配设有隔离阀,主管道靠近二氧化碳吸收装置的一端与锗烷源相连接,靠近粉尘过滤装置的一端与收集装置相连接。借助二氧化碳吸收装置,4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置,可以系统的,有效的去除锗烷中的二氧化碳、双锗烷、三锗烷、N2、水分、粉尘等杂质,达到提纯锗烷的地目。
其二、本实用新型还包括复数个带隔离阀的分支管道,所述二氧化碳吸收装置、4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置各自的进气口与出气口均通过所述分支管道相连接。据锗烷中杂质的种类和含量可以适当的关闭某些装置,让本实用新型使用起来更加灵活,对提高提纯效率和降低提纯成本有很大帮助。
其三、本实用新型中,二氧化碳吸收装置,4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置均可拆卸地连接于主管道。各装置可以拆卸下来,进行活化再生处理,以重复利用,以控制提纯成本。
附图说明
图1为本实用新型的框架示意图。
具体实施方式
下面参照附图说明本实用新型的具体实施方式。
参照图1,一种锗烷提纯系统,包括主管道10、二氧化碳吸收装置2,4A分子筛装置3、13X分子筛装置4、粉尘过滤装置5、至少一锗烷源1和至少一收集装置6。二氧化碳吸收装置2,4A分子筛装置3、13X分子筛装置4和粉尘过滤装置5依次串联于主管道10上,并且二氧化碳吸收装置2,4A分子筛装置3、13X分子筛装置4和粉尘过滤装置5的进气口和出气口均配设有隔离阀。具体的,二氧化碳吸收装置2的进气口和出气口对应设有隔离阀21和隔离阀22;4A分子筛装置3的进气口和出气口对应设有隔离阀31和隔离阀32;13X分子筛装置4的进气口和出气口对应设有隔离阀41和隔离阀42;粉尘过滤装置5的进气口和出气口对应设有隔离阀51和隔离阀52。主管道10靠近二氧化碳吸收装置2的一端与锗烷源1相连接,靠近粉尘过滤装置5的一端与收集装置6相连接。
参照图1,该锗烷提纯系统还包括复数个带隔离阀的分支管道,二氧化碳吸收装置2,4A分子筛装置3、13X分子筛装置4和粉尘过滤装置5各自的进气口与出气口均通过上述分支管道相连接。具体地,二氧化碳吸收装置2的进气口和出气口通过带隔离阀的分支管道71相连接;4A分子筛装置3的进气口和出气口通过带隔离阀的分支管道72相连接;13X分子筛装置4的进气口和出气口通过带隔离阀的分支管道73相连接;粉尘过滤装置5的进气口和出气口通过带隔离阀的分支管道74相连接。
参照图1,二氧化碳吸收装置2,4A分子筛装置3、13X分子筛装置4和粉尘过滤装置5均可拆卸地连接于主管道10上。各装置可以拆卸下来,进行活化再生处理,以重复利用。而粉尘过滤装置5可以更换里面的过滤棉。
参照图1,作为优选方案:收集装置6为气体钢瓶;锗烷源1为锗烷汇流排。二氧化碳吸收装置2,4A分子筛装置3、13X分子筛装置4和粉尘过滤装置5均设有压力表(8),以实时监控各装置内部的压力情况。
参照图1,该锗烷提纯系统的使用方式:打开二氧化碳吸收装置2,4A分子筛装置3、13X分子筛装置4和粉尘过滤装置5的进气口和出气口的相应隔离阀,同时关闭各分支管道的隔离阀,让锗烷源的锗烷依次通过二氧化碳吸收装置2,4A分子筛装置3、13X分子筛装置4和粉尘过滤装置5以去除锗烷中的二氧化碳、双锗烷、三锗烷、N2、水分、粉尘等杂质,达到提纯的目的,提纯后的锗烷由收集装置6收集备用。根据锗烷中杂质的种类和含量的不同可以适当的关闭该锗烷提纯系统中的某些装置,以提高提纯效率和降低提纯成本。例如当锗烷源所提供的锗烷中二氧化碳含量为零或者极低时,可以将用于去除二氧化碳的二氧化碳吸收装置2关闭,具体操作为:闭合隔离阀21和隔离阀22,同时打开分支管道71的隔离阀,让锗烷源所提供的锗烷绕过二氧化碳吸收装置2直接进入下一个装置进行提纯处理。
上述仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的设计构思并不局限于此,凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动,均应属于侵犯本实用新型保护范围的行为。
Claims (6)
1.一种锗烷提纯系统,其特征在于:包括主管道、二氧化碳吸收装置,4A分子筛装置、13X分子筛装置、粉尘过滤装置、至少一锗烷源和至少一收集装置,所述二氧化碳吸收装置,4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置依次串联于主管道上,所述二氧化碳吸收装置、4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置的进气口和出气口均配设有隔离阀,主管道靠近二氧化碳吸收装置的一端与锗烷源相连接,靠近粉尘过滤装置的一端与收集装置相连接。
2.根据权利要求1所述的一种锗烷提纯系统,其特征在于:还包括复数个带隔离阀的分支管道,所述二氧化碳吸收装置、4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置各自的进气口与出气口均通过所述分支管道相连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种锗烷提纯系统,其特征在于:所述二氧化碳吸收装置,4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置均可拆卸地连接于主管道。
4.根据权利要求1或2所述的一种锗烷提纯系统,其特征在于:所述收集装置为气体钢瓶。
5.根据权利要求1所述的一种锗烷提纯系统,其特征在于:所述锗烷源为锗烷汇流排。
6.根据权利要求1或2所述的一种锗烷提纯系统,其特征在于:所述二氧化碳吸收装置,4A分子筛装置、13X分子筛装置和粉尘过滤装置均设有压力表。
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CN111777040A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-10-16 | 江西华特电子化学品有限公司 | 一种高纯锗烷的纯化生产工艺及其生产系统 |
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CN117216577A (zh) * | 2023-11-07 | 2023-12-12 | 博纯材料股份有限公司 | 基于锗烷提纯系统的温度监测方法及系统 |
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