CN205965807U - 锗烷紧急排放系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及突发事件锗烷的储存和处理技术领域，公开了一种锗烷紧急排放系统，包括了若干紧急排放罐、氮气管道和真空管道，根据整体结构对锗烷紧急排放系统进行合理的设计，能够很好的储存和处理好在反应的过程中发生突发事件时锗烷的安全问题，并且能有效的提高整个反应系统的可操作性。整体系统的设计解决了锗烷反应系统在发生紧急突发事件时锗烷无法储存和处理的技术难题，有效的提高了在整个反应的安全性和可操作性。
Description
技术领域
本实用新型涉及突发事件锗烷的储存和处理技术领域，特别是锗烷紧急排放系统。
背景技术
锗烷是一种在半导体工业上有重要用途的危险性的气体，同时也是毒性很高的无色气体，如果在生产反应的过程中发生紧急突发事件不能很好的储存处理好锗烷，使得反应罐中的压力无法排放掉，很有可能会发生因为压力过高而发生泄漏中毒以及爆炸的危险。一直以来对于在反应过程中发生紧急突发事件时如何有效安全的储存处理锗烷都没有一个很好的方法或者技术，从而潜在的危险是不可想象的。
而且目前国内还没有看到有在紧急突发事件中储存处理锗烷的技术，因此设计出有效安全的装置来解决这一问题迫不及待。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种锗烷紧急排放系统，以满足紧急突发事件时锗烷无法储存和处理的空白，同时提高整个反应系统的安全性和可操作性，防止发生一些可怕而无法挽回的损失。
为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型公开了一种锗烷紧急排放系统，锗烷紧急排放系统与尾气处理装置和锗烷反应器相连,其特征在于，包括了若干紧急排放罐、氮气管道和真空管道，若干紧急排放罐通过排放管道相互串联，氮气管道和真空管道分别与各个紧急排放罐相连。
其中，尾气处理装置通过尾气排放管道与各个紧急排放罐相连，锗烷反应器通过反应输送管道与各个紧急排放罐相连，尾气排放管道和反应输送管道上安装有若干个隔离阀，所述的紧急排放罐上安装有压力表。
其中，各个紧急排放罐结构相同，均采用不锈钢材质制成，内衬聚四氟乙烯。
其中，尾气排放管道靠近尾气处理装置一端安装有气动隔离阀。
本实用新型具有以下有益效果：
本申请根据整体结构对锗烷紧急排放系统进行合理的设计，能够很好的储存和处理好在反应的过程中发生突发事件时锗烷的安全问题，并且能有效的提高整个反应系统的可操作性。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
1：尾气处理装置，2：锗烷反应器，3：氮气管道，4：真空管道，5：紧急排放罐，6：反应输送管道，7：尾气排放管道，8：隔离阀，9：压力表，10：气动隔离阀。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。
如图1所示，本实用新型公开了一种锗烷紧急排放系统，锗烷紧急排放系统与尾气处理装置1和锗烷反应器2相连,其特征在于，包括了若干紧急排放罐5、氮气管道3和真空管道4，若干紧急排放罐5通过排放管道相互串联，氮气管道3和真空管道4分别与各个紧急排放罐5相连。
其中，尾气处理装置1通过尾气排放管道7与各个紧急排放罐5相连，锗烷反应器2通过反应输送管道6与各个紧急排放罐5相连，尾气排放管道7和反应输送管道6上安装有隔离阀8，紧急排放罐5上安装有压力表9。其中，尾气排放管道7靠近尾气处理装置1一端安装有气动隔离阀10。
工作原理：
在常态情况下，通过真空管道4排尽各个紧急排放罐5内气体，保证关闭所有隔离阀8和气动隔离阀10，确保每个储罐都出于负压状态。
当反应系统出现紧急突发事件需要将内部的气体排放掉的时候，打开锗烷反应器2与各个紧急排放罐5相连的反应输送管道6上的隔离阀8，让锗烷反应器2排放到锗烷紧急排放系统中，这时候锗烷紧急排放系统内的负压起到了很好的吸力，能快速的将反应罐中的锗烷转移到紧急排放罐5中。然后顺次打开尾气处理装置1与各个紧急排放罐5相连的尾气排放管道7上的隔离阀8和气动隔离阀10，将锗烷紧急排放系统中的锗烷经过尾气处理装置1处理掉。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.锗烷紧急排放系统，所述的锗烷紧急排放系统与尾气处理装置和锗烷反应器相连,其特征在于，包括了若干紧急排放罐、氮气管道和真空管道，所述的若干紧急排放罐通过排放管道相互串联，所述的氮气管道和真空管道分别与各个紧急排放罐相连。
2.如权利要求1所述的锗烷紧急排放系统，其特征在于，所述的尾气处理装置通过尾气排放管道与各个紧急排放罐相连，所述的锗烷反应器通过反应输送管道与各个紧急排放罐相连，所述的尾气排放管道和反应输送管道上安装有若干个隔离阀，所述的紧急排放罐上安装有压力表。
3.如权利要求1所述的锗烷紧急排放系统，其特征在于，所述的各个紧急排放罐结构相同，均采用不锈钢材质制成，内衬聚四氟乙烯。
4.如权利要求2所述的锗烷紧急排放系统，其特征在于，所述的尾气排放管道靠近尾气处理装置一端安装有气动隔离阀。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201620933294.8U CN205965807U (zh) | 2016-08-25 | 2016-08-25 | 锗烷紧急排放系统 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN205965807U true CN205965807U (zh) | 2017-02-22 |
Family
ID=58033805
Family Applications (1)
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| CN201620933294.8U Active CN205965807U (zh) | 2016-08-25 | 2016-08-25 | 锗烷紧急排放系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205965807U (zh) |
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2016
- 2016-08-25 CN CN201620933294.8U patent/CN205965807U/zh active Active
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