CN205933624U - 一种真空镀膜设备的进出片室 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种真空镀膜设备的进出片室,包括箱体和固定框架,所述箱体的外壁与固定框架焊接并形成一矩形凹陷空间,其中,所述进出片室还包括一矩形密封板,所述密封板在其四周内壁上固定有密封条,所述密封板通过固定装置固定在所述固定框架上并密封所述矩形凹陷空间,所述密封板上设有至少一通孔,所述至少一通孔通过连接装置与进出片室的抽气管道流体连通。由于通过密封板封闭的矩形凹陷空间与进出片室的抽气管道流体连通,因此该矩形凹陷空间与进出片室同时抽气或进气,从而它们之间基本上没有压差,使得该凹陷空间四周的焊缝不会裂开。

Description

一种真空镀膜设备的进出片室
技术领域
本实用新型涉及玻璃片真空镀膜设备,具体地说,涉及一种真空镀膜设备的进出片室。
背景技术
现有真空镀膜设备的进出片室为了减少内部空间及制造成本,通常其箱体外壁与固定框架会形成一矩形凹陷空间。进出片室由于长期抽气、进气挤压膨胀造成该矩形凹陷空间四周的焊缝经常裂开而达不到真空要求。通常需要停机,检查泄漏点,再补焊,造成生产不稳定,生产效率低下。
实用新型内容
本实用新型旨在提供一种真空镀膜设备的进出片室,以解决现有进出片室的凹陷空间四周的焊缝容易开裂的问题。为此,采用的具体方案如下:
一种真空镀膜设备的进出片室,包括箱体和固定框架,所述箱体的外壁与固定框架焊接并形成一矩形凹陷空间,其中,所述进出片室还包括一矩形密封板,所述密封板在其四周内壁上固定有密封条,所述密封板通过固定装置固定在所述固定框架上并密封所述矩形凹陷空间,所述密封板上设有至少一通孔,所述至少一通孔通过连接装置与进出片室的抽气管道流体连通。
进一步地,所述固定装置包括所述固定装置包括焊接在所述固定框架上的固定块、可拆装压块和紧固螺栓,所述固定块与所述密封板齐平,并且与所述密封板之间形成一狭槽,所述压块上具有与所述紧固螺栓配合的螺孔,固定时紧固螺栓拧入所述螺孔和所述狭槽。
进一步地,所述连接装置包括连接装置包括第一连接接头、连接管和第二连接接头,所述第一连接接头固定在所述通孔上,所述第二连接接头为三通接头,所述连接管一端连接所述第一接头,另一端连接所述第二接头的一端,所述第二接头的另两端与所述进出片室的抽气管道连接。
进一步地,所述密封板由不锈钢板一体制成。
本实用新型采用以上技术方案,具有的有益效果是:由于通过密封板封闭的矩形凹陷空间与进出片室的抽气管道流体连通,因此该矩形凹陷空间与进出片室同时抽气或进气,从而它们之间基本上没有压差,使得该凹陷空间四周的焊缝不会裂开。
附图说明
图1 示出了现有技术的镀膜真空设备的进出片室的示意图;
图2示出了本实用新型的进出片室的示意图;
图3示出了本实用新型的密封板的背面示意图;
图4示出了本实用新型的固定装置的示意图;
图5示出了本实用新型的连接装置的示意图。
具体实施方式
为进一步说明各实施例,本实用新型提供有附图。这些附图为本实用新型揭露内容的一部分,其主要用以说明实施例,并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理。配合参考这些内容,本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点。图中的组件并未按比例绘制,而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。
现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。图1示出了现有技术的镀膜真空设备的进出片室1。进出片室1包括箱体10和固定框架20,箱体10的外壁与固定框架20焊接并形成一矩形凹陷空间30。因此,矩形凹陷空间30的四周具有焊缝40。在进出片室的频繁抽气、放气过程中,焊缝40会因箱体10的挤压膨胀而经常裂开,这会使进出片室的真空达不到要求。
图2示出了本实用新型的进出片室100。进出片室100与图1所示的进出片室1相比,增加了一矩形密封板150。为了显示清楚,图2中的矩形密封板150仅示出一部分。密封板150通过固定装置160固定在固定框架120上,以便密封矩形凹陷空间130。如图3所示,密封板150的四周内壁上固定有密封条1510,在其中间设置有至少一通孔1520,在本实施例为两个通孔1520,通孔1520周围布置有四个螺孔1530。如图4所示,固定装置160包括焊接在固定框架20上的固定块1610、可拆装压块1620和紧固螺栓1630。固定块1610与密封板150齐平,并且与之间密封板150形成一狭槽1640。压块1610上设有一螺孔1650,紧固螺栓1630插入螺孔1630和狭槽1640并拧紧以将密封板150固定在固定框架120上。此外,密封板150通孔1520通过连接装置170(参见图5)与进出片室的抽气管道180流体连通,以便使凹陷空间130与进出片室100同时抽气或进气。因此箱体110和凹陷空间130之间基本上没有压差,使得该凹陷空间四周的焊缝140不会裂开。优选地,密封板150由不锈钢板一体制成。
如图5所示,连接装置170包括第一连接接头1710、连接管1720和第二连接接头1730。第一连接接头1710具有与密封板的螺孔1530对应的螺孔1711。第一连接接头1710通过螺栓固定在密封板150上以与通孔1520连通,第二连接接头1730为三通接头,连接管1720一端接第一接头1710,另一端接第二接头1730的一端,第二接头1730的另两端与进气室的抽气管道180连接。
尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本实用新型,但所属领域的技术人员应该明白,在不脱离所附权利要求书所限定的本实用新型的精神和范围内,在形式上和细节上可以对本实用新型做出各种变化,均为本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种真空镀膜设备的进出片室,包括箱体和固定框架,所述箱体的外壁与固定框架焊接并形成一矩形凹陷空间,其特征在于:所述进出片室还包括一矩形密封板,所述密封板在其四周内壁上固定有密封条,所述密封板通过固定装置固定在所述固定框架上并密封所述矩形凹陷空间,所述密封板上设有至少一通孔,所述至少一通孔通过连接装置与进出片室的抽气管道流体连通。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的进出片室,其特征在于:所述固定装置包括焊接在所述固定框架上的固定块、可拆装压块和紧固螺栓,所述固定块与所述密封板齐平,并且与所述密封板之间形成一狭槽,所述压块上具有与所述紧固螺栓配合的螺孔,固定时紧固螺栓拧入所述螺孔和所述狭槽。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的进出片室,其特征在于:所述连接装置包括连接装置包括第一连接接头、连接管和第二连接接头,所述第一连接接头固定在所述通孔上,所述第二连接接头为三通接头,所述连接管一端连接所述第一连接接头,另一端连接所述第二连接接头的一端,所述第二连接接头的另两端与所述进出片室的抽气通道连接。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的进出片室,其特征在于:所述密封板由不锈钢板一体制成。
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