CN205910400U - 一种用于镜筒调焦的微调装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于镜筒调焦的微调装置，与现有技术相比解决了镜筒难以进行精细微调的缺陷。本实用新型中固定座的上表面和调节座的上表面均为斜面结构，固定座和调节座放置在台面上且两者呈镜像对应，当固定座与调节座相接在一起时，固定座上表面与调节座上表面组成倒置圆台结构，固定座的上表面和调节座的上表面均设有若干个滚珠凹槽，若干个滚珠凹槽内均安装有滚珠；承载台的底部为倒置圆台结构，承载台放置在固定座和调节座上，环形凸台安装在承载台上且镜筒穿过承载台和台面。本实用新型通过滚珠和斜坡面的巧妙结构设计，使得控制固定座和调节座之间的距离变化来推动承载台的上下移动，从而改变镜筒与焦面之间的距离。

Description

一种用于镜筒调焦的微调装置

技术领域

本实用新型涉及光刻机激光成像技术领域，具体来说是一种用于镜筒调焦的微调装置。

背景技术

曝光组件是PCB光刻设备的核心部件，通过曝光组件对PCB上感光胶进行曝光，产生相应的图形，而后通过一系列的工艺制作出所需要的PCB板。由于现在PCB板线路的线宽非常细，达到微米级，曝光组件的曝光效果要求非常高，而在设备中曝光组件往往非常重，如何对曝光组件的焦面能够精细调整就非常关键。因此研究出一种能够对曝光组件中镜筒的焦距进行精细微调的装置已经成为急需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中镜筒难以进行精细微调的缺陷，提供一种用于镜筒调焦的微调装置来解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于镜筒调焦的微调装置，包括镜筒和台面，镜筒的外壁上设有环形凸台，

还包括承载台、固定座和调节座，固定座和调节座均为半圆形结构，固定座的上表面和调节座的上表面均为斜面结构，固定座和调节座放置在台面上且两者呈镜像对应，当固定座与调节座相接在一起时，固定座上表面与调节座上表面组成倒置圆台结构，固定座的上表面和调节座的上表面均设有若干个滚珠凹槽，若干个滚珠凹槽内均安装有滚珠；承载台的底部为倒置圆台结构，承载台放置在固定座和调节座上，环形凸台安装在承载台上且镜筒穿过承载台和台面。

还包括辅助调节组件，所述的辅助调节组件包括螺孔座和螺杆座，螺孔座安装在固定座的外侧部，螺杆座安装在调节座的外侧部，螺孔座上设有螺孔，蝶形螺栓安装在螺杆座上且蝶形螺栓的前端固定在螺孔座的螺孔内。

所述的承载台下表面的直径大于固定座与调节座相接组合在一起所形成圆台下表面的直径，承载台上表面的外壁均与固定座的外壁、调节座的外壁上下对应。

有益效果

本实用新型的一种用于镜筒调焦的微调装置，与现有技术相比通过滚珠和斜坡面的巧妙结构设计，使得控制固定座和调节座之间的距离变化来推动承载台的上下移动，从而改变镜筒与焦面之间的距离，达到较好成像的结果。本实用新型能够方便实时调整距离，保证整个光路曝光效果完好，有效的解决了机台在安装过程中调节焦面的问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构正视图；

图2为本实用新型中承载台、固定座和调节座的安装结构立体图；

图3为图1的纵向剖视图；

图4为图2的A-A向剖视图；

其中，1-承载台、2-固定座、3-调节座、4-蝶形螺栓、5-镜筒、6-台面、7-滚珠、8-环形凸台、9-螺孔座、10-螺杆座。

具体实施方式

为使对本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，用以较佳的实施例及附图配合详细的说明，说明如下：

如图1和图3所示，本实用新型所述的一种用于镜筒调焦的微调装置，包括镜筒5和台面6，镜筒5的外壁上设有环形凸台8，环形凸台8与镜筒5为现有技术中的一体结构，环形凸台8用于镜筒5的安装固定。为了能够使得镜筒5能够进行上下位移，如图2和图4所示，在此设计承载台1、固定座2和调节座3。固定座2和调节座3均为半圆形结构，在固定座2的上表面和调节座3的上表面均为斜面结构，即固定座2的上表面和调节座3的上表面均为斜向内凹的锥形设计。固定座2和调节座3放置在台面6上且两者呈镜像对应，固定座2和调节座3由于需要左右位移，其与台面6并不固定，若为了增加固定座2和调节座3的位移稳定性，则可以在固定座2或调节座3与台面6之间设计轨道，使得固定座2和调节座3能够在台面6进行限位滑动。当固定座2与调节座3相接在一起时，固定座2上表面与调节座3上表面组成倒置圆台结构，固定座2上表面与调节座3上表面所组成的倒置圆台结构用于配合承载台1的底部倒置圆台结构而使用。

承载台1的底部为倒置圆台结构，其倒置圆台结构为圆台结构反过来的形状，即与圆台不同的是倒置圆台结构为上圆大、下圆小。承载台1底部的倒置圆台结构以配合固定座2与调节座3的组合设计，承载台1放置在固定座2和调节座3上。环形凸台8安装在承载台1上且镜筒5穿过承载台1和台面6，通过承载台1的上下移动则可以带动环形凸台8的上下移动。为了实现固定座2与调节座3的相对运动致使承载台1的上下位移，在固定座2的上表面和调节座3的上表面均设有若干个滚珠凹槽，若干个滚珠凹槽内均安装有滚珠7，则滚珠7的数量也为多个。这样便形成基于固定座2与调节座3两者间距的改变而形成承载台1的上下移动。

为了方便的控制固定座2与调节座3两者的间距距离，还可以设计辅助调节组件，辅助调节组件的数量最好为2个，2个辅助调节组件呈镜像对应布置，其稳定性较好。辅助调节组件包括螺孔座9和螺杆座10，螺孔座9上设有螺孔，螺孔座9用于蝶形螺栓4的前端插入，螺杆座10用于安装蝶形螺栓4。螺孔座9安装在固定座2的外侧部，螺杆座10安装在调节座3的外侧部，固定座2和调节座3两者位置相对应。蝶形螺栓4安装在螺杆座10上且蝶形螺栓4的前端固定在螺孔座9的螺孔内，这样通过旋转蝶形螺栓4的蝶形螺母便可以基于螺孔座9推动螺杆座10向其靠近或远离，实现固定座2和调节座3的靠近或远离。

为了更加方便固定座2与调节座3的间距控制来带动承载台1的上升和下降，可以设计承载台1下表面的直径大于固定座2与调节座3相接组合在一起所形成圆台下表面的直径，并且承载台1上表面的外壁均与固定座2的外壁、调节座3的外壁上下对应，如图2所示，这样便可以形成固定座2与调节座3之间的间距设计，为固定座2与调节座3之间的位移运动提供一定的位移范围。

在实际使用时，当需要镜筒5上升时，旋转蝶形螺栓4的蝶形螺母，使其推动螺杆座10向螺孔座9方向运动，即调节座3向固定座2方向运动。由于调节座3和固定座2上表面设有多个滚珠7，并且调节座3和固定座2的上表面与承载台1的下表面为相配合的圆台设计，因此承载台1在滚珠7的转动下被调节座3和固定座2给顶起，即承载台1的四周位于调节座3和固定座2上表面斜面结构的上部，从而实现承载台1上升，承载台1带动镜筒5的上升。当需要镜筒5下降时，反向旋转蝶形螺栓4的蝶形螺母，使其推动螺杆座10向远离螺孔座9方向运动，即调节座3与固定座2拉开距离。此时承载台1在滚珠7的转动下被调节座3和固定座2给沉下，即承载台1的四周位于调节座3和固定座2上表面斜面结构的下部，从而实现承载台1下降，承载台1则带动镜筒5的下降。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (3)

1.一种用于镜筒调焦的微调装置，包括镜筒（5）和台面（6），镜筒（5）的外壁上设有环形凸台（8），其特征在于：

还包括承载台（1）、固定座（2）和调节座（3），固定座（2）和调节座（3）均为半圆形结构，固定座（2）的上表面和调节座（3）的上表面均为斜面结构，固定座（2）和调节座（3）放置在台面（6）上且两者呈镜像对应，当固定座（2）与调节座（3）相接在一起时，固定座（2）上表面与调节座（3）上表面组成倒置圆台结构，固定座（2）的上表面和调节座（3）的上表面均设有若干个滚珠凹槽，若干个滚珠凹槽内均安装有滚珠（7）；承载台（1）的底部为倒置圆台结构，承载台（1）放置在固定座（2）和调节座（3）上，环形凸台（8）安装在承载台（1）上且镜筒（5）穿过承载台（1）和台面（6）。

2.根据权利要求1所述的一种用于镜筒调焦的微调装置，其特征在于：还包括辅助调节组件，所述的辅助调节组件包括螺孔座（9）和螺杆座（10），螺孔座（9）安装在固定座（2）的外侧部，螺杆座（10）安装在调节座（3）的外侧部，螺孔座（9）上设有螺孔，蝶形螺栓（4）安装在螺杆座（10）上且蝶形螺栓（4）的前端固定在螺孔座（9）的螺孔内。

3.根据权利要求1所述的一种用于镜筒调焦的微调装置，其特征在于：所述的承载台（1）下表面的直径大于固定座（2）与调节座（3）相接组合在一起所形成圆台下表面的直径，承载台（1）上表面的外壁均与固定座（2）的外壁、调节座（3）的外壁上下对应。