CN205881886U - 校正装置及晶圆传送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种校正装置及晶圆传送装置，用于校正一晶圆传送装置的机械手臂，所述晶圆传送装置用于传送一晶圆，所述晶圆传送装置中具有一转轴，所述转轴支撑一用于吸附所述晶圆的真空吸盘，所述校正装置包括：一用于发出一激光的激光头，所述激光头位于所述转轴的中心轴上；一校正晶圆；一用于检测所述激光的光度计，所述光度计的接收面的中心点与所述校正晶圆的圆心相重合。本实用新型通过提供一校正装置，为所述晶圆传送装置中所述机械手臂的调整提供一参照物，能够直观、更准确的调整所述机械手臂使所述晶圆传送位置的中心度更加准确，提高工作效率；并且不需要通过在所述晶圆上喷涂化学品试验来反复调整机械手臂，节约成本。

Description

校正装置及晶圆传送装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种校正装置以及晶圆传送装置。

背景技术

光刻工艺是半导体制造过程中经常采用到的一种常见工艺，随着半导体制造技术的发展，半导体器件的特征尺寸也不断的缩小，对光刻的要求(如关键尺寸均匀性、套刻精度等)也逐渐提高，在半导体的光刻制程等工艺中，对晶圆位置的中心度有极高的要求，中心度的误差会影响制程的均一性，甚至造成制程缺陷。

以光刻工艺中涂胶为例，晶圆传送位置的中心度将直接影响到所涂覆光阻膜厚的均一性，以及光阻洗边(Edge Bead Remove，EBR)的精度。然而，在现有的晶圆传送装置中，所述晶圆是放置在较小直径的真空吸盘上，周围是悬空的，其位置的中心度并没有直接的参照物。目前，对晶圆传送位置中心度的调整通常是使用目测的方式初步粗调机械手臂，然后再通过在晶圆上喷涂化学品试验，来反复调整和验证机械手臂的位置，这种调整机械手臂的方法的质量和效率完全取决于经验，而且还需要喷涂化学品，增加了额外的成本。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种校正装置及晶圆传送装置，为调整机械手臂提供直观的位置参照，提高工作效率和质量，保证晶圆传送位置中心度的准确性，并节约化学品成本。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的校正装置，用于校正一晶圆传送装置的机械手臂，所述晶圆传送装置用于传送一晶圆，所述晶圆传送装置中具有一转轴，所述转轴支撑一用于吸附所述晶圆的真空吸盘，所述校正装置包括：

一用于发出一激光的激光头，所述激光头位于所述转轴的中心轴上；

一校正晶圆；

一用于检测所述激光的光度计，所述光度计的接收面的中心点与所述校正晶圆的圆心相重合。

进一步的，所述校正装置还包括一显示端，所述显示端与所述光度计相连接，所述显示端显示所述接收面上的光强分布。

可选的，在所述校正装置中，所述激光头内置于所述转轴中，所述激光头向上发出所述激光。

可选的，在所述校正装置中，所述激光头设置于所述转轴的正上方，且所述激光头的位置位于所述机械手臂的下方，所述激光头向上发出所述激光。

进一步的，在所述校正装置中，所述光度计的接收面朝下。

可选的，在所述校正装置中，所述激光头设置于所述转轴的正上方，且所述激光头的位置位于所述机械手臂的上方，所述激光头向下发出所述激光。

进一步的，在所述校正装置中，所述光度计的接收面朝上。

可选的，在所述校正装置中，所述激光头包括一LED激光器。

可选的，在所述校正装置中，所述校正晶圆为标准尺寸的晶圆。

可选的，在所述校正装置中，所述校正晶圆为玻璃晶圆。

可选的，在所述校正装置中，所述光度计的接收面的形状为圆形或者矩形。

进一步的，在所述校正装置中，所述接收面以中心点等分为至少三个区，每个所述区分别检测所述激光。

可选的，在所述校正装置中，所述校正装置还包括一用于固定所述激光头的夹具。

可选的，在所述校正装置中，所述夹具为圆柱形套筒结构，所述夹具嵌套在所述转轴外。

可选的，在所述校正装置中，所述转轴的侧壁具有一突起，所述夹具的侧壁具有一凹槽，所述突起设置在所述凹槽内。

根据本实用新型的另一方面，本实用新型还提供一种包括上述校正装置的晶圆传送装置。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过提供一校正装置，可以用于校正晶圆传送装置的机械手臂； 具体的，所述校正装置包括一用于发出一激光的激光头，所述激光头位于所述转轴的中心轴上；一校正晶圆；一用于检测所述激光的光度计，所述光度计的接收面的中心点与所述校正晶圆的圆心相重合。当进行所述机械手臂校正时，将所述校正晶圆和光度计置于所述机械手臂上，所述机械手臂将其传送至所述转轴的上方时，所述激光头发出的激光就将落在所述光度计的接收面上，为所述机械手臂的调整提供一参照物，能够直观、准确的调整所述机械手臂，从而使所述晶圆传送位置的中心度更加准确，提高工作效率；并且不需要通过在所述晶圆上喷涂化学品来反复调整所述机械手臂，节约成本。

进一步的，所述校正装置还包括一显示端，所述显示端与所述光度计相连接，所述显示端显示所述接收面上的光强分布，于是，通过所述显示端的显示，可更加直观的判断所述机械手臂传输位置的偏心距离和方向。更进一步的，将所述光度计的接收面以中心点等分为至少三个区，相应的所述显示端显示所述接收面上每个所述区检测的所述激光的光强值，从而更加一目了然的判断所述机械手臂传输位置的偏离情况。

而且，当所述激光头内置于所述转轴中时，节约整个装置空间，当需要进行机械手臂校正时，不需要再重新安装激光头，缩短校正时间；而当所述激光头外置于所述转轴的正上方时，装置简易，易于安装拆卸，可以使光度计的接收面灵活变化，并且，有利于激光头的使用寿命。

另外，所述校正晶圆为标准尺寸的晶圆，因此通过所述校正装置能够达到精准度高的校正。进一步的，所述校正晶圆的材质为玻璃，一方面有利于透光，使得所述光度计的设计更加灵活，可以根据实际需要，将所述光度计设置于所述校正晶圆的上表面或者下表面；另一方面，玻璃材质的校正晶圆相对于半导体制造中的晶圆价格实惠，节约成本。

最后，为了在校正过程中，所述激光头发出的激光位置是固定的，所述校正装置还包括一用于固定所述激光头的夹具；而且，所述夹具为圆柱形套筒结构，可以严密的嵌套在所述转轴外，使所述激光头固定于所述转轴上方；进一步的，所述转轴的侧壁具有一突起，所述夹具的侧壁具有一凹槽，所述突起设置在所述凹槽内，是所述激光头更加稳固的固定在所述转轴上方。

附图说明

图1和图2本实用新型实施例1中所述校正装置的结构示意图；

图3本实用新型实施例2中所述校正装置的结构示意图。

图4本实用新型实施例3中所述校正装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型校正装置及晶圆传送装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型的核心思想在于，本实用新型提供的校正装置，用于校正一晶圆传送装置的机械手臂，所述晶圆传送装置用于传送一晶圆，所述晶圆传送装置中具有一转轴，所述转轴支撑一用于吸附所述晶圆的真空吸盘，所述校正装置包括：一用于发出一激光的激光头，所述激光头位于所述转轴的中心轴上；一校正晶圆；一用于检测所述激光的光度计，所述光度计的接收面的中心点与所述校正晶圆的圆心相重合。

本实用新型通过提供一校正装置，可以用于校正晶圆传送装置的机械手臂；具体的，所述校正装置包括一用于发出一激光的激光头，所述激光头位于所述转轴的中心轴上；一校正晶圆；一用于检测所述激光的光度计，所述光度计的接收面的中心点与所述校正晶圆的圆心相重合。当进行所述机械手臂校正时，将所述校正晶圆和光度计置于所述机械手臂上，所述机械手臂将其传送至所述转轴的上方时，所述激光头发出的激光就将落在所述光度计的接收面上，为所述机械手臂的调整提供一参照物，能够直观、准确的调整所述机械手臂，从而使所述晶圆传送位置的中心度更加准确，提高工作效率；并且不需要通过在所述晶圆上喷涂化学品来反复调整所述机械手臂，节约成本。

以下列举所述校正装置及晶圆传送装置的实施例，以清楚说明本实用新型的内容，应当明确的是，本实用新型的内容并不限制于以下实施例，其他通过本领域普通技术人员的常规技术手段的改进亦在本实用新型的思想范围之内。

实施例1：

请参阅图1，为本实施例中提供的一种校正装置的结构示意图，所述校正装置用于校正一晶圆传送装置的机械手臂，所述晶圆传送装置用于传送一晶圆，所述晶圆传送装置中具有一转轴10，所述转轴10支撑一用于吸附所述晶圆的真空吸盘，所述校正装置包括：一用于发出一激光的激光头11，所述激光头11位于所述转轴10的正上方(即所述激光头11位于所述转轴10的中心轴上)，且所述激光头11的位置位于所述机械手臂(图中示意图省略)的下方(所述机械手臂用于传送所述晶圆及后续的所述校正晶圆)，所述激光头11包含一用于发出激光的激光器110，所述激光器110向上发出所述激光(如图中黑色箭头所示)，较佳的，所述激光器110为一LED激光器110，因为LED激光器尺寸小、响应速度快、发出的激光相干性好。较佳的，为了在校正过程中，所述激光头11发出的激光位置是固定的，所述校正装置还包括一用于固定所述激光头11的夹具12，本实施例中，所述夹具12为与所述转轴10形状类似的结构，如圆柱形套筒结构，可以严密的嵌套在所述转轴10外，使所述激光头10固定在所述转轴10上方。进一步的，在有些转轴10的侧壁上会具有一突起，则相应的所述夹具12的侧壁就设置一凹槽，使所述突起设置在所述凹槽内，更进一步的固定所述激光头11；

一校正晶圆20，较佳的，为了提高校正的精准度，所述校正晶圆20为标准尺寸的晶圆，如2inch、4inch以及12inch等等。而且，所述校正晶圆20的材质为玻璃，一方面有利于透光，使得后续所述光度计的设计更加灵活，可以根据实际需要，将所述光度计设置于所述校正晶圆20的上表面或者下表面；另一方面，玻璃材质的校正晶圆20相比于半导体制造中的晶圆价格实惠，节约成本；

一用于检测所述激光的光度计21，所述光度计21的接收面210的中心点与 所述校正晶圆20的圆心相重合。因本实施例中，所述激光头11位于所述转轴10的正上方，且所述激光头11的位置位于所述机械手臂(图中省略)的下方，所述激光器110向上发出所述激光，因此，所述接收面210朝下，用于接收所述激光。优选的，所述接收面210的形状为圆形或者矩形，所述接收面210以中心点等分为至少三个区，便于直观的观察所述激光的光斑相对于接收面210的中心点的偏移情况，所述接收面210等分的区域越多，越有利于机械手臂的调整，本实施例以所述接收面210等分为4个区为例，为了便于校正，将所述光度计21与所述校正晶圆20集成在一起，所述光度计21可以集成于所述校正晶圆20的上表面(如图1所示)，也可以集成在所述校正晶圆20的下表面，只要使所述接收面210朝下即可，这些都是本领域普通技术人员容易理解的，在此不做详细描述；

进一步的，为了更加精确的清楚所述机械手臂偏移的距离和方向，本实施例中的所述校正装置还包括一显示端30，所述显示端30与所述光度计21相连接，所述显示端30显示所述接收面210上的光强分布。较佳的，所述显示端30根据所述接收面210的等分情况，显示所述接收面210上每一个所述区检测的所述激光的光强值，在本实施例中，即所述显示端30为可以同时显示所述4个区的光强值。至于，所述显示端30的具体显示形式和结构在本申请中不做限定。

为了进一步描述所述校正装置及晶圆传送装置，现通过详细描述校正机械手臂的过程，以更加清楚的描述本实用新型的内容。

当需要进行机械手臂校正时，先将晶圆传送装置中的所述真空吸盘取下，接着，将所述激光头11和所述夹具12按照上述连接关系安装在所述转轴10上，然后，将所述校正晶圆20及所述光度计21置于所述机械手臂上，所述机械手臂将其传送至所述转轴10的上方时，所述激光器110发出的激光就将落在所述光度计21的接收面210上，通过所述显示端30显示所述接收面210上4个区的光强值来判断所述机械手臂的位置是否正确，从而判断所述晶圆传送装置中所述晶圆传送位置的中心度是否精确。具体的，如图1所示，当所述机械手臂的位置有偏差时，则所述接收面210的4个区域接收的激光的光强值就会不一致，如图1的所述显示端30显示的0/10/10/80，于是，就可以很容易、很直观的判断该如何调整机械手臂，而不是通过目测凭经验去“盲”调；通过相应的 调整后，如图2所示，当所述显示端30显示的4个区域的光强值都一致或很接近时(如所述显示端30显示为25/25/25/25时)，表示所述机械手臂的位置已处于最佳状态，即通过所述校正装置已完成所述机械手臂，从而使所述晶圆传送装置中所述晶圆传送位置的中心度达到正确。

因此，本实施例通过上述校正装置为所述机械手臂的调整提供一参照物，所述参照物例如但不限定于光强分布或光强值，还可以为其它可探测、可显示的值或代码等，能够直观、更准确的调整所述机械手臂，从而使所述晶圆传送位置的中心度更加准确，提高工作效率；并且不需要通过在所述晶圆上喷涂化学品来反复调整所述机械手臂，节约成本。

实施例2：

请参阅图3，其中，参考标号表示与图1、图2相同的表述与第一实施方式相同的结构。所述第二实施例的校正装置与所述第一实施例的校正装置基本相同，其区别在于：所述激光头11内置于所述转轴10中(显然，所述转轴10为空心的轴)，即所述激光头11位于所述转轴10的中心轴上，当然，所述激光头1内置于所述转轴10中时，同样是需要有固定所述激光头11的固定装置(图3中所述固定装置示意图省略)的，例如，类似基座一样物体支撑固定所述激光头。该实施例的设计节约整个装置空间，当需要进行机械手臂校正时，不需要再重新安装激光头11，缩短校正时间，其它结构及其校正方法与第一实施例的一样，是本领域普通技术人员可以理解的，在此不做赘述。

实施例3：

请参阅图4，其中，参考标号表示与图1、图2相同的表述与第一实施方式相同的结构。所述第三实施例的校正装置与所述第一实施例的校正装置基本相同，其区别在于：所述激光头11位于所述转轴10的正上方(即所述激光头11位于所述转轴10的中心轴上)，且所述激光头10的位置位于所述机械手臂的上方，所述激光头11中的激光器110发出向下的光(如图中黑色箭头方向所示)，显然，为了使所述激光头11能够固定，会对其增设一固定装置(图中省略)，如所述固定装置可以为一夹具、一吸盘或一挂钩等等。该实施例的设计，装置 简易，所述激光头易于安装拆卸。因为所述激光头11和激光器110的相关设计，相应的所述接收面210就要朝上，其他装置与第一实施例的装置相同。而相应的在所述机械手臂校正方法中，在校正之前，所述真空吸盘可以不用取下，其他校正过程可参考第一实施例的校正方法，是本领域普通技术人员容易理解的，在此不做赘述。

综上，本实用新型通过提供一校正装置，可以用于校正晶圆传送装置的机械手臂；具体的，所述校正装置包括一用于发出一激光的激光头，所述激光头位于所述转轴的中心轴上；一校正晶圆；一用于检测所述激光的光度计，所述光度计的接收面的中心点与所述校正晶圆的圆心相重合。当进行所述机械手臂校正时，将所述校正晶圆和光度计置于所述机械手臂上，所述机械手臂将其传送至所述转轴的上方时，所述激光头发出的激光就将落在所述光度计的接收面上，为所述机械手臂的调整提供一参照物，能够直观、准确的调整所述机械手臂，从而使所述晶圆传送位置的中心度更加准确，提高工作效率；并且不需要通过在所述晶圆上喷涂化学品来反复调整所述机械手臂，节约成本。

进一步的，所述校正装置还包括一显示端，所述显示端与所述光度计相连接，所述显示端显示所述接收面上的光强分布，于是，通过所述显示端的显示，可更加直观的判断所述机械手臂传输位置的偏心距离和方向。更进一步的，将所述光度计的接收面以中心点等分为至少三个区，相应的所述显示端显示所述接收面上每个所述区检测的所述激光的光强值，从而更加一目了然的判断所述机械手臂传输位置的偏离情况。

而且，当所述激光头内置于所述转轴中时，节约整个装置空间，当需要进行机械手臂校正时，不需要再重新安装激光头，缩短校正时间；而当所述激光头外置于所述转轴的正上方时，装置简易，易于安装拆卸，可以使光度计的接收面灵活变化，并且，有利于激光头的使用寿命。

另外，所述校正晶圆为标准尺寸的晶圆，因此通过所述校正装置能够达到精准度高的校正。进一步的，所述校正晶圆的材质为玻璃，一方面有利于透光，使得所述光度计的设计更加灵活，可以根据实际需要，将所述光度计设置于所述校正晶圆的上表面或者下表面；另一方面，玻璃材质的校正晶圆相对于半导 体制造中的晶圆价格实惠，节约成本。

最后，为了在校正过程中，所述激光头发出的激光位置是固定的，所述校正装置还包括一用于固定所述激光头的夹具；而且，所述夹具为圆柱形套筒结构，可以严密的嵌套在所述转轴外，使所述激光头固定于所述转轴上方；进一步的，所述转轴的侧壁具有一突起，所述夹具的侧壁具有一凹槽，所述突起设置在所述凹槽内，是所述激光头更加稳固的固定在所述转轴上方。

显然，在上述实施例中仅为本实用新型的较佳实施例而已，在上述校正装置的基础上，还能够得出多种类似的校正装置，以实现有参照物的调整机械手臂，从而使得所述晶圆传送装置中所述晶圆传送位置的中心度更加准确。因此，上述实施例并不用以限制本实用新型。本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (16)

1.一种校正装置，用于校正一晶圆传送装置的机械手臂，所述晶圆传送装置用于传送一晶圆，所述晶圆传送装置中具有一转轴，所述转轴支撑一用于吸附所述晶圆的真空吸盘，其特征在于，所述校正装置包括：

一用于发出一激光的激光头，所述激光头位于所述转轴的中心轴上；

一校正晶圆；

一用于检测所述激光的光度计，所述光度计的接收面的中心点与所述校正晶圆的圆心相重合。

2.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述校正装置还包括一显示端，所述显示端与所述光度计相连接，所述显示端显示所述接收面上的光强分布。

3.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述激光头内置于所述转轴中，所述激光头向上发出所述激光。

4.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述激光头设置于所述转轴的正上方，且所述激光头的位置位于所述机械手臂的下方，所述激光头向上发出所述激光。

5.如权利要求3或4所述的校正装置，其特征在于，所述光度计的接收面朝下。

6.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述激光头设置于所述转轴的正上方，且所述激光头的位置位于所述机械手臂的上方，所述激光头向下发出所述激光。

7.如权利要求6所述的校正装置，其特征在于，所述光度计的接收面朝上。

8.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述激光头包括一LED激光器。

9.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述校正晶圆为标准尺寸的晶圆。

10.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述校正晶圆为玻璃晶圆。

11.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述光度计的接收面的形状为圆形或者矩形。

12.如权利要求11所述的校正装置，其特征在于，所述接收面以中心点等分为至少三个区，每个所述区分别检测所述激光。

13.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述校正装置还包括一用于固定所述激光头的夹具。

14.如权利要求13所述的校正装置，其特征在于，所述夹具为圆柱形套筒结构，所述夹具嵌套在所述转轴外。

15.如权利要求13所述的校正装置，其特征在于，所述转轴的侧壁具有一突起，所述夹具的侧壁具有一凹槽，所述突起设置在所述凹槽内。

16.一种包括如权利要求1-15中任意一项所述校正装置的晶圆传送装置。