CN205874569U - 金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,该装置包括驱动机构、排线器和位于工艺槽内的多根呈纵向分布的扫砂管;每根扫砂管包括内管和套接在内管外的外管,多个扫砂管延伸出工艺槽外的一端均与排线器固定连接,且两者的位置呈垂直分布;驱动机构与排线器驱动连接,驱动机构驱动后排线器进行旋转,排线器旋转后带动扫砂管左右移动。本实用新型中排线器在驱动机构的驱动下旋转时就会带动扫砂管左右移动,从而实现金刚石磨料不沉积在工艺槽槽底的目的。

Description

金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置
技术领域
本实用新型涉及电镀设备领域,尤其涉及一种金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置。
背景技术
随着半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大尺寸的需求越来越大,对硅片的切割要求也越来越精密,对金刚石线锯的用量也越来越大。金刚石线锯在生产时,金刚石磨料与电镀药水之间比例、均匀性的要求都非常高。生产工艺中,首先是把搅拌好的药水通过砂浆泵送到生产线上的工艺槽内,在送到工艺槽内后,还需要对药水进行二次搅拌。传统的搅拌是由搅拌电机带动搅拌叶来实现,这种较为传统的二次搅拌方法对设备安装空间要求大,也影响到设备的美观性。
发明内容
针对上述技术中存在的不足之处,本实用新型提供一种金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,扫砂管可进行左右移动,进而实现金刚石磨料不沉积在工艺槽槽底的目的。
为实现上述目的,本实用新型提供一种金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,包括驱动机构、排线器和位于工艺槽内的多根呈纵向分布的扫砂管;每根扫砂管包括内管和套接在内管外的外管,所述多个扫砂管延伸出工艺槽外的一端均与排线器固定连接,且两者的位置呈垂直分布;所述驱动机构与排线器驱动连接,所述驱动机构驱动后排线器进行旋转,所述排线器旋转后带动扫砂管左右移动。
其中,所述驱动机构包括电机、电机链轮和传动链轮,所述电机与电机链轮驱动连接,且电机链轮与传动链轮之间通过传动链条驱动连接,且所述传动链轮与排线器驱动连接。
其中,总管固定座固定在排线器的中部,总管通过连接座固定在总管固定座上,且总管固定座与总管垂直分布;每根扫砂管的一端均固定在总管的纵向方向上。
其中,所述每根扫砂管的一端靠近总管的位置上均设置有控制球阀。
其中,所述排线器呈长条状且安装在排线器安装座上,所述电机安装在电机安装板上。
本实用新型的有益效果是:与现有技术相比,本实用新型提供的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,扫砂管采用外管套内管的结构[l1] ,且横向移动结构由排线器在驱动机构驱动下完成,由此避免了感应器来定位的缺陷,极大的简单了该装置的结构;同时,排线器在驱动机构的驱动下旋转时就会带动扫砂管左右移动,从而实现金刚石磨料不沉积在工艺槽槽底的目的;本实用新型具有设计合理、结构简单、操作便捷、使用安全性高及药水均匀性高等特点。
附图说明
图1为本实用新型的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置的结构图。
主要元件符号说明如下:
10、驱动机构 11、排线器
12、扫砂管 13、总管固定座
14、总管 15、控制球阀
16、排线器安装座 17、电机安装板
18、连接座 101、电机
102、电机链轮 103、传动链轮
104、传动链条 121、内管
122、外管。
具体实施方式
为了更清楚地表述本实用新型,下面结合附图对本实用新型作进一步地描述。
请参阅图1,本实用新型提供的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,包括驱动机构10、排线器11和位于工艺槽内的多根呈纵向分布的扫砂管12;每根扫砂管12包括内管121和套接在内管外的外管122,多个扫砂管12延伸出工艺槽外的一端均与排线器11固定连接,且两者的位置呈垂直分布;驱动机构10与排线器11驱动连接,驱动机构10驱动后排线器11进行旋转,排线器11旋转后带动扫砂管12左右移动。
相较于现有技术的情况,本实用新型提供的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,扫砂管12采用外管122套内管121的结构,且横向移动结构由排线器11在驱动机构10驱动下完成,由此避免了感应器来定位的缺陷,极大的简单了该装置的结构;同时,排线器11在驱动机构10的驱动下旋转时就会带动扫砂管12左右移动,从而实现金刚石磨料不沉积在工艺槽槽底的目的;本实用新型具有设计合理、结构简单、操作便捷、使用安全性高及药水均匀性高等特点。
在本实施例中,驱动机构10包括电机101、电机链轮102和传动链轮103,电机101与电机链轮102驱动连接,且电机链轮102与传动链轮103之间通过传动链条104驱动连接,且传动链轮104与排线器11驱动连接。本案中电机开启后,驱动电机链轮运动,电机链轮通过传动链条带动传动链轮运动,最后传动链轮带动排线器进行旋转。当然,本案中并不局限于驱动机构的具体结构,可根据实际需要进行改变。
在本实施例中,总管固定座13固定在排线器11的中部,总管14通过连接座18固定在总管固定座13上,且总管固定座13与总管14垂直分布;每根扫砂管12的一端均固定在总管14的纵向方向上。多根扫砂管12由下至上依次分布在总管上,由此扫砂管在工艺槽内与金刚石磨料接触的面积比较大,由此金刚石磨料不沉积的效果更好。
在本实施例中,每根扫砂管12的一端靠近总管14的位置上均设置有控制球阀15。排线器11呈长条状且安装在排线器安装座16上,电机101安装在电机安装板17上。本案中并不局限于排线器和电机的安装方式,可根据实际需要进行改变。
以上公开的仅为本实用新型的几个具体实施例,但是本实用新型并非局限于此,任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,其特征在于,包括驱动机构、排线器和位于工艺槽内的多根呈纵向分布的扫砂管;每根扫砂管包括内管和套接在内管外的外管,所述多个扫砂管延伸出工艺槽外的一端均与排线器固定连接,且两者的位置呈垂直分布;所述驱动机构与排线器驱动连接,所述驱动机构驱动后排线器进行旋转,所述排线器旋转后带动扫砂管左右移动。
2.根据权利要求1所述的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,其特征在于,所述驱动机构包括电机、电机链轮和传动链轮,所述电机与电机链轮驱动连接,且电机链轮与传动链轮之间通过传动链条驱动连接,且所述传动链轮与排线器驱动连接。
3.根据权利要求1所述的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,其特征在于,总管固定座固定在排线器的中部,总管通过连接座固定在总管固定座上,且总管固定座与总管垂直分布;每根扫砂管的一端均固定在总管的纵向方向上。
4.根据权利要求3所述的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,其特征在于,所述每根扫砂管的一端靠近总管的位置上均设置有控制球阀。
5.根据权利要求2所述的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,其特征在于,所述排线器呈长条状且安装在排线器安装座上,所述电机安装在电机安装板上。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108396358A (zh) * 2018-06-04 2018-08-14 西安康控科尼电子科技有限公司 金刚线上砂设备的分层式上砂管道

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