CN205811269U - 一种平板电极光学谐振腔 - Google Patents
一种平板电极光学谐振腔 Download PDFInfo
- Publication number
- CN205811269U CN205811269U CN201620598305.1U CN201620598305U CN205811269U CN 205811269 U CN205811269 U CN 205811269U CN 201620598305 U CN201620598305 U CN 201620598305U CN 205811269 U CN205811269 U CN 205811269U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate electrode
- laser
- mirror
- upper flat
- resonator cavity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种平板电极光学谐振腔，包括谐振腔壳体（1），所述谐振腔壳体（1）的两端开口处分别安装前端板（4）和后端板（7）且三者构成了一个密封的谐振腔内腔（10），在谐振腔内腔（10）中上下平行设置上平板电极（2）和下平板电极（3），上平板电极（2）与谐振腔壳体（1）上设置的射频馈头（9）连接且下平板电极（3）接地，当射频信号通过射频馈头（9）施加到上平板电极（2）时，上平板电极（2）对下平板电极（3）放电使得两者之间的激光气体被激发产生辉光放电后形成激光等离子体。本实用新型的放电效率高、激光功率大、散热性能好且运行稳定，满足实际生产中对更大功率激光器的要求，故适宜推广使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光技术领域，尤其是一种放电效率高且单位体积激光介质能够输出更大功率激光的用于二氧化碳激光器的平板电极光学谐振腔。
背景技术
现有技术中的二氧化碳激光器采用环状电极激励激光工作气体使其产生激光输出，放电效率低且单位体积的激光介质输出的激光功率小，无法满足实际生产中对更大功率激光器的要求，且无法解决散热问题。
发明内容
本实用新型的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种放电效率高且单位体积激光介质能够输出更大功率激光的用于二氧化碳激光器的平板电极光学谐振腔。
本实用新型的目的是通过以下技术方案解决的：
一种平板电极光学谐振腔，包括内部中空两端开口呈长方形腔体的谐振腔壳体，其特征在于：所述谐振腔壳体的两端开口处分别安装前端板和后端板且三者构成了一个密封的谐振腔内腔用于充入激光工作气体，在谐振腔内腔中上下平行设置上平板电极和下平板电极，上平板电极与谐振腔壳体上设置的射频馈头连接且下平板电极接地，当射频信号通过射频馈头施加到上平板电极时，上平板电极对下平板电极放电使得两者之间的激光气体被激发产生辉光放电，从而形成激光等离子体后在谐振腔内腔中来回反射振荡放大后经激光输出镜输出该谐振腔外。
所述前端板的外侧设置用于安装激光输出镜的激光输出镜座且前端板的内侧设置用于安装前凹柱面反射镜的前反射镜座；所述后端板的内侧设置用于安装后凹柱面反射镜的后反射镜座，所述的前反射镜座和后反射镜座分别位于谐振腔内腔的两端。
在与前端板或后端板平行的平面内以水平方向为x轴、垂直方向为y轴且与前端板或后端板垂直的方向为z轴，则前凹柱面反射镜、激光输出镜和后凹柱面反射镜在y轴方向水平等高，前凹柱面反射镜在x轴方向的尺寸与激光输出镜在x轴方向的尺寸之和与后凹柱面反射镜在x轴方向的尺寸相同。
所述上平板电极和下平板电极之间的间距为1mm-3mm，且上平板电极和下平板电极的两端分别对应前凹柱面反射镜和后凹柱面反射镜。
所述的上平板电极对下平板电极放电使得两者之间的激光气体被激发产生辉光放电并形成激光等离子体，激光等离子体在谐振腔内腔中经前凹柱面反射镜和后凹柱面反射镜来回反射振荡放大，在激光振荡放大的过程中，由后凹柱面反射镜反射的激光有一小部分射向激光输出镜并由此输出谐振腔外、而大部分由后凹柱面反射镜反射至前凹柱面反射镜继续振荡放大以实现持续的激光输出。
所述的前端板上设有一端板通孔与激光输出镜座的位置相对应，激光通过端板通孔后由激光输出镜输出谐振腔外。
所述的上平板电极和下平板电极内设有冷却水管，在激光器运行的过程中向冷却水管通入循环冷却水能够同时对上平板电极、下平板电极以及两者之间的激光等离子体散热。
本实用新型相比现有技术有如下优点：
本实用新型通过平板电极激励激光工作气体使其产生激光输出，平板电极较环状电极有更大的放电空间和更高的放电效率，单位体积的激光介质输出的激光功率更大，同时平板电极内置的循环水系统能很好的解决散热问题，使平板电极本身及处于两块平板电极之间的激光等离子体都能及时散热，保证激光器的稳定运行，使其能持续稳定的输出更大功率的激光，满足实际生产中对更大功率激光器的要求，故适宜推广使用。
附图说明
附图1 为本实用新型的光学谐振腔的主视图；
附图2 为本实用新型的光学谐振腔的俯视图；
附图3 为本实用新型的光学谐振腔的前端板主视图；
附图4 为本实用新型的光学谐振腔的前端板后视图；
附图5 为本实用新型的光学谐振腔的前端板侧视图；
附图6 为本实用新型的光学谐振腔的后端板主视图；
附图7 为本实用新型的光学谐振腔的后端板后视图；
附图8 为本实用新型的光学谐振腔的后端板侧视图。
其中：1—谐振腔壳体；2—上平板电极；3—下平板电极；4—前端板；5—激光输出镜座；6—前反射镜座；7—后端板；8—后反射镜座；9—射频馈头；10—谐振腔内腔；11—端板通孔。
具体实施方式
下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步的说明。
如图1-8所示：一种平板电极光学谐振腔，包括内部中空两端开口呈长方形腔体的谐振腔壳体1，在谐振腔壳体1的两端开口处分别安装前端板4和后端板7且三者构成了一个密封的谐振腔内腔10用于充入激光工作气体，在两个谐振腔端板上设置有三个镜座，其中前端板4的外侧设置用于安装激光输出镜的激光输出镜座5且前端板4的内侧设置用于安装前凹柱面反射镜的前反射镜座6，另外前端板4上还设有一端板通孔11与激光输出镜座5的位置相对应，激光通过端板通孔11后由激光输出镜输出谐振腔外；在后端板7的内侧设置用于安装后凹柱面反射镜的后反射镜座8，前反射镜座6和后反射镜座8分别位于谐振腔内腔10的两端；在谐振腔内腔10中上下平行设置上平板电极2和下平板电极3，上平板电极2和下平板电极3之间的间距为1mm-3mm且上平板电极2和下平板电极3的两端分别对应前凹柱面反射镜和后凹柱面反射镜，上平板电极2与谐振腔壳体1上设置的射频馈头9连接且下平板电极3接地，当射频信号通过射频馈头9施加到上平板电极2时，上平板电极2对下平板电极3放电使得两者之间的激光气体被激发产生辉光放电从而形成激光等离子体，激光等离子体在谐振腔内腔10中经前凹柱面反射镜和后凹柱面反射镜来回反射振荡放大，在激光振荡放大的过程中，由后凹柱面反射镜反射的激光有一小部分射向激光输出镜并由此输出谐振腔外，而大部分由后凹柱面反射镜反射至前凹柱面反射镜继续振荡放大以实现持续的激光输出。在上述结构的基础上，为优化性能，对该平板电极光学谐振腔的具体结构进行进一步的限定，设与前端板4或后端板7平行的平面内以水平方向为x轴、垂直方向为y轴且与前端板4或后端板7垂直的方向为z轴，则前凹柱面反射镜、激光输出镜和后凹柱面反射镜在y轴方向水平等高，前凹柱面反射镜在x轴方向的尺寸与激光输出镜在x轴方向的尺寸之和与后凹柱面反射镜在x轴方向的尺寸相同。在该平板电极光学谐振腔中，上平板电极2和下平板电极3之间的间距优选方案为2mm。
另外由于平板电极在不断放电激励激光气体产生激光的过程中，会产生大量的废热，产生辉光放电的激光等离子体也会发热，因此在上平板电极2和下平板电极3内设有冷却水管，在激光器运行的过程中向冷却水管通入循环冷却水能够同时对上平板电极2、下平板电极3以及两者之间的激光等离子体散热，确保平板电极和激光等离子体能及时散热，使激光器能稳定运行。
本实用新型通过平板电极激励激光工作气体使其产生激光输出，平板电极较环状电极有更大的放电空间和更高的放电效率，单位体积的激光介质输出的激光功率更大，同时平板电极内置的循环水系统能很好的解决散热问题，使平板电极本身及处于两块平板电极之间的激光等离子体都能及时散热，保证激光器的稳定运行，使其能持续稳定的输出更大功率的激光，满足实际生产中对更大功率激光器的要求，故适宜推广使用。
以上实施例仅为说明本实用新型的技术思想，不能以此限定本实用新型的保护范围，凡是按照本实用新型提出的技术思想，在技术方案基础上所做的任何改动，均落入本实用新型保护范围之内；本实用新型未涉及的技术均可通过现有技术加以实现。
Claims (7)
1.一种平板电极光学谐振腔，包括内部中空两端开口呈长方形腔体的谐振腔壳体（1），其特征在于：所述谐振腔壳体（1）的两端开口处分别安装前端板（4）和后端板（7）且三者构成了一个密封的谐振腔内腔（10）用于充入激光工作气体，在谐振腔内腔（10）中上下平行设置上平板电极（2）和下平板电极（3），上平板电极（2）与谐振腔壳体（1）上设置的射频馈头（9）连接且下平板电极（3）接地，当射频信号通过射频馈头（9）施加到上平板电极（2）时，上平板电极（2）对下平板电极（3）放电使得两者之间的激光气体被激发产生辉光放电，从而形成激光等离子体后在谐振腔内腔（10）中来回反射振荡放大后经激光输出镜输出该谐振腔外。
2.根据权利要求1所述的平板电极光学谐振腔，其特征在于：所述前端板（4）的外侧设置用于安装激光输出镜的激光输出镜座（5）且前端板（4）的内侧设置用于安装前凹柱面反射镜的前反射镜座（6）；所述后端板（7）的内侧设置用于安装后凹柱面反射镜的后反射镜座（8），所述的前反射镜座（6）和后反射镜座（8）分别位于谐振腔内腔（10）的两端。
3.根据权利要求2所述的平板电极光学谐振腔，其特征在于：在与前端板（4）或后端板（7）平行的平面内以水平方向为x轴、垂直方向为y轴且与前端板（4）或后端板（7）垂直的方向为z轴，则前凹柱面反射镜、激光输出镜和后凹柱面反射镜在y轴方向水平等高，前凹柱面反射镜在x轴方向的尺寸与激光输出镜在x轴方向的尺寸之和与后凹柱面反射镜在x轴方向的尺寸相同。
4.根据权利要求2或3所述的平板电极光学谐振腔，其特征在于：所述上平板电极（2）和下平板电极（3）之间的间距为1mm-3mm，且上平板电极（2）和下平板电极（3）的两端分别对应前凹柱面反射镜和后凹柱面反射镜。
5.根据权利要求4所述的平板电极光学谐振腔，其特征在于：所述的上平板电极（2）对下平板电极（3）放电使得两者之间的激光气体被激发产生辉光放电并形成激光等离子体，激光等离子体在谐振腔内腔（10）中经前凹柱面反射镜和后凹柱面反射镜来回反射振荡放大，在激光振荡放大的过程中，由后凹柱面反射镜反射的激光有一小部分射向激光输出镜并由此输出谐振腔外，而大部分由后凹柱面反射镜反射至前凹柱面反射镜继续振荡放大以实现持续的激光输出。
6.根据权利要求2所述的平板电极光学谐振腔，其特征在于：所述的前端板（4）上设有一端板通孔（11）与激光输出镜座（5）的位置相对应，激光通过端板通孔（11）后由激光输出镜输出谐振腔外。
7.根据权利要求1所述的平板电极光学谐振腔，其特征在于：所述的上平板电极（2）和下平板电极（3）内设有冷却水管，在激光器运行的过程中向冷却水管通入循环冷却水能够同时对上平板电极（2）、下平板电极（3）以及两者之间的激光等离子体散热。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620598305.1U CN205811269U (zh) | 2016-06-20 | 2016-06-20 | 一种平板电极光学谐振腔 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620598305.1U CN205811269U (zh) | 2016-06-20 | 2016-06-20 | 一种平板电极光学谐振腔 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205811269U true CN205811269U (zh) | 2016-12-14 |
Family
ID=58143119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620598305.1U Active CN205811269U (zh) | 2016-06-20 | 2016-06-20 | 一种平板电极光学谐振腔 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205811269U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113791396A (zh) * | 2021-07-01 | 2021-12-14 | 长沙湘计海盾科技有限公司 | 基于光谐振腔的大规模激光雷达阵列微单元及制备方法 |
-
2016
- 2016-06-20 CN CN201620598305.1U patent/CN205811269U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113791396A (zh) * | 2021-07-01 | 2021-12-14 | 长沙湘计海盾科技有限公司 | 基于光谐振腔的大规模激光雷达阵列微单元及制备方法 |
| CN113791396B (zh) * | 2021-07-01 | 2024-06-11 | 长沙湘计海盾科技有限公司 | 基于光谐振腔的大规模激光雷达阵列微单元及制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102208751A (zh) | 一种组合式高功率半导体激光器侧面泵浦源及其制备方法 | |
| CN205811269U (zh) | 一种平板电极光学谐振腔 | |
| CN100461555C (zh) | 两百瓦级准连续双棒串接内腔倍频高功率绿光激光器 | |
| CN206461215U (zh) | 一种风冷紫外激光器 | |
| CN201285988Y (zh) | 一种激光二极管侧面泵浦复合板条激光器 | |
| CN208608524U (zh) | 一种激光器 | |
| CN103151680A (zh) | 一种大功率二极管泵浦激光器的散热方法 | |
| CN201300586Y (zh) | 一种小型集成的激光打标机 | |
| CN202103309U (zh) | 一种组合式高功率半导体激光器侧面泵浦源 | |
| CN103457150A (zh) | 一种光纤耦合输出半导体激光器封装结构及其封装方法 | |
| CN104812112A (zh) | 金属ptc快速电加热器 | |
| CN103633560A (zh) | 多芯片半导体激光器 | |
| CN203491503U (zh) | 一种Nd：YAG激光器 | |
| CN212435031U (zh) | 分布式激光器控制系统 | |
| CN208835446U (zh) | 一种高效本振-两级放大聚光腔 | |
| CN206135193U (zh) | 一种耐用激光器 | |
| CN102646923B (zh) | 大功率水冷式半导体激光器 | |
| CN202308770U (zh) | 一种射频激励气体激光器 | |
| CN205911598U (zh) | 一种dpl脉冲激光器侧泵腔体 | |
| CN206728469U (zh) | 电动汽车控制器用主动散热器 | |
| CN206022877U (zh) | 一种新型二氧化碳射频金属激光器 | |
| CN209183937U (zh) | 一种用于射频二氧化碳激光器的v型激光谐振腔 | |
| CN203517713U (zh) | 一种新型led路灯外壳 | |
| CN209183944U (zh) | 一种用于射频二氧化碳激光器的n型激光谐振腔 | |
| CN102684265A (zh) | 一种水冷式充电器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |