CN205808991U - 一种氮氧化物传感器片芯 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种氮氧化物传感器片芯，其特征在于：第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片从上到下依次堆叠，第四基片比第三基片和第五基片短，第四基片后端的空当即为参比通道；主泵外电极布置在第一基片的顶面，第二基片前端从前至后通过第一扩散障碍层、第二扩散障碍层、第三扩散障碍层、第四扩散障碍层将第二基片前端分隔出第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室、第五腔室，第四扩散障碍层顶部留有空气狭缝；其具有较高准确性，高灵敏度的适用于尾气中氮氧化物含量检测的传感器片芯。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种氮氧化物传感器片芯，属于片式氮氧化物传感器技术领域。
背景技术
氮氧化物NOX（NO和NO2）是大气的主要污染物之一，主要危害包括引发人类呼吸道疾病，形成酸雨和化学烟雾，破坏环境等。氮氧化物主要来源于汽车尾气的排放，因此对尾气中NOX浓度的检测就显得十分重要。
以氧化锆为基底的氮氧化物传感器具有可在500-600℃的尾气高温环境下稳定工作的特点，因此一直是国内外研究的热点。
氮氧化物传感器在US2010/0243447 A1中有详细的描述，该传感器的片芯部分的结构是通过把固体电解质的素坯进行切割成形，再印刷上电极图案，层层叠压后煅烧而成的，其内部结构包括四个腔室和三个气体扩散通道。其中第四腔室内分布非活化电极和检测电极，由于非活化电极中含有对氮氧化物无催化作用的贵金属金，熔点低于传感器煅烧温度，导致烧结过程中金的挥发污染检测电极，使检测电极的性能降低，严重影响NOX传感器的使用性能。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种氮氧化物传感器片芯，其具有较高准确性，高灵敏度的适用于尾气中氮氧化物含量检测的传感器片芯。
本实用新型的技术方案是这样实现的: 一种氮氧化物传感器片芯，由第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片组成，其特征在于：第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片从上到下依次堆叠，第四基片比第三基片和第五基片短，第四基片后端的空当即为参比通道；主泵外电极布置在第一基片的顶面，第二基片前端从前至后通过第一扩散障碍层、第二扩散障碍层、第三扩散障碍层、第四扩散障碍层将第二基片前端分隔出第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室、第五腔室，第四扩散障碍层顶部留有空气狭缝；主泵内电极A连接在第三腔室顶部的第一基片上，主泵内电极B 连接在第三腔室底部的第三基片上，辅泵内电极A连接在第四腔室顶部的第一基片上，辅泵内电极B连接在第四腔室底部的第三基片上，检测电极连接在第五腔室底部的第三基片,参比电极连接在第三基片的底面，参比电极具体位于第四基片的后方的参比通道位置，加热电极夹在第五基片和第六基片之间；
所述的空气狭缝宽度为0-30微米；
所述的腔室壁为在第二基片上打孔形成的；
所述的第四扩散障碍层还可以为多孔氧化锆或氧化铝；
所述的第四扩散障碍层厚度为0-50微米；
所述的检测电极连接位置可由第五腔室底部的第三基片上替换为第五腔室顶部的第一基片上。
本实用新型的积极效果是其具有较高准确性，高灵敏度的适用于尾气中氮氧化物含量检测的传感器片芯。
附图说明
图1是本实用新型的截面结构图。
图2是本实用新型实施例二的截面结构图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步说明：如图1、2所示，一种氮氧化物传感器片芯，由第一基片1、第二基片2、第三基片3、第四基片4、第五基片5、第六基片6组成，其特征在于：第一基片1、第二基片2、第三基片3、第四基片4、第五基片5、第六基片6从上到下依次堆叠，第四基片4比第三基片3和第五基片5短，第四基片4后端的空当即为参比通道17；主泵外电极14 布置在第一基片1的顶面，第二基片2前端从前至后通过第一扩散障碍层11、第二扩散障碍层12、第三扩散障碍层13、第四扩散障碍层21将第二基片2前端分隔出第一腔室7、第二腔室8、第三腔室9、第四腔室10、第五腔室20，第四扩散障碍层21顶部留有空气狭缝23；主泵内电极A 15连接在第三腔室9顶部的第一基片1上，主泵内电极B 15-1连接在第三腔室9底部的第三基片3上，辅泵内电极A 16连接在第四腔室10顶部的第一基片1上，辅泵内电极B16-1连接在第四腔室10底部的第三基片3上，检测电极22连接在第五腔室20底部的第三基片3,参比电极18连接在第三基片3的底面，参比电极18具体位于第四基片4的后方的参比通道17位置，加热电极19夹在第五基片5和第六基片6之间。
所述的空气狭缝23宽度为0-30微米；
所述的腔室壁24为在第二基片2上打孔形成的；
所述的第四扩散障碍层21还可以为多孔氧化锆或氧化铝；
所述的第四扩散障碍层21厚度为0-50微米；
所述的检测电极22连接位置可由第五腔室20底部的第三基片3上替换为第五腔室20顶部的第一基片1上。
实施例一
如图1所示，本实施例的氮氧化物传感器片芯包括六层基片，六层基片材料均为钇掺杂的氧化锆，第一基片1的上表面设有主泵外电极14，下表面设有主泵内电极A15和辅泵内电极A16。第二基片2上设置第一腔室7、第二腔室8、第三腔室9、第四腔室10和第五腔室20。第一腔室7与第二腔室8间设有第一扩散障碍层11，第二腔室8与第三腔室9间设置第二扩散障碍层12，第三腔室9与第四腔室10间设置第三扩散障碍层13，第四腔室10与第五腔室20间设置第四扩散障碍层21，四个扩散障碍层均为在第二基片2上形成的扩散狭缝组成。主泵内电极15容置在第三腔室9内，辅泵内电极16容置在第四腔室10内。
第三基片上表面设有容置在第三腔室9内的主泵内电极B15-1、容置在第四腔室10内的辅泵内电极B16-1和容置在第五腔室20内的检测电极22。第三基片下表面设有参比电极18，第四基片上设有参比腔室17，参比电极18容置在参比腔室17内，第五基片5与第六基片6之间设有加热电极19。
实施例二
如图2所示，本实施例的氮氧化物传感器片芯包括六层基片从上到下依次叠压而成。六层基片材料均为钇掺杂的氧化锆，第一基片1的上表面设有主泵外电极14，下表面设有主泵内电极A15和辅泵内电极A16和检测电极22。第二基片2上设置第一腔室7、第二腔室8、第三腔室9、第四腔室10和第五腔室20。第一腔室7与第二腔室8间设有第一扩散障碍层11，第二腔室8与第三腔室9间设置第二扩散障碍层12，第三腔室9与第四腔室10间设置第三扩散障碍层13，第四腔室10与第五腔室20间设置第四扩散障碍层21，四个扩散障碍层均为在第二基片2上形成的扩散狭缝组成。主泵内电极A15容置在第三腔室9内，辅泵内电极A16容置在第四腔室10内，检测电极22容置在第五腔室20内。
第三基片上表面设有容置在第三腔室9内的主泵内电极B15-1、容置在第四腔室10内的辅泵内电极B16-1。第三基片下表面设有参比电极18，第四基片上设有参比腔室17，参比电极18容置在参比腔室17内，第五基片5与第六基片6之间设有加热电极19。
Claims (6)
1.一种氮氧化物传感器片芯，由第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片组成，其特征在于：第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片从上到下依次堆叠，第四基片比第三基片和第五基片短，第四基片后端的空当即为参比通道；主泵外电极布置在第一基片的顶面，第二基片前端从前至后通过第一扩散障碍层、第二扩散障碍层、第三扩散障碍层、第四扩散障碍层将第二基片前端分隔出第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室、第五腔室，第四扩散障碍层顶部留有空气狭缝；主泵内电极A连接在第三腔室顶部的第一基片上，主泵内电极B 连接在第三腔室底部的第三基片上，辅泵内电极A连接在第四腔室顶部的第一基片上，辅泵内电极B连接在第四腔室底部的第三基片上，检测电极连接在第五腔室底部的第三基片,参比电极连接在第三基片的底面，参比电极具体位于第四基片的后方的参比通道位置，加热电极夹在第五基片和第六基片之间。
2.根据权利要求1中所述的一种氮氧化物传感器片芯，其特征在于所述的空气狭缝宽度为0-30微米。
3.根据权利要求1中所述的一种氮氧化物传感器片芯，其特征在于所述的腔室壁为在第二基片上打孔形成的。
4.根据权利要求1中所述的一种氮氧化物传感器片芯，其特征在于所述的第四扩散障碍层还可以为多孔氧化锆或氧化铝。
5.根据权利要求1中所述的一种氮氧化物传感器片芯，其特征在于所述的第四扩散障碍层厚度为0-50微米。
6.根据权利要求1中所述的一种氮氧化物传感器片芯，其特征在于所述的检测电极连接位置可由第五腔室底部的第三基片上替换为第五腔室顶部的第一基片上。
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| CN201620710920.7U CN205808991U (zh) | 2016-07-07 | 2016-07-07 | 一种氮氧化物传感器片芯 |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107643330A (zh) * | 2017-06-28 | 2018-01-30 | 陈强 | 一种氮氧化物气体传感器 |
| CN108225995A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-29 | 中国第汽车股份有限公司 | 一种尾气颗粒物检测传感器片芯及其检测方法 |
| CN108490058A (zh) * | 2018-04-09 | 2018-09-04 | 江苏奥力威传感高科股份有限公司 | 一种面向汽车节能环保的氮氧化物传感器 |
| CN110220962A (zh) * | 2019-05-21 | 2019-09-10 | 中国第一汽车股份有限公司 | 氮氧化物传感器芯片及氮氧化物总量的检测方法 |
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2016
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Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
| CN107643330A (zh) * | 2017-06-28 | 2018-01-30 | 陈强 | 一种氮氧化物气体传感器 |
| CN108225995A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-29 | 中国第汽车股份有限公司 | 一种尾气颗粒物检测传感器片芯及其检测方法 |
| CN108225995B (zh) * | 2017-12-26 | 2020-08-25 | 中国第一汽车股份有限公司 | 一种尾气颗粒物检测传感器片芯及其检测方法 |
| CN108490058A (zh) * | 2018-04-09 | 2018-09-04 | 江苏奥力威传感高科股份有限公司 | 一种面向汽车节能环保的氮氧化物传感器 |
| CN110220962A (zh) * | 2019-05-21 | 2019-09-10 | 中国第一汽车股份有限公司 | 氮氧化物传感器芯片及氮氧化物总量的检测方法 |
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