CN205803630U - 一种石英坩埚的硅料装填模型 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种石英坩埚的硅料装填模型。其包括模型定位部和硅料定位部；所述的模型定位部是一个圆管，圆管的内径d为所述的石英坩埚的外径D，圆管的内管壁与所述的石英坩埚的外埚壁形成间隙配合，圆管的高度h为所述的石英坩埚的高度H；所述的硅料定位部是一个圆锥管沿其轴面切去一半所剩的半圆椎管的形状，硅料定位部位于模型定位部的上方，并且所述的圆管和半圆锥管同轴；硅料定位部的下部与模型定位部的上部通过水平台连接，水平台的宽度δ为所述的石英坩埚的壁厚Δ；在硅料定位部的顶部还设置有平盖。本实用新型能够避免石英埚装加的硅料在热场中加热时与石墨导流筒的接触。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种石英坩埚的硅料装填模型，应用于直拉单晶技术领域。
背景技术
在直拉单晶工艺中，为了提高石英坩埚利用率，尽可能提高石英坩埚装硅料的装加量，使得石英坩埚中装加的硅料会有一部分从石英坩埚埚口突出来。而这样做，当把石英坩埚放入热场对硅料进行加热融化时，就增加了硅料与石墨导流筒接触的可能性。这会影响单晶的品质，同时增大拉晶作业的难度。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：提供一种石英坩埚的硅料装填模型，避免石英坩埚装加的硅料在热场中加热时与石墨导流筒的接触。
为了解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：
一种石英坩埚的硅料装填模型，包括模型定位部和硅料定位部；所述的模型定位部是一个圆管，圆管的内径d为所述的石英坩埚的外径D，圆管的内管壁与所述的石英坩埚的外埚壁形成间隙配合，圆管的高度h为所述的石英坩埚的高度H；所述的硅料定位部是一个圆锥管沿其轴面切去一半所剩的半圆椎管的形状，硅料定位部位于模型定位部的上方，并且所述的圆管和半圆锥管同轴；硅料定位部的下部与模型定位部的上部通过水平台连接，水平台的宽度δ为所述的石英坩埚的壁厚Δ；硅料定位部的内壁位置对应在所述的石英坩埚内装填的硅料所能露出所述的石英坩埚的埚口外的最大范围，硅料定位部的高度对应在所述的石英坩埚内装填的硅料所能露出所述的石英坩埚的埚口外的最大高度；在硅料定位部的顶部还设置有平盖。
在该模型的外壁上还设置有便于拿放该模型的把手。
所述的把手设置在模型定位部的上沿部。
本实用新型所取得的有益效果：
在对石英坩埚装加硅料时，把该模型套装在石英坩埚外，石英坩埚以及该模型就共同限定了硅料在石英坩埚中的装加范围；先从该模型的开口处对石英坩埚的一侧进行装填，然后再相对于石英坩埚转动该模型，对石英坩埚的另一侧进行装填。这样装加的硅料，在把石英坩埚放入热场对硅料进行加热融化时，就不会接触石墨导流筒。
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细说明。
附图说明
图1为本实用新型的构造示意图；
图2为图1的右视构造示意图；
图3为石英坩埚的构造示意图；
图4为本实用新型套装在石英坩埚外的使用状态构造示意图。
具体实施方式
如图所示，一种石英坩埚的硅料装填模型，包括模型定位部1和硅料定位部2；所述的模型定位部1是一个圆管，圆管的内径d为所述的石英坩埚的外径D，圆管的内管壁与所述的石英坩埚的外埚壁形成间隙配合，圆管的高度h为所述的石英坩埚的高度H；所述的硅料定位部2是一个圆锥管沿其轴面切去一半所剩的半圆椎管的形状，硅料定位部2位于模型定位部1的上方，并且所述的圆管和半圆锥管同轴；硅料定位部2的下部与模型定位部1的上部通过水平台3连接，水平台3的宽度δ为所述的石英坩埚的壁厚Δ；硅料定位部2的内壁位置对应在所述的石英坩埚内装填的硅料所能露出所述的石英坩埚的埚口外的最大范围，硅料定位部2的高度对应在所述的石英坩埚内装填的硅料所能露出所述的石英坩埚的埚口外的最大高度；在硅料定位部2的顶部还设置有平盖5。
在该模型的外壁上还设置有便于拿放该模型的把手4。
所述的把手4设置在模型定位部1的上沿部。
在对石英坩埚装加硅料时，把该模型套装在石英坩埚外，石英坩埚以及该模型就共同限定了硅料在石英坩埚中的装加范围；先从该模型的开口处对石英坩埚的一侧进行装填，然后再相对于石英坩埚转动该模型，对石英坩埚的另一侧进行装填。这样装加的硅料，在把石英坩埚放入热场对硅料进行加热融化时，就不会接触石墨导流筒。
Claims (3)
1.一种石英坩埚的硅料装填模型，其特征在于：包括模型定位部(1)和硅料定位部(2)；所述的模型定位部(1)是一个圆管，圆管的内径d为所述的石英坩埚的外径D，圆管的内管壁与所述的石英坩埚的外埚壁形成间隙配合，圆管的高度h为所述的石英坩埚的高度H；所述的硅料定位部(2)是一个圆锥管沿其轴面切去一半所剩的半圆椎管的形状，硅料定位部(2)位于模型定位部(1)的上方，并且所述的圆管和半圆锥管同轴；硅料定位部(2)的下部与模型定位部(1)的上部通过水平台(3)连接，水平台(3)的宽度δ为所述的石英坩埚的壁厚Δ；硅料定位部(2)的内壁位置对应在所述的石英坩埚内装填的硅料所能露出所述的石英坩埚的埚口外的最大范围，硅料定位部(2)的高度对应在所述的石英坩埚内装填的硅料所能露出所述的石英坩埚的埚口外的最大高度；在硅料定位部(2)的顶部还设置有平盖(5)。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚的硅料装填模型，其特征在于：在该模型的外壁上还设置有便于拿放该模型的把手(4)。
3.根据权利要求2所述的石英坩埚的硅料装填模型，其特征在于：所述的把手(4)设置在模型定位部(1)的上沿部。
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