CN205803632U - 一种石英埚的硅料装填胎具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种石英埚的硅料装填胎具。其包括圆管部和圆锥管部，圆锥管部位于圆管部的上方，并且圆管部和圆锥管部同轴；圆管部的内径d为所述的石英埚的外径D，并且圆管部的内管壁与所述的石英埚的外埚壁形成间隙配合，圆管部的高度h为所述的石英埚的高度H；圆锥管部的下部与圆管部的上部通过水平台连接，水平台的宽度δ为所述的石英埚的壁厚Δ；圆锥管部的内壁位置对应在所述的石英埚内装填的硅料所能露出所述的石英埚的埚口外的最大范围，圆锥管部的高度对应在所述的石英埚内装填的硅料所能露出所述的石英埚的埚口外的最大高度。本实用新型能够避免石英埚装加的硅料在热场中加热时与石墨导流筒的接触。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种石英埚的硅料装填胎具，应用于直拉单晶技术领域。
背景技术
在直拉单晶工艺中，为了提高石英埚利用率，尽可能提高石英埚装硅料的装加量，使得石英埚中装加的硅料会有一部分从石英埚埚口突出来。而这样做，当把石英埚放入热场对硅料进行加热融化时，就增加了硅料与石墨导流筒接触的可能性。这会影响单晶的品质，同时增大拉晶作业的难度。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：提供一种石英埚的硅料装填胎具，避免石英埚装加的硅料在热场中加热时与石墨导流筒的接触。
为了解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：
一种石英埚的硅料装填胎具，包括圆管部和圆锥管部，圆锥管部位于圆管部的上方，并且圆管部和圆锥管部同轴；圆管部的内径d为所述的石英埚的外径D，并且圆管部的内管壁与所述的石英埚的外埚壁形成间隙配合，圆管部的高度h为所述的石英埚的高度H；圆锥管部的下部与圆管部的上部通过水平台连接，水平台的宽度δ为所述的石英埚的壁厚Δ；圆锥管部的内壁位置对应在所述的石英埚内装填的硅料所能露出所述的石英埚的埚口外的最大范围，圆锥管部的高度对应在所述的石英埚内装填的硅料所能露出所述的石英埚的埚口外的最大高度。
在该胎具的外壁上还固定设置有便于拿放该胎具的把手。
所述的把手成对对称设置在圆管部的上沿部。
本实用新型所取得的有益效果：
在对石英埚装加硅料时，把该胎具套装在石英埚外，石英埚以及该胎具就共同限定了硅料在石英埚中的装加范围。按照这个范围装加的硅料，在把石英埚放入热场对硅料进行加热融化时，就不会接触石墨导流筒。
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细说明。
附图说明
图1为本实用新型的构造示意图；
图2为石英埚的构造示意图；
图3为本实用新型套装在石英埚外的使用状态构造示意图。
具体实施方式
如图所示，一种石英埚的硅料装填胎具，包括圆管部1和圆锥管部2，圆锥管部2位于圆管部1的上方，并且圆管部1和圆锥管部2同轴；圆管部1的内径d为所述的石英埚的外径D，并且圆管部1的内管壁与所述的石英埚的外埚壁形成间隙配合，圆管部1的高度h为所述的石英埚的高度H；圆锥管部2的下部与圆管部1的上部通过水平台3连接，水平台3的宽度δ为所述的石英埚的壁厚Δ；圆锥管部2的内壁位置对应在所述的石英埚内装填的硅料所能露出所述的石英埚的埚口外的最大范围，圆锥管部2的高度对应在所述的石英埚内装填的硅料所能露出所述的石英埚的埚口外的最大高度。
在该胎具的外壁上还固定设置有便于拿放该胎具的把手4。
所述的把手4成对对称设置在圆管部1的上沿部。
在对石英埚装加硅料时，把该胎具套装在石英埚外，石英埚以及该胎具就共同限定了硅料在石英埚中的装加范围。按照这个范围装加的硅料，在把石英埚放入热场对硅料进行加热融化时，就不会接触石墨导流筒。
Claims (3)
1.一种石英埚的硅料装填胎具，其特征在于：包括圆管部(1)和圆锥管部(2)，圆锥管部(2)位于圆管部(1)的上方，并且圆管部(1)和圆锥管部(2)同轴；圆管部(1)的内径d为所述的石英埚的外径D，并且圆管部(1)的内管壁与所述的石英埚的外埚壁形成间隙配合，圆管部(1)的高度h为所述的石英埚的高度H；圆锥管部(2)的下部与圆管部(1)的上部通过水平台(3)连接，水平台(3)的宽度δ为所述的石英埚的壁厚Δ；圆锥管部(2)的内壁位置对应在所述的石英埚内装填的硅料所能露出所述的石英埚的埚口外的最大范围，圆锥管部(2)的高度对应在所述的石英埚内装填的硅料所能露出所述的石英埚的埚口外的最大高度。
2.根据权利要求1所述的石英埚的硅料装填胎具，其特征在于：在该胎具的外壁上还固定设置有便于拿放该胎具的把手(4)。
3.根据权利要求2所述的石英埚的硅料装填胎具，其特征在于：所述的把手(4)成对对称设置在圆管部(1)的上沿部。
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